【电子行业标准(SJ)】 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T10627--1995
通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
Test nmethods for oxygen precipitation characterization of siliconwafers by mcasurement of interstitial oxygen reductiort1995-04-22发布
1995-10-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民芳和国电子行业标准
通过测量间隙氢含量的减少表
硅片氧沉淀特性的方活
Teni methodg far oxyeen precipitulion characteriuxlion of sificonwafers hy measuremenl of interstitlal oxygen teductiop1主题内客与适用范围
1.1主题内容
SJ/T 106271995
本标准裁定丁通近测定热道火前后佳中间氧合量的减少来表症氧沉淀特性的方法。1.2适用范围
本标准适用室温电率于0.1.cm的型变F型拉增品片，其热循环可2单一效招。
2引用标准
GIVT155?详单品中间含量红外级收测量方法GB/1414330)~0um硅片尚龄载含基的红外吸收测重J法3方法原理要
在方法是同红外光谐仪谢定娃品片市间原氧含盘在退炎的后的减少来接定氧的沉随特味。载的沉淀与硅片退火酮后闻嗽氧拿量的减少具有对座关系。4方法原理概要
讨里变换红光诺或光栅式红外分光光度，波致为1000cm-“处，分辨率忧于a.
6.热浪火炉：荡度范用750.-1050，控温机度±2亡：C。合活的2美第，右英舟：
山：气替和进样装暨。
5试验样品的选择和准留
5.1选钾一组量片作试将这组品片包括点浓度等个范用，在间膜氧含母【0])1.5Pm间需范明内，至选择两个品片。例划，效果·组[心]范因是3Pm，则这组至少越泽12个晶片
中华人民共和国电子工业部1995-04-22发市1995-10-01实
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5.2试验择战应满Gn1557变GVT14143的要求。5.3用缴光或子刻标记以区别每一试验料，6
6.1根据样品成度按GB1557或GB/T14143测量原始样品的而其。记录氧的数值、萌片记号，测量位置、试验目期和别量仪器。5.2硅片游说后，应尽可能快的进行试验。如果请洗和试验期间需将拦品存敢，贯放在于净闭封的箱子单，
6.3硅片中沉资的热处理实验按表1逆行。表一注片牛氧沉淀剂热处理实路芸 A
实验B
实牛法量
择凸推拉这度
升湿注所
举设速度
lasot，t5h后.75oc，4h
+5%干氧
4.21D.21./min
25ap/mim
证买整人为成产媒，实典为沉流成该步深。6.4将样品教进石央竹，应小心带免详品连存起，用十净非金减真空装置行起推品以邀免漆和污架表面。
6，5打开工作受的人几处，将石英舟筑进右，男推/拉纤以懿定的续度（见表1)将舟推到划热区，
6.6选择婚环实验A减循环变验R走行熟处理（见表1），记录热处理数据和所用周期。6.7样品热处理后用驾氧强大除表面氧化层升裤洗品片。6.日在热处班前品片的[O]的每个测点上，测量热处理后的LO]，户使用和境始测量所用的仅器和装前,在记录原数据的表格三起录最后[,的效斯(见志2]。表？示氧含盘的表挤【ppma
片标记
最后期[0]
气效少“0
平原佑氧
怕比标记
标难愉益”
原茹氧[]
最后多[0
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想减少[的]
：*仅适均于方法2；这适月方法1。7计算和结果说明
平均嗪拍氧“
标准信些*
7.1从原始间断氧含最域去[最后佰，以孤是氧的减少抗记录氧的减少量。7.2米的然1利方决2的案件说明灯下：7.2.1方满1
7.2.1.1当希望的预定[]口别，且得一组试验样品有归同的到定0]及每一试验能【0]的范函小十4ppm时使用这神方，7.2.1.2如果不同舱组间的均[)]整大于非.5ppe时，则不能过压效种克法。7.2.1.3决定每组式验性品原始[0和氧减少的平购值和协准确差，7.2.1.4如果这组试确样品了均载成少存所希空药范内.认为这组数值是相等的。7.2.22法2
7.2.2.1为了获得：(1>所实验样品的沉滨特非的定性观察：(2)算航淀面战的重要特点，需要将氧含量和流衰持区分时、使用这种方缺。7.2.2.2对每一组样品将或减少效起分类.将有U.5p2ma间据内[0]时所有样虽分在一起，7.2.2.3每·纪，每一分炎中的平均原始10)和载减少逃行计算。7.2.2.4本-组试验指点出中片氧减字组效提免图和2这线热实例
平离旅些，的耻线月不益区每
1实验A氧沉窄持性线
[olepma
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医2实验B氧沉旋特性曲线
7.2.2.5注意用线有个等让区城，如1和图2不反的斜率变化所示。在低原始[0区，熟减少本不必在原始[]的某量有，部处淀发牛（布这个过融区，氧减少随原[]治加迅速变化】在高原始[0风，所江淀出现（在这个区，氧减心正比于原始[0]]7.2.2.6已较每··组装得l纳，如果每-·组效归在合危的范围内.认为这红是等的。的报告
自，1报告应色拦以下内穿：
日.1组的据志（比号，品片测尽点位置，中心或这缘等)。8.t.2产谢每一品片原始以展些氧浓度表。3.1.3按一组样品原始[0]知单减少药平均和标准偏登。8.2外外，案月方送2.还背有下列报告：8.2.1年一纠样品年一推涨度的妞平为原始夜和平购氧的减少。8.2.2每一组平均瓶减少-
附加说明：
乎均原始[]的曲线。
本标准山电工下业部标洋化酬究所归口。本钢难出市子下业部第46研京所负史起单，本标土要起人：秀加，汝晾懂，李平，段眠光。
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