本方法适用于电子级氩中痕量氮测定，应用此法可同时测定其中甲烷、一氧化碳和二氧化碳含量。测定范围为0.5～50ppm。 SJ 2804.2-1987 电子级氩中痕量氮测定方法 变温浓缩色谱法(二) SJ2804.2-1987 本方法适用于电子级氩中痕量氮测定，应用此法可同时测定其中甲烷、一氧化碳和二

本方法适用于电子级氩中痕量氮测定，应用此法可同时测定其中甲烷、一氧化碳和二氧化碳含量。测定范围为1～50ppm。 SJ 2804.1-1987 电子级氩中痕量氮测定方法 变温浓缩色谱法(一) SJ2804.1-1987 本方法适用于电子级氩中痕量氮测定，应用此法可同时测定其中甲烷、一氧化碳和二氧化

本方法适用于电子级氧中痕量二氧化碳的测定，测定范围为0.1～14.6ppm。 SJ 2803-1987 电子级氧中痕量二氧化碳测定方法 预切割氢焰转化色谱法 SJ2803-1987 本方法适用于电子级氧中痕量二氧化碳的测定，测定范围为0.1～14.6ppm。

本方法适用于电子级氢、氮、氩中痕量二氧化碳的测定，测定范围为0.05～16ppm。 SJ 2802-1987 电子级气体中痕量二氧化碳测定方法 氢焰转化色谱法 SJ2802-1987 本方法适用于电子级氢、氮、氩中痕量二氧化碳的测定，测定范围为0.05～16ppm。

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩和氦中痕量一氧化碳的测定，测定范围为0.5～20ppm。 SJ 2801-1987 电子级气体中痕量一氧化碳的测定方法 预切割氢焰转化色谱法 SJ2801-1987 本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩和氦中痕量一氧化碳的测定，测定范围为0.5～20ppm。

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩气体中痕量甲烷的测定，亦适用于空气及其他惰性气体中甲烷的测定，当进样量为1m1升时，最低检测浓度为0.1ppm。 SJ 2800-1987 电子级气体中痕量甲烷的测定方法 氢焰色谱法 SJ2800-1987 本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩气体中痕量甲烷的测定，亦适

本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。 SJ 2799-1987 电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法 SJ2799-1987 本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。 SJ 2798-1987 电子级气体中颗粒的测定方法 光散射法 SJ2798-1987 本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中

本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氩、按其使用要求电子级氩分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氩代号为：DZAr-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZAr- Ⅱ SJ 2797-1987 电子级氩 SJ2797-1987 本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用

本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧、按其使用要求电子级氧分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氧代号为：DZO2-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZO2- Ⅱ SJ 2796-1987 电子级氧 SJ2796-1987 本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧、