【其他行业标准】 化学气相沉积炉

ICS 77.180
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1031—2015
化学气相沉积炉
Chemical vapor deposition furnace2015-04-30发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2015-10-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。YS/T1031—2015
本标准起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。1范围
化学气相沉积炉
YS/T1031—2015
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于化学气相沉积。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注目期的引用文件，仅注目期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3163—2007真空技术术语
GB5959.1电热装置的安全第1部分：通用要求GB5959.4电热装置的安全第4部分：对电阻加热装置的特殊要求GB/T10066.1一2004电热设备的试验方法第1部分：通用部分GB/T10066.4一2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉GB/T10067.1一2005电热装置基本技术条件第1部分：通用部分GB/T10067.4—2005
电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉JB/T10550—2006真空技术真空烧结炉YS/T778—2011真空脱脂烧结炉
3术语和定义
GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011界定的术语和定义适用于本文件。
4要求
4.1分类
化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型，按炉型及工作区域尺寸分为13种型号，见表1和表2。2型号表示规则
卧式化学气相沉积炉的型号表示卧式化学气相沉积炉的型号表示由HCVD(其中H表示卧式；CVD表示化学气相沉积）和工作区域尺寸（宽×高×长)组成，其型号表示见示例。示例：卧式化学气相沉积炉工作区域尺寸为宽1000mm、高1000mm、长1500mm，其型号表示为HCVD-101015。YS/T 1031—2015
4.2.2立式化学气相沉积炉的型号表示立式化学气相沉积炉的型号表示由VCVD其中V表示立式；CVD表示化学气相沉积）和工作区域尺寸（直径×高)组成，其型号表示见示例。示例：立式化学气相沉积炉工作区域尺寸为直径300mm、高500mm，其型号表示为VCVD-0305。4.3化学气相沉积炉总体结构
化学气相沉积炉主要由炉体、工艺沉积系统、真空系统、冷凝捕集系统、水冷系统、尾气处理系统及电气控制系统等组成。总体设计要求应符合JB/T10550一2006中第5章的规定。4.4卧式化学气相沉积炉
卧式化学气相沉积炉可按需方要求采用前后双开门或单开门结构，由水平方向装料和出料，其总体结构示意图见图1。
说明：
炉体主体；
一保温加热系统；
水冷系统
加热电源
工艺气路柜
控制柜
4——冷凝捕集系统；
5——真空系统；
工艺沉积系统沉积室；
尾气处理系统；
7———水冷系统；
图1卧式化学气相沉积炉总体结构示意图一工艺沉积系统进气柜；
电气控制系统。
4.5立式化学气相沉积炉
YS/T1031—2015
立式化学气相沉积炉可按需方需要采用下开门或上开门或上下双开门结构，由竖直方向装料和出料，其总体结构示意图见图2
说明：
一工艺沉积系统进气柜；
炉体主体；
保温加热系统：
工艺沉积系统沉积室；
水冷系统：
工作平台；
冷凝捕集系统；
尾气处理系统；
真空系统；
电气控制系统。
图2立式化学气相沉积炉总体结构示意图YS/T 1031—2015
化学气相沉积炉的基本参数
化学气相沉积炉的基本参数见表1和表2。卧式化学气相沉积炉的基本参数表1
HCVD-060609
HCVD-080812
HCVD-101015
HCVD-121225
HCVD-151530
HCVD-202040
HCVD-252550
VCVD-0305
VCVD-0508
VCVD-0812
VCVD-1015
VCVD-1218
VCVD-1520
4.7一般要求
工作区域尺寸
宽×高×长/mm
600X600X900
800×800×1200
1000×1000×1500
1200×1200×2500
1500×1500×3000
2000X2000X4000
2500X2500X5000
承载重量
额定加热功率
表2立式化学气相沉积炉的基本参数工作区域尺寸
直径×高/mm
$300X500
$500×800
$800×1200
$1000×1500
$1200×1800
$1500×2000
承载重量
额定加热功率
额定炉温
额定炉温
化学气相沉积炉应符合GB/T10067.1一2005中第5章的规定，其他要求应符合GB5959.1和GB5959.4的规定。
主要技术性能
化学气相沉积炉的主要技术性能参数见表3。4.8.1
4.8.2需方对主要技术性能参数有特殊要求时，可由供需双方协商确定并在合同中注明。5试验方法
总体结构及其基本参数的检验
化学气相沉积炉总体结构应符合供需双方签定的技术图样，其基本参数的检验方法由供需双方协商确定。
HCVD-060609
HCVD-080812
HCVD-101015
HCVD-121225
HCVD-151530
HCVD-202040
HCVD-252550
VCVD-0305
VCVD-0508
VCVD-0812
VCVD-1015
VCVD-1218
VCVD-1520
表3主要技术性能参数
升压率/（Pa/h）
极限真空度/Pa
5.2一般要求的检验
YS/T1031—2015
炉温均匀性/℃
空炉升温平均速率/（℃/min）抽气时间/min±10
化学气相沉积炉一般要求的检验方法按GB/T10067.4一2005中第6章的规定进行。5.3主要技术性能的检验
极限真空度的检测
当主泵开启2h后，测真空计所得的读数。5.3.2升压率的检测
按GB/T10066.1一2004中7.1.10.3的规定，在炉内达到极限真空度时关闭所有阀门，第一次读数从关闭真空阀门后约20min开始测p1，24h后测p2，升压率=（p2一p1）/24。5.3.3炉温均匀性的检测
5.3.3.1按GB/T10066.4一2004中6.15规定的方法设定足够的测温点检测炉温均匀性。5.3.3.2采用标准热电偶的检测，在真空下温度为1050℃保温30min后测取数据；或采用标准测温块的检测，在真空下达到工作温度保温60min后，自然降温开炉取测温块，采用高精度游标尺量取5.3.4空炉升温平均速率的检测
在常温下，当空炉达到极限真空度时，以全功率升温至额定炉温时，其炉温与升温所需的时间之比。5.3.5抽气时间的检测
当主泵开启后，测真空计读数到达极限真空度所需的时间。5
YS/T1031—2015
6检验规则
检查和验收
6.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准及合同（或订货单）的规定，并填写质量证明书。
6.1.2需方应对收到的产品按本标准及合同（或订货单）的规定进行复验。复验结果与本标准及合同（或订货单）的规定不符时，应在收到产品之目起3个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托供需双方认可的单位进行。6.2检验项目
每台化学气相沉积炉都应进行总体结构及其基本参数、一般要求和主要技术性能的检验。6.3检验结果的判定
化学气相沉积炉总体结构及其基本参数、一般要求和主要技术性能的检验，不符合本标准及合同（或订货单）包括供需双方签定的技术图样)的规定时，应修改设计及制造的不合格部分，直至满足本标准及合同（或订货单）（包括供需双方签定的技术图样）的要求。7标志、包装、运输、贮存和质量证明书7.1标志、包装、运输、贮存
化学气相沉积炉的标志、包装、运输和贮存应符合GB/T10067.1一2005中第8章的规定7.2
2质量证明书
每台化学气相沉积炉应附有质量证明书，其上注明以下内容：供方名称、地址；
型号；
额定炉温；
额定功率；
极限真空；
承载重量；
升压率；
h）工作区域（宽×高×长或直径×高）；i
各项分析检验结果和供方质检部门检印；出厂日期(或包装日期)；
本标准编号；
1）其他。
8合同（或订货单）内容
8.1订购和供货应按GB/T10067.1一2005中第9章的规定8.2订购本标准所列产品的合同（或订货单）应包括下列内容：6Www.bzxZ.net
型号；
数量；
本标准编号；
d）其他。
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