【电子行业标准(SJ)】 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
真空镀膜设备完好要求
和检查评定方法
1主题内容与适用范康
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31082—94
本标准适用于极限压力在1×10-5～1×10-*pa范围内的各种型号真空镀膜设备。2完好要求
2.1主要技术性能
真空键膜设备的主要技术性能指标完好要求，见下表。真空镀膜室规格
(宽度箱式。内径一钟罩式）
廖数名称
极限医（pa）
恢复真空(pa）wwW.bzxz.Net
馈膜室容积≤1M
镀膜室穿积
>1M~4Ms
2.2操作系统
320,500,60,630.700,800.900.1000.1200.12501400,1600,1800,2000mm
从大气压抽室
A5X10-4
各操作并关、按扭启动灵活，标志齐全、明显。2.3真空系统
从大气压抽室
≤5x10:
7×10-2
从大气压抽室
2×10-1
s20min
2.3.1机械泵、扩散泵、压缩机等工作稳定可靠，运行时无抖动、无冲击、无异常噪音。压缩机、扩散泵运行正常。
机械泵的完好要求，应参照S)/T31412—94W型真空泵执行。2.3.2各电磁阀、气动阀、手动阀、热计、等工作正常，性能完好。2.3.3真空管路整齐清洁，连接牢固，密封性好，无泄漏。2.3.4多种仪表、热偶计等齐全、完整无缺损，指示灵敏，推确、可靠，有有效期内校验合格证。2.4传动系统
2.4.1各传动机构零、部件无松脱现象，传动灵活，不得有卡、带、松、抖等现象，升降机构动作时应平稳、无抖动。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
S.I/T 31082--94
2.4.2动密时点密封性好，传动时不得有泄漏现象。2.4.3在被镀件加热过程，设备应能正常连续工作，包括传动运动件应转动自如。2.5电气系统
2.5.1电气系统装置齐全，管线完整；电气性能灵缴，运行可靠：保护装置齐全、有效。2.5.2外部导线线路整齐、绝缘层无破裂、无老化、无漏电现象：各端子联接牢固无松动。2.5.3电气箱内清洁，布线整齐，标志齐全，明显，各端子联接牢围、无松动，线路绝缘应无破损、无老化、无漏电现象。
2.5.4各指示灯、按钮、开关齐全，宠整，指示准确，工作可靠。2.5.5各电压、电流表指示灵敏、准确，可靠，有有效期内校验合格证。2.6安全防护
2.6.1设备配套的电气装置中，各电气回路的绝缘电阻值，当电正小于500V时，为2M0；当电送在501~1000V时，应不低于2.5M0，当电压在10013000V时，应不低于3.5M0，当电压在3001~10000V时，应不低于6M，2.6.2水冷系统的报警装督、联锁保护装置灵敏、可靠。2.6.3对装设电动阀门的设备，真空镀膜室充气阀与高真空阀，高真空阀与预抽阀应保持联锁，窕全、可靠。
2.7冷却系统
2.7.1冷却系统装置齐全，管道整齐，联接牢、密封性好，无漏水现象。2.7.2水泵交换器、循环水泵等性能良好，工作正常，无锈蚀，无直线状流水、无*卡死”现象；运转时，死异常噪音。
2.7.3冷却水清洁，使用循环水冷却时，储水池（或箱），应清洁，无杂物。2.8维护保养
按SJ/T31002—94\设备维护养通则\执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1技术性能参数的检测，按下列方法进行。3.1.1.1真空极限压力的测试：
镀膜案内极限压力值，应在开机后24h内测定，且应在镀膜室内压力变化值，在0.5h内不超过5%的条件下确定（此时，各动密封部位应处于运动状态）。取其达到的最低压力值为极限力值。
3.1.1.2镀膜室恢复真空抽气时间设备在连续工作的条件下，在镀膜室内压力达到极限压力之后，打开镀膜室15min，再抽至本标准上表中所规定的真空度所需的时间，定为设备的恢复真空抽气时间。3.1.1.3有效加热区加热均匀度
在有效加热区内至少测量三点温度值（能反映最大温差的均布的三点），取所测温度的平均偏差作为加热均勾度。测温应在达到所定最高烘烤温度10min后进行，并三点同时测量（允许使用转换开关）。
YKAONKAca
3.2评定方法
SJ/T31082-94
3.2.1完好要求中，主要项目有：2.1中\真空指标”和2.3.1~2.3.4、2.4.2、2.5.1~2.5.2、2.6.1～2.6.3其余为次要项月。3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护得养，应达到优等设备标准加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标雅由国营南光机器厂组织起草。本标准主要起草人：王洪波。
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