【其他行业标准】 金砷蒸发料

ICS 77.120.99 H68 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 954—2014 金砷蒸发料 Gold-arsenic alloy for evaporating 2014-10-14 发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 2015-04-01 实施 前言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：北京达博有色金属焊料有限责任公司、有色金属技术经济研究院。 本标准主要起草人：陈彪、向磊、杜连民、张蕴、向翠华、闫茹、赵月国、禹洁丽、杨志新、周晓光。 1 范围 本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）等内容。 本标准适用于半导体芯片制造背金时使用的金砷蒸发料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期版本适用；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用。 GB/T 11066.1 金化学分析方法 金量的测定 火试金法 GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T 25934.1 高纯金化学分析方法 第1部分：乙酸乙酯萃取分离-ICP-AES法测定杂质元素含量 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1 产品按化学成分分为 Z-Au99.80As 和 Z-Au99.50As 两种牌号。 3.1.2 产品形状主要为柱状和线盘状，供货状态见表1： 柱状：直径0.5 mm～8 mm，长度2 mm～100 mm的线材； 线盘状：直径0.5 mm～2 mm，质量100 g～500 g的线材盘成线盘状，线盘外径100 mm～300 mm。 3.2 产品标记示例 柱状产品标记：Z-Au99.80As，φd×L mm 示例：直径2 mm、长度3 mm、成分99.80%的柱状金砷蒸发料标记为：Z-Au99.80As，φ2×3 mm。 线盘状产品标记：Z-Au99.80As，φd mm，g/盘 示例：线径0.5 mm、每盘100 g的线盘状产品标记为：Z-Au99.80As，φ0.5 mm，100 g/盘。 3.3 化学成分 产品化学成分应符合表2规定。金含量直接测定，砷含量按附录A测定。 主要成分：Au含量≥99.80%或≥99.50%；As含量分别为0.20±0.02%或0.50±0.05%。 杂质元素（Ag、Cu、Fe、Pb、Bi、Sb、Si、Pd、Mg、Sn、Cr、Ni、Mn等）均有严格上限控制。 3.4 尺寸及允许偏差 柱状产品尺寸及偏差如下： 直径0.1～1.0 mm：±0.01 mm； 直径1.0～5.0 mm：±0.08 mm； 直径5.0～7.0 mm：±0.09 mm； 直径>7.0 mm：±0.1 mm； 长度：≤10 mm允许偏差±1.0 mm，>10 mm允许偏差±2.0 mm。 3.5 外观质量 产品表面应清洁，不得有裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。允许存在不超过尺寸公差范围的轻微凹坑和划痕。端部允许存在轻微铸造、冲切或剪切痕迹。 4 试验方法 砷含量按附录A进行仲裁分析，金含量按 GB/T 11066.1 测定，杂质元素按 GB/T 25934.1 测定。 尺寸检测按 GB/T 15077 执行。外观质量采用目视检查，必要时可使用5～10倍放大镜或10～25倍双目显微镜进行检查。