【电子行业标准(SJ)】 PG3000型图形发生器完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
PG3000型图形发生器完好要求和检查SJ/T 31081--94
评定方法
1主题内睿与适用范围
本标准规定了PG3000型图形发生器的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于PG3000型图形发生器。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1主要技术指标完好要求见下表检测项目
工作台重复精度
工作台定位精度
Y向！
XYT.作台运动垂直度
出厂标准
±0.00025
完好标准
±0. 0017
2.1.2光栏精度0.004~0.25mm为±0.75μm。2.1.3光栏转角精度为全程≤6'。2.2操作系统
2.2.1各操作变速手摘，开关按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全。2.2.2制动、限位装置齐全，荧敏可靠。2.3传动系统
2.3.1伺服工作台机械传动平稳可靠。检测器具和方法
利用美国GCA公司提供的
测试数据做版检查，闲测试
带TesT(SD)进行图形测
试，制戒掩模版上图形，然
后在高倍显微镜下，观察工
作台重复精度,工作台定位
精度,X、Y工作台垂直度指
2.3.2机械精度间隙，磨摄量，平整度、平稳度符合要求。丝杆、导轨润滑良好。2.4光学系统
2.4.1各光学零部件的位置精度正确可靠。光栅及光学镜头无尘、无油污、露斑，确保视场清晰。
2.4.2光学系统零、部件齐全、完好。2.4.3光学调焦装置灵活可靠。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.5出气系统
SJ/T 31081—94
2.5.1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确可靠。各种线路标志明显，联接可。
2.5.2伺服1作台控翻部分，符合使用要求。2.5.3步配控制及赚光系统正确可率2.5，4电气线路板接触可靠。其它各种接触器，继电器灵敏可靠。2.5.5各光电传威器工作正常，无误动作。2.56各电滇，息服表指示正确，误差在允许范围内，正有有效期内校验合格证。2.6气路系缆
2.61冬气征，电燃阀，节流阁安装泛置正确，工作可靠。2.心2气察及袁空管遵、接头、脚门元件之阅联结应牢固、密封，无漏气现象。2.7环境条件系统
作间超净度为100级，控湿精度为23±1 C。2.8安全防
白动保护报警装置齐全可靠，安全接地2.9维护保养
按SJ/T31002-94设备维护保养通则热行。3检查详定方法
3.1妙查方端
3.1.1主要持本指：检测方法您表例。对2、1.2、2.1.3项用GCA提供测试带来捡测。了.其款不，最，我境生现方法进行检查。3.2评定方法Www.bzxZ.net
3.2.1主要项国有2.7.1~2.1.3项，其余均为次要项目32.2主要项日有项不符合要求，为不完好设备，饮要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3、2、3完好设备的继保养，应达到优等设备标。本标理由电子工业部经资运行与体制革问提出东标由中层华品电子集国公司组织起草。小标族主落起蕊人就永周，顾牢建吴正伟，— 2.
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