【电子行业标准(SJ)】 蒸发镀膜设备通用规范

RCS 31.020
备案号：2088—1998
中华人民共和国电子行业标准
SJ/T11185-1998
蒸发镀膜设备通用规范
general specilication for vapour coating equipment1998-03-11发布
1998-05-01实施
中华人民共和国电子工业部发布k
本标推是只据电·了丁业部儿儿六年标推制峰订计划的要求，对S1224一77（真空蒸发设备通用技术条件>进行偿订。
本版本对原版标准的更要技术内容改变如下：a）标准名称略有改变：
b）增加了设备的分类与型号命名、制冷系统要求、膜厚均对性、可罩性等。本标准出电子工业部标准化研究厨归口。本标准起草单位：成都南光实业股价有限公司、电子工业部标准化研究所。本标准丰要起草人：贺学红、陆希号、武文文、赵麗先。yfyerke
1范围
中华人民共和国电子行业标准
蒸发镀膜设备通用规范
General speciniealiun for yupourcooting eqnlpment
SJ/T 11185—1998
代 5J 1224 -77
本标准规定工发镀膜设备（以下简称设备\)的分类与型号命名，要求，试验力法、检跑规则及标志包装、运输、购存。本标难适周子轻阻床力为1x10-Fa～5×10-‘Pa范内的钟罩式和箱式燃发链膜没备。
2引用标准bzxz.net
下列标洗所含的录比，通过在本标准中引用而构感为本标准的条交车标准出版时，所示版木均为有效。所有标准都会被偿订，使用本标准的各方应探对使用下州标准最新版本的可能性。
GR 191—90
GB2681-81
GE2682-81
GD 3797—83
GB 5080.7—86
G36388-86
GR/T 13384—92
SJ/T 37-1996
SJ1276-77
SI2573-85
包装储运国示标志
电工波套装置中的导线源色
电工成亲装置中的指示灯和安钮的态适电控设备第二部分装有电子器件的电控设等设咨可常唑试验恒定失效率露设下的失效率与平均无故障时间验证试验力案
运输包装收发货标志
杜电产品包装通用技术条件
电子工业专用俊备型号编制及命名方法金属镀尽和化学处理层匠盘检验技术要求电予工业管路的基本识别色和识别筱号：料要通用技术杀件
SJ/T11131-1997幕发镀膜设备茶本意数系列$I2038593
3分类与命名
3.1设备分类
军用电于设备电气装配技术要求3.1.1接议各的工作压可分为：
中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准ERNKk
1998-05-01实施
）高真空烹发镀膜设备：
b）起超高真京燕发镀腾设备
3.1.2括设备成膜的过途可分为
SI/T 1185 -- 1998
a）半导体，些成出路用获发镀膜设备！）磁微、光盘羽凝发镀膜设备：装饰膜、包装膜用蒸发镀膜备。按沿备的缩预待总可分为：
钟罩式蒸发镇祺设备：
箱式蔬发髋膜设：
卷续式柔发载漠设备，
3.1.4按蒸发加热的方式可分为：）电阻加热式菜发纳膜设备：
电子束加热式蒸发膜设备：
电阻和电于束加热式蒸发镀膜设备：感应热式发腰设备：
激光加热式凝发迹漠设各。
3.1.5接备白化程变可分为：
a）半自动热发镀膜设备；
L）手动裁发链膜设备。
3.2设务型号像名
设备的型号应按S)/T3了的规定编制.其具含义如下：6
改进代号
设计频序号
主替数
一匹种代号
奥式忙号
类射代号
设备名称为700粘式热发链膜设备\。4要求
4.1工作茶件
在下列录件下，设备应能正常工作：）环境度:25±5;
b）甜对湿度不大于9：
）冷却水：选水短度不高下25它，冷却水采时城市白案水或质量当的水；烘电电源：三相3R0V=38V或单相220V±22V；d
规率50Hx±1Hz:
）设备工作所需的压竭空气、氢气、宝气等的耗量、长力，在产品标雅中规定。kehk
4.2一般要求
ST/T11185-1998
4.2.1设备应按规定理序批焦的图样垃技不文件制避，并应符合本标准的要求。4.2.2设备的电气装配应符合ST20385的规定。4.2.3设备电气安装时使用的导载颜色应符合G2681的规定。4.2.4设备使用的按钮、指示灯的额包应符合GB2682的规定。4.2.5设备配用的外购件，应符合相安的产品标准的规定，择应具有质量合萨伍。4.3外观要求
4.3.1开关，仪表及铬牌等面板上的零部件应布量合理，方便理作。司.3.2油漆涂要的零部件的杂层应符5SJ2573的要求。4.3.3电镀及化学涂覆的零部件表雨应光游细致、无斑点、锈蚀、起泡、脱层、烧结等快陷。共质盘底符合SI1276的规定。
4.3.4各种替道的涤色应符合S1635的规定。4.4安全要求
4.4.！设备应设有水流批警装置。4.4.2设备应有质止融电的保护设施，其段施应符合GB3797一3中3.9.1的规定4.4.3电控柜的接地要求应符合GB179--83中3.9.7的挑定。4.4.4设备绝缘电阻与介电度要求应符合心B3797—83中3.7的规定。4.5真空性能
4.5.1报限正J
设备热发室的披限压力应在产品标准中规定。其值应不低于SI/T11131一1997中3.1对极限压力的规定。
4.5.2动密封
设备的件动密封在处十运动状态讨，蒸发室的极限压力变化（始长)不得超过3%。4.5.3玉率
设备蒸发室的正升率座在产品标准中规定。4.5.4，快复真空时间
仪备蒸发室的恢复真空时间应在产品标谁中规定，其值应符合SJ/T11131--1997巾3.1的规定。
4.6烘烤加热
4.6.1烘烤加热温度
设备应设正填烤工件的加热装登，加热赢度可调，可控，且在工件被加慈烘烤过锂中，设备应能正带连链工作，传动部分运转自如，无卡滞、松动等现象。设备的加热逼度应可调。其加热烘烤的温度调你范围应符合SI/T11131—199713.1的规定。4.6.2盘烤加恭盟度均对性
设备烘培装的划热风盗必应断勾，并烘炼加慈温度均划性应在产品标准中规定。.7老然系数
老貌系统各据必须转动灵活，平稳，各传动皮带应张紧适当、带材差绕离偏应不大于土3mme
1.8制冷系统
4.8.1设备的制冷系统应密封可整。其低凡部分在1.6MTa、高压部分在2MF时，应24h不3
4.8.2输液系统应无费灌现象。
4.9均性
SJ/T11185-1998
做镀工件的膜厚均匀性应在产品标准中规定。10可
设备的可至情指标用平均失效间隔时间和平均维惨听间表示。俊指标应在产品标准中规定。
感育生
给设备应他括土机、附件、易损件和殖机技术文件，并满足合同司现定的其它要求。对件、易件和随机技术文件的品移，规格和数基应在产品标准中规定或在使用说明书中说明。
5试验方法
5.1一船要求检查
接设计文件、产品使用说明学等有关技术文件，对恩设备进行检吉。与.2外现要求检者
出日测法，按4.3费求，迹行外观检查。5.3安全要求按查
5.3.1将设备冷相系统的水流调至额定流值的80%，控查报著装置是否灵敏。5.3.2接GB3797834.2检查防止独电保扩措施是否符合要求。5.3.3月日测法检查议备是否有接地装而。5.3.4投GB3797-83中4.3.4.4规定检查设各的绝缴电阻与介电照度。5.4真竺性能检查
：5.4.1投限压力
仪备在空费条件下，开后用设备本身的烘烤装置究分除气.用经过控准的设备本身配置的其计检测登率时极限压力。
5.4.2动击封
设备达到极限压力后，分别操纵引人蒸发室内的销板、工件转整等处的运动机构，币设备木身配的点空计测量燃发实的所力。每处在10min内记录3次，最其平均值，其站果应符合4.5.2要求，
5.4.3丘升率
在蒸发室持举版限压小时.关闭高食空解，停市泵，15m后，用空日测压蒸发室内压力上：半小时后停前级基，用真空计测量蒸望内压力为P，用公式(1)算正升率P F
式中：aP—压率，Pa/hr
P,——第一次测量然变窄内的压力,PaP，…—第一次测基需发室内的压,Pn两次副量时的时向向附，h△（应不小于0.Sh。5.4.4恢真空时间
SI/T11185-1998
设备在空载承件下，当燃发室内的压力达到极限压力启，关闭高真空解，由放气离向热发室充入大气15min以后，再高其空阀对蒸发室抽气，同时用移表侧些戏发室达判规定压力的时问、符合4.5.4要求。
5.5烘烤加热检查
5.5.1实烤加热度
在设备述到可加热的压力时，通电加热，所设各本身配造的热电码仪表测量虚，由小到大调整加热功率，观察虚度变化范国，当功率调到额定值时，记录量高烘烤温度。在最高烘烤温度下保持30mim后，再特转动T件架及其他温动部位，检查运转情况，荐合4.6.1要求，5.5.2烘烤加热提度与沟性
费发宝达到恢复真空后，将工件供炼温调至最高烘烤温度，机定10mi后，用热解温度计进行测量。测虚位置为工牛盘上方一特定平面（该特定平面距工件盘的距离在产品标准中规定)内分布的三点（如内1所示、一点),同时测册其温度（允许使用转换开关)。重克测3红数据，将3组整大温差的平均值作火加热温准时匀注。控：R为放的工件半。
5.6卷绕系统检查
将待的带材放在卷绕系统上，启动想筛系统，观察各辑的转动情况。当带材企部卷到收老辑上时，停止举绕，用直尺满带材的跑销录，待4.了要求。5.7制冷系统检查
5.7.1将十燥鼠气注入制冷系纽，当保压部分的压力达到16MPe（表压）.高层部分的压力达到2M1a时，关阴充气阀.格查241内压力表的变化情况，符合4.8.1要求。5.7.2将压箱空气完入制冷列输策系统，当压力达到0.5MPa.关闭充气网，检查压力表的变化情况，符合4.B.2费求。
5.8豚厚均讨烂检查
设备的膜厚均性推果用以下方然检渡，或在产品标准中规定。以实际获镀所我得的铝含会膜为测呼对象，在一批（25件）工件中，随机拟收3性，用精既不低于0.05mm的叫操针测试收进行测盘。测量点按下列规定选取：）对于回形工件；在工件的保中心0致一点，再分别在工件的尺，R.R、R上
各取4点，见图2：
）对短形工件，在工件的中心对脉点心上取一点，再分别在工件的对称州上分别务取8点，见图3。
用同-工件所测得的各点的膜原，按公式(2)求膜厚的平均值：KN KAe
式中：8.
一膜厚的平均值，A：
SJ/T11185-1998
&mk+min
一膜淳各点中的最大值，A
o——膜厚各点中的最小值，人。燃后，再该公式(3)和4)计算膜厚均约性：孕正
式中：专
一膜厚均勾性，%。
1)×100%
=1)×100%
计算出二件的胺厚均匀姥分别为：，1、左、1、一、一、一其中正、负跑对值量火组含为受备的膜厚均勺性指标。4
REP4A
！:43
5.9可性龄查
SJ/T11185-1998
设备的可靠性括5080.7规定的序贷散展试验方法检查。具体方案在产品标准出规定：
或变性按变
对照其体产品标准、使说明书和供货合同，检查设备是否齐变。6检验规则
6.1基本规则
它.1.】检由制造单位技术监督部门根婦标准的规定及设各技术文件的要求送行。6.1.2议备检验合格，签放含格证，力能入库或出厂。6.2验分类
备的检验分为
）定型检验：
h）质量：致性检验。
日.3检验项目
若类检验测甘见表1。
顿目名称
一般安求
外观要求
安全黄求
真空性能
炫加热
烘均加满起宽均匀性
泰锐系流
制玲系统
满厚均封性
可排性
吸妾性
往：“参“为必取检验的现月，好不需检验的项目。
6.4定必检购
定型检验
日,1.1有下列境说之一吋,应需定型检验原量一致
性格验
）新产品在设计定型及生产定型成老产品转厂生产时：求
正式生产培，如材料、结构、工艺有较大改变，可能影响产品性能时；h
国家质盘监督机扰山定型检验的要求时。nkoSkea
试举方偿
章换号
6.4,2定型检胺样机1~2 台。
SJ/T11185—1998
6.3定理检验的全部项日检验合格，才能判定定型检验产品合格。6,5质一致性检验
6,5.1所量一致性检验适用下正常生产过程中。6.5.2质盘一致性检验应递台进行。6.5.3当质最一致性拉验出现不合搭项口日时.允许逐样后对不合格项月立新进行检验。重新检融合格，则势该产品质量一致性检验合格，若重新检验仍不合格，则期该产品质量一致性检验不存格。
返修次数不得超过2次。
了标志、包装、运箍、贮存
7.1栋表
7.1.1设备的指示、控制操作等部位应有必要的表示名称、位重,接地等标志。了.1.2设备应销牌，牌应周定在明显的部位上。铭牌上至少应标出的内容有：）刷造广名称：
b）产品名称；
e）产品型号；
d制造且期：
）出厂编号。
7.1.3设备的包装箱上应拨GB191热定，至少应标上\向上”、\怕壶”“重心点”\小心轻放“四种他装站运图示标志。
了.1.4设备的包装箱上应按（%6388的规笠，至少应标“品名”，“型格\、“重旺\\外形尺小\“收发货地点和单”、“运输号码\等运始包装收发贷标志。7.2包装
设备包装应符合/T13384的规定。7.3盗销
在运输过程中，设备不得例置，侧放，应避免较大的冲击，并应采取防雨、础控等借迹。7.4购存
设备必环存放在防溯、防尘及通风良好妇的顾所。轻咨的蒸发室和京空案统均应保持真空状态。存放时间超过半年者，应重折对真空系统，机微装置、电器控制系统等透行全面检查，k
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