【电子行业标准(SJ)】 正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国申学行业标准
正胶显影机、负胶显影机、匀
胶机完好要求和检查评定方法
主题内容与适用范围
SJ/T 31079—94
本标准规定了正胶显影机，负胶显影机、勾胶机和擦片机的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中，硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负胶显影机、硅片涂胶自动与胶机和自动擦片机。2完好要求
2.1主要技术指标
正胶显影机、负胶显影机和匀胶机的主要技术指标完好要求和检測方法，见表1表1
检测项目
主轴轴扇的
主轴定心轴颈的
径向跳动
士轴转精度
热板炉摄控精度
负衔、旋转条件下：承片台
吸附真空极限压力(可调)
显影液温控精度
调胶量恒定误差
去胶硅片边缘胶的宽度范
围(可调）
完好标准
±20r/min
0.0666MPa
±5℃
注:(D正胶显影机为 1~5 项指标,②)负胶显影机擦片机为1～4项指标：检测方法bZxz.net
固定指示器，使其测头垂直触及主轴轴肩支承面常近边缘处。旋转主轴检测。
误差以指示器读数的最大差值计。固定指示器，使其测头触及主轴定心辅表面，施转主轴检测。
误差以措示器读数的最大差值计，用闪光测速仪測量主轴施轴速度，计算转速精度用点温度计测量
观察真空表示值，查承片台的吸附真空极限压力。用温度计检测显影液温度。
用量简测量滴胶量。
用长度测量器具和放大镜测量硅片上边缘除腔情况。③匀胶机的主要技术指标项月为：1.2、3.4、6、7。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.2操作系统
SJ/T 31079—94
各种操作开关、按钮启动灵活，定位可靠：各调整旋钮、于柄转动灵活，锁紧可靠，2.3传动系统
2.3.1传动机构各部无松动现象，传动平稳，运行靠，尤冲击、振动，无异常噪音。2.3.2真空泵运转平稳；真空管路整齐、清洁，连接牢固、密封性好，无泄漏现象。真空泵及其系统完好要求，参照SJ/T31412—94执行。2.3.3设备连续运转4h后，传动机构名滚动轴承度不得大于30C。2.4气动系统
2.4.1气动系统各装置完整清洁，无腐蚀、锈蚀现象2.4.2各气动元件动作灵敏，可靠，无振动，无爬行，无泄漏现象。2.4.3各气动管路齐全，整洁，无老化、污染，气路畅通，接头处密封性好、无泄漏。2.4.4过滤器工作正带，油雾器油位清晰，油量调节符合规定2.4.5吹、吸两用真空泵工作平稳，无振动、无冲击。各仪表齐全，完整无损，指示准确、灵敏，有有效期校验合格证。
2.5电气系统
2.5.1各元器件齐全，完，工作可靠，无老化现象。2.5.2电气性能良好，运行安全，可靠，保拍装置齐全、有效。2.5.3线路完整，绝缘层破裂、尤老化、无漏电现象。2.5.4电气拒内部清洁，线路布置整齐，标志齐全、明显.各端子紧固无松动现象。2.5.5仅表齐全、无缺损，指示灵敏、准确，有有效期校验合格证。2.6微机控制系统
2.6.1各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良好，显示清晰。2.6.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。2.6.3输入/输出程序正确无误
2.6.4打印机、穿孔机与主机接口良好，1作正常2.6.5装置内部清洁，布线整齐、线路无老化、被裂，各线路标志齐全、正确。2.6.6所有裸露导体件（包括外亮），必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于0.12。2.7 润滑系统
2-7.1润滑装置齐全，完整无损，作用良好。2.7.2管路齐全，油路畅通，油窗明亮，油标醒目，洒质、油量符合规定要求。2.7.3油嘴、油杯、油眼消洁，无堵塞现象，润滑良好，基本无漏油，即每一油点滴油数3min内，不得超过--滴。
2.8安全防护
2.8.1各安全防护装置齐全、无缺损，周定牢周，作用可靠。2.8.2接地（或零)可靠，标志明显。2.9维护保养
按SI/T31002--94设备维护保养通则》执行2
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3检查、评定方法
3.1检查方法
SJ/T 31079--94
3.1.1对各系统完好要求所列内容，凡有参数要求的，应运用相应仪器，检具检测；其他均在设备现场，采用主观法检查。
3.1.2性能技术指标完好要求，按表1所列方法检测。3.2评定方法
3.2.1完好要求中，2.1各项目和2.8.1、2.8.2为主要项目，其余为次要项目。3.2.2主要项月有一项不符合要求，为不完好设备，饮要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，要求应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由国营西北机器厂组织起草。本标准主要起草人：陈成忠。
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