【电子行业标准(SJ)】 硅外延片(暂行)

中华人民共和国第四机械工业部准
SJ1549—79
(暂行）
中华人民共和国第西机械工业部部标
硅外延
SJ1548-79
本标准适用于硅平面器件用的N/N+、P/P结构的外延片。1. 规格,尺寸
.1N/N*、P/P+硅外延片电阻率规格表：表1
批许惯差
Dmax/PmIn
片充许聚差
Pmax /paie
批最小标电医率、5·cm
0.14p0.30.3注：走中，u表示电阻率，单位是o·cn1.2 N/N+、P/P‘硅外延层厚鹿规格表：目
批允许恤垫
Wmax/ Wmi?
H允许综差
Wmny/Wain
批最小标秘员厚度，um
往：表中，W表示外延厚度，单位是um，8W16
1.3碎外延片层错密度≤100个／cm2;位销密度≤5000个／cm*。
中华人民共和国第四机械工业部发布1. 55
1960年6月1日试行
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1.4 硅外延片尺寸
SJ 154$-79
橱形片：中24～每40mm，#40以上～±50mm#方形片，12×12mm2，.24×24mm2。1.5 硅外延片总厚度
350~450mm,同一片总厚度偏差不超过30m。注：上述期定之外的转殊要求的外延片可由供需效方协商解决。1.6 链外延片在设计文件中的填写示例硅外延片GWY(N/N+）1.5—1230SJ。示例中“硅外延片”后为硅外延片的代号、外延片结构、批或片的外延层最小电阻率(Q·cm).批或片的外延层最小厚度(μm)、外延片尺寸（mm）及本标准代号。
2. 技术要求和试验方法
2.1 表面质最
2.1.1 要求
（1）硅外延凸不允许有明显的形变，其表面不允许呈雾状、不允许有突起物和桔皮。
（2）圆片在23半径的同心园内不充许有划痕，同心圆外不充许有大于半径的划痕，允许有一条小于半经的划痕。（3）片的外延层厚度≤12μm（最小标称值）时，273半径的同心圆内允许有一个麻坑，整片允许有一个麻坑；层厚>12Um（最小标移值）时，273举轻的同心图内允许有二个麻坑，整片允诈有五个坑。（4）方片在内切愿2/3半格的同心圈内不允许有划痕和麻坑，同心圆外不允许有大于率径的划娠，允许有一条小于半径的划痕，两个麻坑。2.1.2检验方法：
按SJ1550-79第4条规定进行。
2.2电阻率
2.2.1 妻求：
电阻率应箱合本标准1,1条表1的规定。2.2.2验验方法，
按SJ1550—79第1条规定进行。
2.名层厚度
2.3.1要求：
SJ 1$49 79
层厚度应符合本标准1.2条表2的规定。2.3.2检验方法：
共5页第3两
按S1550—79第2条规定进行。
外延层厚度的片允许储差可按五点（中心一点及二条互相垂直的中心线上钜边缘 4m处 4点）的测最值求计算。2.4层错密度和位错密度
2.4.1要求，层错密度、位错密度应符合本标准1.3条的规定。2.4.2检验方法：
按SJ1550—79第3条规定进行。
2.5央层
2.5.1要求：在0.5mA下微量时，其夹层电压应小于100uV：2.5.2检验方法
按S!1550—79第5条规定选行。
2.6 对村底单晶的要求
2.R.1衬底单晶的掺杂剂及电阻率应符合表3：表3
外延片结均
裤底单晶梯杂劑
2.6.2对底单鼎位错密度53000个/cm2。3，验收规则
电器率，2.em
3.1硅外延片试验仅有交收试验。3.2携用方按本标准规定进行检测时，如发现产品不符合本标准时，必氧在到贷后一个月之内向生产方提出要求，由双右协商解决。假不能搞乱原来的批号和参数。
3.3电阻率、表面、夹层三个试验项目的交收试验应符合S.1288-78《计数轴样检查程序及抽样表》中关1逐扯检查的划亲，其合格质量水平见表4。共5要第1贵
电用率
SJ1548-79
本标准条款
撬允许编
片允许偏差
合临质暨水甲P
全部检验
经供需识方同。 复测别抵允许储差的范围可抗本准 1. 1条表 1 规定的上,下阻各放宽1%。
3.1上述交收试验中，鼓判为不合格的各批产品，应退回车间避行[00%挑别，携剔后的产品可再次交验收，但应对该批实行加严检查，再次提交的产品若仍不符合要求，该批产品不得再次提交验收。此时虚分析原因，提出读进措施和对该批的处理方法。
3.5位错密度和层错密度的交收试验按下列规定进行每批仟意抽取二片进行检测，如全部合格或有一片不合格，该批为合格品，否则为本合格品。
3.6原度的交收试验按下列规定进行3.6.1批量<100时，任意抽取两片进行检测，如全部合格或有·片合格，则该批为合格品，如两片都不合格，再抽取两片进行检测，如全部合格，删该批为合格品，否则为不合格品：3.6.2批量>100时，任意抽取四片进行检测，如合格品数2，则该批为合格品，否则应再抽四片进行捡测，如全部合格，剧该批仍为合格品，否则为不合格品。
4。包装、运输和储存下载标准就来标准下载网
4.1包装
硅外延片按易碎品包装。采用清洁、柔软、无膚蚀性、无硬粒的纸张，将片子分开包好，装入案乙烯薄膜袋载纸袋内，袋内应波入盖有术检验部印章的合格证，合格证上应注明：（1）产品名称」
【2】产品数质：
SJ154979
（S）产品参数（电凝率、厚度、层错密度、位密座）（4）尺：
5）生产凡期
（6）生产单拉。
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4.2.1包装好的鞋外延片应装入包装箱内，包装箱表面应按GB191·73《包装储运指示标志乃的规定，标明“小心轻放”等字样或标记。4.2.2装有硅外延片的包装籍允许用任何工具运。运输中应避免雨需的直接淋囊和机械磷撞。
4.3 储存
硅外延片应贮存在环境溢度为一10一十40℃，相对凝度不大于80%，周闹环境不应有酸性、碱性或其他有害气氛存在的库房内。
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