【电子行业标准(SJ)】 键合金丝中杂质素的ＩＣＰ－ＡＥＳ测定方法

中华人民共和国电子行业标准
S/T 10626-1995
键合金丝中杂质元素的
ICP-AES测定方法
Method for delermining impurities in gnld wire forsemiconductor lead bonding by ICP-AES1995-04-22发布
1995-10.01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准
键合金丝中杂质元素的
ICP-AES测定方法
Method Far determining impuriies in gold wire Forserniconductor lead honding by ICP-AEST主题内容与用范围
1.1主版内密
SJ/T10626-1995
木标准规定广电需属合等离子体发时光请对链合金绝中杂质元素的划定与法。1.2适用范用
本标准连用钳合金丝中补、钢，钙、镁，、快、塑、铅元末的测定。其测定范瓦：铅、链发0.0008%~0.0500%，其余为0.00050.0500%2方法原埋抵要
本方法采同王水溶解试禅，拆发院前分酸后，加人过氧化氢，在水浴出加燃传金沉炎析出，离心分离后，上原清载入等离子体.按表1所列各元家分析规泌长进行其架质元累含盘的别定
3试剂
31水乙醇：优级纯，
3.2内调：分折纯，
3.3过化热：纯
3.4电于级求,FV-工级。
328 07
324 75
279 55
中华人民共和国电子工业部19954.22批准元
257 61
320.35 263.41
223.06 或 305.3？
1995-10-01实施
SJ/T 106261995
3.5 硝糖(1 +1):采用 MOS纯硝度配制。3.6盐酸(111)：采用MOS纯盐酸配制。3.7盐酸(1+1U))：采用MCS纯止醛配制：3.8稀王水(硝酸：益酸：水=1:3:4：果用M(S纯销酸和垫酸配制。3.9请洗剂：按乙醇；丙酮=1:4的比例配制。3.10标准波：
3.10.1银标链肥存沿症
称1.0M00g纯银粉（99.95%以上）.加入25ml确酸（见3.5）.加热溶解宽金后，继续加热以隐去氯的氧化物。冷抑至离温，移入1Q00ml容址瓶中，以水（必3.4)定穿，混勾。此落滴1ml含1mg银。
3.10.2制标催资存液
称取1.2518g预光在105~111干煤至重的氧化期（99.99%以上）.低制加热游于30ml盐酸（见3.6）中，加人20ml水（见3.4)，加热增解，冷至室温.移入1100ml容成瓶中，用求[见3.4]定穿，名、北液1ml含1mg铜。3.10.3钙标注此存液
称取2.4972%预先在105-110下爆至恒使的嵌酸钙（99.99%以上于300ml烧杯中，加入20ml水（见3.4），然后满切站酸（3.6），至完余解，索佛除去一乳化破。可入10ml垫酸（3.6）。冷却，移入10001客长瓶中，用水（元3.4)定齐，解句。此落1m含1mg钙。3.10.4铁标洋贮存溶设
称1.00g镁（99.99%以上），先如20ral水（见3.4），然后使慢加入20rnt盐（见3.6)，待穿解完全后，移入[000ml容量瓶中，以水(见3.4)定存,鸿]此溶液1ml含1mg镁。
3.10.5标准存格液
称限1.5825g预先在105110℃于燥至恒重的一氧化锰于晓弃中，划人5ml浓盐酸.滴加4滴过氧化氧，加热落解片，再加入5m盐酸（池3.6)）冷载实温，移人100mml容虚瓶中，以本（见3.4)是客，妮列。此（ml含1mg钮3.10.6缺标准些存游液
称取1，4298g拍先在105110千频至点五的三氧化二缺（90.09%以1.），低温加热格于20ml见.3.6）盘酸中，冷却室室祖，移人1000ml容岳中，压水（见3.4>定容，泥勺。此箱液1il含rog。
3.10.7轮标带贮存将液
称股1.5985预先在105～110t下煤至恒益的转销300m烧标中，30ml盐载（见3.6)利10ml码酸（见3.5。待溶解完全后，移入1000ml电或瓶中，以水（见3.4）定客，播寸。比落波中1.al含1ing。
3.10，日铝标准行落
称1.1150g亢在1-110十燥举的化亿（99.9%以）下烧杯，5m码酸（见3.5），日热液解、待落解完全后，冷至室盐，移人1000ml容求瓶中（存量服中预先加人50ml确酸（见3.5）.用水（3.4)定穿，，此浮液1ml含有1mg统。3.10.9银系列标准溶液
用银止方活乾遥级精释成·宽不网度的投准治波，母m灌滤分别舍有银：2
0.05ug.0.10μg.0.50ug及2.0μg.SJ/T10626—1995
3.19.10其它元系系列混合标准溶液用各元索的标启贮存游逐级稀释成不同浓度的放增萨，每1m1游该分含有各元素：8，0.1pg.0.5g，1.0及10.0g.含5%盐酸。3.10.11 标准空右
在配标准时配一个余谁些户。
4仪器与工作素件
4.1收婴：3587型电感拥合等子毕发射光浩位或其它等效教器。工作案件，见表2.
智气洗品
1.rl/mrir
总时动
冷制气流景
等质子气活展
积分时间
将试举范逆长路量的形式总人清件剂见39）大线5有，面表清游干。因稀盐载（见3.7)清洗金丝，再用电子级水（见3.4）流净.先T。6分析步骤
6.1称样
称收.3000%试样（见5），销确至.0001k6.2游
6.2.1将试样见6.1）受手30ml息塑料错设中6.2.2加入3m)稀土水（见3.8).低温加热至说样完伞落解。绝续慢慢加热，使盐醉和硝酸尽盘择发，至金不出为。冷印,转移至10ml比它普中。用2ml良于缴水（见3.4)将洗三达，一并格规获转移到比色山。6.2.3加入1ml的过氧化载（3.3），此时体件6ml，存90左有的热水中热20nim，冷却。
6.2.4用水（见3.4)定容10ml。离心分离金，范流图背引人等离了用。6.3空试酸
司试详做学自试验。
6.4上作尚线的制
6.4.1表等离于体锁定15mim活，选行多道定应，6.4.2从或浓度到高液度依次拍入标准落涨，然后由计算机自法制工作加续。6.5既样分析
在运行完工作相载后，将民品道入等满了体进行测室。算机日动打印出分断些只。了分析结果的计算
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额测元肃的百分含些（%)接下式计算：(C, -Co) × V × 10\6
式中：X-
一被测元家的百分含量，%：
一试样溶液中前元素浓度，g/mlG
一空白落筏中的元表浓度，账/mlCo
——试样落较总体积，rml
Mn-试样的质量，多，
8允许差
实验室之间分析结其的差值应不大干表所列的允许差裁3免费标准下载网bzxz
0.001~.003
>0.000G·0.心020
>0.0020.-0.0060
>0.0060.-c.C200
>0.0200-.0.0500
9说明
[CP一AFS到症力法的下扰主要来自谱线工找，可以用下面的方法逆行补偿。%
9.1元案之时的一优：常之前的十优可通过选择适步谐编加以避免。表1列出的分析元素的避长都尽经过疗细排逆的，州之三没有十扰，9.2背景干扰：可以通过逆行我景校正来补偿。在本标准的测试中可以不于诺老节号的影事。
附加说明：
车标准中电子工业部标准化研究所归口，本标注自出于工业部销46可究所妈盘超益。本标难主要起草人：下春梅、张珍、段诺光。
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