【电子行业标准(SJ)】 图形发生器完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
图形发生器完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范圈
本标雅规定了图形发生器的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31080--94
本标准适用于3600F型图形发生器，其它型号图形发生器（如3600型，EM250型等）可参照本标推并结合该设备的具体指标检查，评定。2名词与术语
2.1中掩模(reticle）
用图形发生器作在感光板上，其图形尺小一般人于集成电路实际尺寸的掩模做中间掩模，又称初缩版。
2.2可变狭缝(variableaperture)在图形发生器中用于产生各种图形的构，通常由两组可开合的刀口纽戒。3完好要求
3.1主要技术指标
3.1. 1 作台定位精度为士0.25μm。3.1.2150mm金程范围内的总精度为士0.6pμml。3.1.3工作台正交性为士0.5arc second(5um/m)。3.1.4可制作燥光面积为150mm×150mm的掩模。3.1.5具有两种曝光光源，闪光灯光源和汞灯光源，可分别制作乳胶干版和铬版，光源均匀性为士5%。
3.1.6采用HP5501A激光干涉仪进行闭环控制,最小输人数据为 0.1mm。3.1.7-可变狭缝在像面可产生线宽2um，列1.5mm的图形，狭缝可围绕中心旋转0～90°。3.1.8自动调焦系统2轴运动范围是635um对版面的探测精度是士0.25μm。3.2操作系统
3.2.1各开关及按扭启动灵活.标志齐全。3.2.2制动及限位装置齐全，灵活可靠。3.3传动系统
设备运转平稳，无振动。Www.bzxZ.net
3.4润滑系统
润滑系统完好无损。
3.5真空系统
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
抵真空系统工作正常。
3.6气压系统
SJ/T 31080—94
为隔露台提供于燥及经过过滤的压缩空气系统工作正常。3.7电气系统
3.7.1电气系统运行可靠，保护装置齐金有效。3.7.2电气线路完整，绝缘层无裂，无漏电现象。3.8计算机控制系统
主机，磁带机及键盘显示终端应工作正常，主机操作程序和测试程序可由磁带读入。3.9附件
附件齐全，保管良好，无锈蚀及损伤。3.10附属装置
净化间应保持21士0.1℃相对湿度小寸70%，净化应保持在100级以内。3.11安全防护
3.11.1各安全防护装置安全、可靠。3.11.2接地可靠，标志明显。
3.11.3计算机应有良好的接地地线。3.12维护保养
设备环境温度应保持在20°~25C以内，相对湿度应小于75%，其他按SJ/T31002—94《设备维护保养通则执行。
司检登、评定方法
4.1.1输人专用测试程序，用图形发生器制作方阵状及鱼骨状检测图形（见附图1)，川高精度长仪器及高倍显微镜检查检测图形有关项目。4.1.2根据方阵图形中(1)、(2)、(8)各项及鱼骨图形（见附图2)拼接情况，检测工作台定位精度。
4.1.3根据方阵图形(1),(2)、(27)项的测量结果，检测出设备全程总精度。4.1.4根据方阵图形(5)、（7)、（8)项检测工作台的正交性。4.1.5根据实拍150毫米×150毫米的掩模图形，检测可制作掩模的最大尺寸。41.6用光强计测量或制作分辨率检测图形的方法来检测光源的均匀性4.1.7根据实拍方阵及鱼骨图形及检测（4）（8）.（26)等项检测狭缝尺寸精度及转角精度。4.1.8通过实拍分辨率图形，检测自动调焦精度。4.1.9各系统完好要求所列内容，采取观法检查4.2评定方法
4.2.1主要项目为3.1.1-3.1.8.其余为次要项目。4.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项日有二项不符合要求，亦为不完好设备。
4.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。2
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S/T31080-94
3600FPG，附图1方阵状测试图形3
SJ/T 31080—94
0SC MM X. 0275 MM-
0025 MM
13G5MM-
TESTROWE2
RASE LINE2
AIHRENLE HAR ?
C50MMX.025MM
CO2FMM
.130MM
TESTROWIIMAGENON
BASE LINE
RCFERHNCE HAR
3600FFG.附图2鱼骨状测试图形
附加说明：
本标由电子工.业部经济运行与体制改革司提出。本标准由电子工业部第13所组织起草。本标准主要起草人：钱伟训。
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