【电子行业标准(SJ)】 DM－450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
DM450A型真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
S.I/T 31083:94
本标准规定了DM一450A型真空镀膜机的完好要求和检查、评定方法。本标准适川于T)M—450A型、IM—3001型、GLM~-300B型、ZI)306型真空镀膜机。2完好要求
2.1主要技术指标
DM-150A型真空镀膜设备的主要技术指标有：极限真空度：6.7×1~pa，
b.抽气时间：当极限真空度达到1.3×10-3pa时，应小于40min；c1.件旋转速度：0~26r/mim，可调；d烘烤温度：室温至200℃，可调：离子轰功率：0.6kW最大轰击电底（直流）3000V。e.
2.2操作系统
2.2.1各操作变速手柄、开关、按扭启动录活、定位可靠，标志齐全.2.2.2制动.限位装置齐全，灵敏可靠。2.2.3各仪表指示灯、指示延常。2.3传动系统
2.3.1L件夹旋转平稳,均速，无冲击，无振动。2.3.2钟罩能够升降自如，且钟舜落下时，位置准确，密封可靠。2.4真空系统
2.4.1真牵腔密封，无漏气。
2.4.2冷却水路通畅（冷却系统具体按5J/T31082—94执行）。2.4.3扩散泵工作运行正常。机械泵工作正常，无异常噪声，具体要求参照SJ/T31412-94W型真空泵完好要求执行。
2.5电路控制系统
2.5.1控制装罩各部分功能齐全，性能可靠，精度准确。2.5.2内部清洁，行线路标志明显。2.6附件
附件齐全，保篇良好，无锈蚀、损伤。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.7安全防护系统
2.7.1 设备接地可靠,标志明显
SJ/T 31083--94
2.7.2各安全阀门、联锁装置工作正常，开关准确。2.8维护保养
2.8.1设备内外清洁无锈蚀，观察窗明亮，清渐，无破损无腐蚀。2.8.2各部件紧固螺钉紧密，无松动，高压电源线和高压引线的连接处无松动。2.8.3定期检查更换易损部件，换泵油。2.8.4其它按S[/T31002—94《设备维护保养通则》中第三章执行。3检查，评定方法
3.1检查方法
3.1.1极限真空度的检查方法，
按设备操作要求对真空室抽真空，40~60min后，用复合真空计测试，每隔5～10min记录真空计示值，共记录10～15次，取最后三次记录结果的平均值为极限真空度。3.1.2拥气时间的检查方法：
按设备操作要求对真空室抽真空，10～20min后，用复合真空计测试，记录从机械系开始对钟罩抽真空起，第一次达到1.3×10-\Pa的时间，即为抽气时间。3.1.3工作旋转的检查方法：bzxz.net
在转速可调范围内，选取标称转速为测试点，用旋速仪测试并记录电机轴的转速，并通过传动比，换算出工作夹的转速。3.1.4烘烤温度误差的检查方法：将温度传感器放在原传感器位宵附近，选择标称温度点为测试点，当指示温度达到标称温度.并稳定30min后记录测试数据，每5min记录·次，记录4～6次：分析修正后的测试结果，其中与标称温度相差最人的正负偏差即为温度误差3.1.5对各系统完好要求所列内容，在设备现场，采用主观法检查。3.2评定方法
3.2.1完好要求所列内穿中,2.1各项和2.4.1~2.4.3、2.5.1~2.5.2、2.7.1~2.7.2为主要项国，其余灼次要项目。
3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二项不符合费求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，要求应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标由电子工业部第13所组织起草。本标准主要起草人：牛爱欣。
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