【电子行业标准(SJ)】 显影设备通用规范

备率号：2087—1998
中华人民共和国电子行业标准
SJ/T11184-t998
显影设备通用规范
General specielcation for developing egaipment1998-03-11发布
1998-05-01实施
中华人民共和国电子工业部发布YKoNK
运标准是对以3194—80（显影设备还月技术录件>的修订版本，去标准与S3194—89的主要技术差异如下：a）治加了定义：
b）增加了安全和环保的要求：
）扩大了星影仪备的使范用，提高了对性能指标的要求，本标准出电子工业部标准化研究所归。本标准起草单位：西北机器厂。本标准主要起草人：点化营、工意宁、郝。Yyerke
1范闽
中华人民共和国电子行业标痛
显影设备通用规范
General apecificatioa for developing equipnentS/T11184-199
代S3194-89此内容来自标准下载网
本标准规定了显影备的定义，恶求，试验方法，检验规则及标志、包装、运赖，存车标准造用于出导怀朱限电路、品体管中莉硅片，石英铬板，瑟功板等（以下流称\蓄片的显影设备。
2引用标准
下列标准所包念的条文，通过在本标准中引用而的变为本标准的条文。本标准出愈时，所示版本均为右效。所有标准都会敏您订，快本标准的方应探讨使用下则标准量新版本的可能性。
GB191-90
CB268181
GR2683—81
包装运淘示标志
电工成装而中的号线颜色
出工成套装中的指示灯和铵钮颜色GB5080.7：B6设备靠性试验定失效率假设下的效率与均光故摩时验证片验方案
SJ1635—199
电了工业智路的基本识别色和识别存学SI 2038593
3定支
承用电子设备电气装配持术要求本标准采用下列定义。
3.！基片subgtrRTe
用于制作半导仁篮性、品体受、尚表面试器件的单品碳、英验率学材料的废片的统称。3.2显影developing
用落剂去除未廖光部分（负胶)或噢光部分(正胶)，以得到所需要的光别胶图形的过程。3. 3矛片台sudisl rale Ialle
用以承载基片.并业动基片同步旋转的机献品件。4分类与命名
4.1按自效化保座可分为
a）白动显彬设备；
中华人民共和国电子工业部199日-03-11批准Ykerke
1998-05-01实施
b）半自动显影设备。
4.2按有无进下方式分为：
）带淇千装避的显影彩设备；
b）不带步平整舜的是影设备。
3按加工基片几他形状可分为：
a）阿片显影设备；
的方片是影设备，
5要求
5.1传沼条件
SI/T11184-1998
在下列条件下，议参应辖正常工作。a）环感组座：25℃±5℃，
6）对递度：不大于60%：
供电条件：电压38mV：38V(一村）或220V：22V单相）断率5UHz±11z；
5.2一般要求
片：平行度<0.05mmz
5.2.1设备应按规定程序批准的图样及技术文制造。5.2.2设备的电气装配应符分SJ20385的规定。5.2.3设备电气安装时用药导线题危应符合GD2681的规定。5.2.4仪各便用的按钮、抢示灯的新色应符合GB2682的规定。5.2.5设备配用的外期件，均应符合相应的产品标滤的规定，并应具有透丘会格证。5.3外观要求
5.3.1设备外设计应合厚，表可于陷、毛期和拉恢等缺陷。5.3.2开关，仪表及馅牌等面报上元器件应布逆合州、方便燥作5.33
设备外表面喷徐頭色应均匀，色调一效，不有脱落、龟裂、流挂、起泡或划快等缺陷。电凌皮化学涂阻的审部件表而拉光滑细致，无班点、矫蚀、起、脱层，烧站等缺陷。5.3.4
5.3.5各种管道的涂色应符合S16.15的规定。5.4综构要求
5.4.1转动应灵活、平验，动作应准确、协固。5.4.2务固定部位不得有松读现录。5.5安全要求
5.5.1没资应有接性端钉，并应设登明显的接地标志，5.5.2征测试市压为500)V时,电录输举与机壳之间些缘电随应不小于 2M0。5.5.3出頭辅入端与机壳间应能承受交流1500V耐压试1min，无击穿和闪络见象。5.6气，烤流的排放要求
5.6.1设备应设有可靠的变气、废波范排效装置。5.6.2度不得流商到处理坏、废液管、度波容帮以外的其它各处。5.6.3设备应凹排气算，并使下与用户厂实内榨气装盘相连接，5.7爱气保护要求
TxSmKAa-
S/T11184-1996
在法行是影、累继供干时，每道工序的基片周后均应有效气保扩设脏。5.8鼠气久压保护要求
设备应只有氮气久出保护动能。当气压力如丁设备的设是值时，设备应立效警，并停正工作。
5.9真空保护要求
改备应再有点容保护动能。当真空度方尚下设备认走假时，收备应立制报警，并停止工作。
显示装空变求
5.10.1设备应有工之程、烘烤制度、烘谢时问、主抽转速的显示装置。5.8.2说各立有有空能的品示装盘5.10.3悦各应有气源压为的显示装让。5.10.4设备应有战原显示转性。5.11防空要求
显影、灶干处应效骨欧尘图。
5.12注要求
5.12.1主轴转速要求
轻期革片尺寸及艺要求，主轴转速的展大值应控制在2001/mi～100rmin；其去料转速设定范围在1uUr/in-·10000c/min主轴转速庞能调节，其调节量不超过1hc/min；主输转连稳定性退差应不过工10e/min、土轴转这其体教值在产品标准巾规定。5.12.2正独单加速度费求
主轴提转用加连的量大值控制在333rad/2.-1000md/*，加速度课差应不天干：5易。其具体数值产品接准立规定。5.2.3主轴精要(主轨装精实)要求主轴带而跳动读差应不大于,02nm:径向圆晚市误茶应不人小0.04m5.12.4水片台基片链范而要求
承片台与片换新之面直冶应小于基片直径或基片内图夏径的6%。5.12.5求片台吸附压力要求
当承片台上基片显影、源洗和供平时、承片分吸对与为应不低于34.66Fg，5.12.6显影与洗要求
）显影嘴、源洗嘴的净位备应能调节：）对下负胶显彩，显影装、源洗能应以均与的第状收酒到基片上，且喷等压力调节范岁0--1.7x1Gra0-1.5kea:2
）对于再胶尿影，显影波、漂端液应以喷淋式喷酒到基片上，液体温度应挖制弃1门它一我可谢：
d）显彩旁、源性嘴均术应有离筛现率，5.12.7烘干要效
a）设备在显形深洗后应进行洪平处理，其盘控范围一疑在60七一300七，温控精度应不十=2℃：
同一蒸片各点的变禁应不超过1，当争设定患整个弯时，片与片的盘度不超过1.51.
5.12.8工艺程序设定舞求
SJ/T 11184-199B
显影设备的工艺序设定室少包话：显影、酬洗和烘十等程序，各程序设定时间应存0→99g范国内可调
5.13可享生变求
a）设备监效间陷时间MrBF)应150h：b）设各平均维够时间(MTTR)应不大了2h。6试验方法
6.1一般要求检查
直查阅设计、产品健用说哦书等有关技本文件，进行·-股要求检查。6.2外迎要求检者
用甘测法检生设备的外观质成。6.3结构要求检变
用测法及益紧工具，进行结挡检克。6.4写企要求检变
6.1用国出检查议签定咨接地装贸和接地标志。6.4.2用500V兆欧表，到量马源暂入端与机尧之闻的绝举电阻。6.4.3用敏定窄盘不小十500VA的高压试验台，代电源输人端与机壳之间筛加I500V电玉，扫续时可1mir.检否耐压情说。试验过程中应断开V以下的压电路。6.5避气、液的择总要求检查
过阅检查设备股气、废液排放情况。6.6点气深护要索检替
开动效备，用手感检在氮气保护情况。6.7氧气欠压保护要求检变
设备工作中，提动询压旋手，检查需气久压保护情况，6.其空保护要求检查
设备二作中，用不平整或不光浩的落片，作为工件，检查真空保护情况。6.9显示装置要求检变
实际探作没备，观察各总业鉴量的显站能6.10防尘要求检查
月渔检查设备防尘措施。
6.11补能要求检查
6.11.1月非按独式转速测及仪测土轴转速调节范围及其稳定代送差6.11.2用示波能测域主轴旋转角划速度及其保差。6.11.3用白分表版于分表检划主轴的销度6.11.4用F尺测函承片与基片触的平面直径6，11.5用设备仪差，过测检查承片台脱附量机6.11.6后检咨品影嘴、漂洗嘴的拉面情说：手动调节喷雾玉力紫量，薄最压力范固：用湿度测试仪表检测基片温展，日测豆影瞬、累泌财有无滴诺现象。6.11.7用表面湿度证试仪检香供装骨温必及片点的温度。4
rKeNmKea
SJ/T 111841998
6.11.B实感设备，俭变工艺程序，并用秒表检测各程序的定时间。6.12可靠性检否
进行现场均品非验证试验，按GB5080.7-—86中第5章规定的定时（定数慰届试验方案5：7进行，截吊时为1.46m。款占尖效数为3。了检验规则
7.1检验实
显影设备的检验，一由制造厂质量检部门负资进行，也可由制造厂和订货方经过协商分工负责进行检雎。
7.2检览分类
7.2.1量影设备检验外类如下：
a）定型检除：
的）质互致性检验。
7.2.2各类检验的适日货国为：
7.2.2.1定型检验适月于：
）新产品在设计定型及生产定型变老产品转厂生产时b?正式生产后，如材料、结构、工艺有较大改变，可能影响产品性能时：<）国家质量监督机构提出定型检验的要求时。7.2.2.2质盐一较性检验适用于正常尘产过程中。7.3抢验项目
各类扮验的检验项目见表1。
7.4抽样规例
7,4,1定型粒验样机1-2台。
7.4.2频盘“致性检验应逐台进行。7.5判定热则
7.5，1定型检验的全部项日检跨格，本能判定产品定型格验合格。7.5.2当质对·致生检验山现不合格项时，允许返修后对不合格项日量新进行检验，度新检验合格，则判该产品质尽效性检验合格，若盘新检验仍不合格，则判流产品质量一致性控整不合格。
返修次整不得超过2次。
TtKeSmea
日名称
一般装求
晓气、放滋的非效
鲜气解节
颜女乐保护
好求带
七融能
十轴转这膜
土教植促
承片台与片接触面
片台吸压
工艺程学技定
可选性
SJ/T11184-1998
定血检险
广争“来示必知进疗协验的项目！\一“来示不孕验的频目。
标忠、包装，调输，吧存
8.1松忘
8,1.1 产品标志
产品超急应开有下列内窖：
制造厂名称和」：
b）产品名称和量丹：
e）标
d）出厂编号：
心）制造期。
8.1.2/包装标志
质量一致世检险
要求牵录引
试驶方违事集号
设备他装箱外壁应标有将合GB191规定的\向上”，“小心轻放\“再心点\和“司此吊起”等标志，并注明毛重和外珍尺亡(长宽×高)6
8.2包装
S3/1 111841992
8.2.1装箱前，应对设进行清洗、去尘，并采取防锈措施.密封包装。8.2.2呆片大辩要竹胶板箱包装，设备四间总底部应安置版冲材料，固定可享。8.2.3包装箱内部应附有产品合格证，传用说明书和装箱单，并用塑料带封装。8.3运瓶
包装箱在起匝，运输过程应小心轻效，避免避撞和冲击，并采取防雨笃袭推随。8.4存
双各装箱后应凸行在环境温度一51℃.40℃，和对整虚不大于75%，互满洁、通风、干燥、无虑蚀性气体的仓库内。亡存期问每半年灿在次，一年全而检查一改。
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