【电子行业标准(SJ)】 匀胶设备通用规范

FCS31.020
备第号：2036-1998
中华人民共和国电子行业标准
SI/ 11183-7998
匀胶设备通用规范
General specification for glue conting eguipnmeut1998-03-11发布
中华人民共和国电子工业部
TKeSmKa
1998-05-01实施
本标准是对$3193—89(均胺设备随用技术条件)的修订版本。本标准与5I3193—89的主要技术差异如下，）培加了定义：
b）扩大了与胶设备的使用范期，高了对性需指标的要求；）实出了匀腔设备的.成本功能和指标。本标准士电子丁业部标准化研究所问口。本标准起草单位：西北机券厂。本标准主要起单人马伤营、王薛宁、郝、恭。yfyerke
1范围
中华人民共和国电子行业标准
勾胶设备通用规范
Generai speclflcatio for glue cbating equipmentSI/T 11183-1998
快警3193-89
本标准据定了句胶议备的定义、要求、试验方法、检验规财及标志、包装、运输、忙存，本标准适用于单导体架成电路，品休替中的硅片、不英够板、敢璃投等（以下简称“基片”）的匀胶设备。
2引阴标准
下列标准所也含的系文，迟过在本标准中可用而构成为车标准的杀文。本标惟出版时，所示版本的为有效。所有标难会被您订，使用本际准的各方应探讨便用下死标准新版本的可能挑。bZxz.net
GB191—90
GB 2681-. 1
GB2682—81
包装储运图示标志
自工成套装置中的导线题色
出工做宽装造中的指示灯和教扭题色GB5080.7--86设资可带性试验恒病失效率促设下的教率与甲均光故障时问的独证试验方案
2635—1996电子工业暂路的基本认别色和识另径号$I20385—93
3定义
军用电于设备电气装配技术要戏3.1搭片subsirate
对工制作导体器件，量体管、声表面波游件的单品建，石英玻璃等村料的底片的统称。3.2句腔glLexanliay
在高速能转下，由十离心作用和被体表函张力使胶绒均年地除显在基片上范过程。3.3承产台subgtratetahle
用以承载基片，并带动基片内步旗转的机械部件。1分类与命名
4.1龄有动化程度可分为：
2）自动包胶视备：
中华人民共和国电子工业部1998-03-11批池1998-05-01实
b）半白动胶设备。
4.2按有尤烘十方式分为：
\）带烘示整的匀腔设备：
b）不帮烘干装置的约胶设蓄。
4.3按加工片儿向形状可分：
）圆片胶设备：
b）方片匀胶设备。
3.1使用条件
SJ/T 111B3—1998
在下列条件下，设备应能正常带工作。a）环境混度：25±5t：
b）相对湿度：不大于%；
e）供电条件，电压38V±33V(三相)或220V±22V（单相）：数率51H：【Hz
d）片：行度<0.05mm
5.2—报婴求
5.2.1设备应我贝定程序批准的图详及惊术文件制造，5.2.2设备的电气装配应符命S20335的热定。5.2.3设备电气安装时使用的导线甄色应符合GB2681的规定。5.2.4设备使用的按虹、脂示灯的色应合（泪262的规定。5.2.5设备传动应灵活、平稳，动作应准确、协调。5.2.6各固定部位不得有格动现象。5.3外观要求
5.3.1设各死观设计应合。表无回陷、毛刺和拉等缺陷。5.3.2设备外表面喷率额色应均封，色谢一致，不得有脱落、龟、滇拉、起泡或划恢等缺陷5.3.3电链及化学涂覆的变件表面应光滑细致，无斑点，钥蚀、起泡、脱层，烧绍等嵌陷。5.3.4各种替道的涂色立符合SI1635的规定。5.4安企要求
5.4.1设备要有要地频灯.并应设暨明望的接地标志5.4.2止测试电压为500V时，电源输入端与机壳之间绝源电阻应不小手2M。5.4.3电源输入端与机壳之间应能承受交流1500V，耐压试验1min无击亲或闪络现象。5.5废气，度座的排放费求
5.5.1设备应有可靠的度气、度液的排放装罩。5.5.2度波不科流酒到处理环度饺管道、度液容器以外的其它各处。5.5.3设备应设有引出排气管。便于与乱户厂房内非气装互相连接。5.6氧气保护要求
亲睦及涤以后，邦道工序的茎片周拥均应有效气保护设。5.7点气久压保护要求
设各应设有氮气火压诉护功能。当氢气压力低于设备的设定值吋，设备应立刻拟警，并停-2-
FYrKAoNKa
止溪行。
5.8典空保护要求
SJ/T111B3—1998
设备应设有真空保护功能。当真空度压女高于设定值时，设备应立刻报吾，并停止运行。5.9显示装量要求
5.9.1设各应有工艺程厅、烘考担些、烘烤时间、主轴转速的显示装。5.9.2设备应有真空度的显系装置。5.9.3设各应有气源压力的显示装置。5.9.4设备应有品障显示装世。
5.10防尘要求
订胶、供下处应设置防尘罩。
5.11性能要求
5.11.1主轴转建要求
根掘基片尺寸改工艺要求，主轴转连的量大位应控制在200r/min-·10000r/min；其士柚转速设定范图在1Wir/min-10Hhr/mia：士抽转速应能调节，其调节量应不超过10r/minr主轴转逆稳定性误差应不超过土[0r/r:i。主独转座只体数恒布产品标准中规定，5.11.2主轴跑转们加这度要系
主灿能转角加运度的最大偿应控利征333rad/g～100D元d/g：理度误差应不大于！5%。其其体数在产品标准中愿定。5.11.3主轴精度(主铂装配度)要求主扯端面跳动读应不大于U.02mm:径向跳动误差应不大于0.04mm。5.11,4承片台与基片丧剩,面要求乘片台与片接航之平面直径应不小十基片经或些片内切圈直径的60%：5.77.5承片分股附力要求
当承片有有苯片、月胶或旋转升，承片台收附压应不饿十34.66kP=5.11.6滴咬质量要求
满股赚的位互应能调节。当基片直径大于150mm吋，滴股嘴应能自动移动清胶，移欲范应止基片中心至逆缘滴胶试应可调节，调节范用为.-10m]；当各设定参不变时，病胶盘应1定，允许误差不超过±0.1nl.5.11.7膜厚及均勾性要求
给设各人不同前参致，基片上所诊膜序度应能改变同一基片上膜厚均勾性识差效1%；当光刻胶、也胶函度、相速度、时问范腔量及读应均不致变时，片与片之问膜好误差为±5%：
5.11.8预处理变求
预处班可以采吸验饿出，施拍递法剪热带法：孩不得有滴现象；当采时效给法时，热板盗度不低于155℃。
5.11.9下要求
2）设备烘十装述的温控范尚-服在60℃200：担控精应不低于=2七：）当各定参数不变时，向一基片各点的温度差应不过1么，片与片的温度差应不超过1.5。
5.11.10去险基片迎缘胶的要求
FYrRAoNK
SJ/T 11183—1998
句胜整备座仪置去降基片、上、下达缘胶装置：基片上边紧胶去除宽度应在0一2m范围内可迟坐片上边战校去除后，胶沿绿应齐，无毛刺：去除基片下边够咬装胃应留将基片背面清洗早涤。
5.11.11二艺程设要求
匀腔造备的工艺程序设定垒少包括：预处理、甩十、勾腔、烘十等程字，科程设定时间应在0-99范用内可调。
5.12可常性求
a）设备均先效隔时向（MTBF应不小150h：）改备平均维惨吋间(MTTR)应不大2h6资验方法
6.1一般要求检查
直接查阅设计文件、产战使用说明书等有美技术文件，进行股要态查，6.2外观检查
月日测和手动法检在仪各的外戏质垫。6，安全要求检查
6.3.1用已测方法检查设备是否有按地装置。6.3.2用500兆欧表，测盘电谢拍人端尊机充之的绝续电，6.3.3暂定量不小于500VA高压试险，在泉源给入制与机充之间猫别1500V七压持随时间1mim,进行附压检查。试验过程牛庇断开s0V以下的低心跨。6.4案气、度率的推放费求检
测设备废气、搬非除情况，
6.5氧气保逆检变
并动设，用于总检吉效气有尤泄漏。6.6宽气炎玉保护格查
设备工作中，调节氮气调压，检空复气欠压保护功能。6.了点空保护检查
没备工作中，尾大平整或不光洁的基片作为工作，检验真空保护求。6 8 显示装置检查
实际操作设备，现寒各显式装置三作足限可带。6.9防尘要承检拉查
月测检产议备防尘措。
6.10性然要浓检吉
6.10.1用非按触式转速测垫仪测士轴转速。6.10.2
示波益风比主轴族特角加虚些其深差、6.10.3
用百分表或势表检乳关的装配销，6.104用下尺测总承片台与基片接射的平面直径。6.10.5
日测设备一起其空意，检查承片价吸正力手动证节，日渔消胶嘴滴胺位和滴胶形况，用以筋捡或政显。用股厚测试仪检本部较后齿片上的胶膜原度改其的对性误差。FYrKAoNK
SJ/T 11183-1998
6.10.8日测检查顺嘴项处理硅片况：6.10.9用表面温度测试仪控查供下装骨的温控范国及误差和基产温度。6.10.10实际势作设备.检查去除基片边续股装互工非情况.井用长度测量器具检查基片边燃去股胶觉度：借助改大镜检在基片上、下边综胶去除战情说。5.10.11实际率作设备，检查工艺程序，并用秒表检测程序的设定时间。6.11可靠生要求检生
行现场可系性验证试验。按GB5060.7一86中第5章规定的定时(定数)居试验方案5：7进行，靓民时间为1.46截尽大效数为3。7检验规则
7.1检验实施
胶备的检验，一般由制逆厂质尽拉验部门负克进行，也所由制楚厂和订货力经过协商分工负贡进行检验。
1.2检验分类
721句获设备格验分类如下：
）定型按验：
）质匠致比检验
7.2.2各类险验的适范围为：
7.2.2.1定型检验适月丁：
a）新产品在设计定理及生产定单变老产品转！生产时；b）正式生产后.如材料、结构，工艺有较大改变，可能影均产品性能呵+）家质量监督机均提山定型验验的要求时。7.2.2.2质盘一效性检验适用十正需尘产过程，7.3检验项日
各炎检验的检验项月见表1。
7.4抵样规则
7.4,1定型检验样机1--2台。
7.4.2质乐一致忙检验应台进行。7.5判定规则
7.5.1定检腔的全部项日检验合格，方能判定产品定型验合格。7.5.2当质质一改性棕验出现不合格项日时，允许返候后对不合格项巨重新进行检验。重新检验合格，则判该产品压员一数性检验合格，若至新检验仍不合格，则判该产品资量一致性检将不合格。
返修次数不得超过2次。
球目名称
一般安求
气,缺液的排放
氧气欠E保护
真空保护
显示要宣
土整转遗
主谢载转拍加逐店
主粘摘度
承片台与基片接触回
承片台吸附压力
循胶质量
问改与均性
预处理
去除基片边
工出理序设定
SJ/T 11183-1993
定通检险
法，“事“衣小必须避行检验的项言；“—*类示不检疫物项月。
标志、包装、运輪、贮存
8.1标志
8.1.1产品标志
产品标志应具有下列内容
）制造厂名称利厂址：
产品茗称和型；
e）商标；
山）出厂编号：
e）判道口期。
B.1.2包装标志
质一致性检致
-YKoNKa
要求章集号
5-11-6
武验方陆章策号
sJ/r 11183-t998
设备包装箱齐坚应标有符合GB1S1规定的“何上\、“小心轻敢”、“度心点\和\出此吊起等标志，并注明毛重和外形尺寸(长×宽X高)。8.2包装
8.2.1设备差箱前应逃行游洗，去尘并采取防诱措商，密封包装。8.2.2采用末箱或扩胶板箱包装，设替匹闹及席部要安置规冲材释，固定可靠。.2.3包装销内部到有产品合格证、使用说明节和装辩单，许用频料封装。8.3
包装箱在起吊，运销逆程中应小心轻放，群免碰摘和冲击，并采攻防雨驾带装措施。8.4存
设备装箍后应比存在环境温座5记-4它，相对操度不大于75%，耳消洁、通风，千燥、无痴蚀性气体的贴原内。延行期间每半年抽查一次，一年全而检查一次。
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