【电子行业标准(SJ)】 净化涂胶台通用规范

Ics3T.020
备案号：2084-1998
中华人民共和国电子行业标准
SJ/T11181-1998
净化涂胶台通用规范
General specification for resist -- coatingstage with purified ruom
1998-03-11发布
1998-05-01实施
中华人民共和国电子工业部
本标准冠根据国内净化涤股台的技术茶件，参服国外同类设各技术弥料进行编制的。本标准计电工业部标准化碳究所归口。本标准起毕单位：电子工业部半导体专用设备研究所。本标准起草人：必怀科、黄燕。-ykrkes
一范围
中华人民共和国电子行业标翟
净化涂胶台通用规范www.bzxz.net
Ceneral spectfieatinn fnr resist-cnatlngslage with purirfed room
SJ/T11181-1998
本标准规定了次化综胶（以下简称涤校有)的定义、要求、试验方法，检验规则及标志，包装、运轮、延存。
本标准适用！制适卡导体策成电路专用的净化函胶设备，其它类型的除胺设备也可参照缺月。
2引弟标准
刻标准标含的案文，通过在空标难可用而构成车标准的条实，标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会修，使用标准的告力应探讨使用下列标准最新版的可能性。
G191-90
GB 268181
G3 2682—81
G 3763-83
05 5226--x5
GB6388—86
SI/T 142--1996
10152—1
SI/T 1038693
ST 20365-9.3
3定义
包装储示标志
电工成套必置中的导线题
电工成套装骨中的指示灯和按钮的逐色英声源出功书做的测定简县法
机床电气设备巡压技术件
运报包装收发货标志
电子上业专用设许通用规池
集成电路主费工艺设备术语
电子工业专用设备可桌性指标验证试验方法军月电子设备电气装配技术要求年标准采用下列定义，
3.1基片lsmle
及秘利据。百于相河或不同材料之下，对其起有支撑或装密作用资半导体单品或芸究材科均件SI/T10152-01中3.1.1.213.2徐胺gule tating
在高速旋转下，动于离心作用剂浓体太而张力使胶赖均勾地淤短在基片上的过望。3.3除胶台esiet—vEtingsltg
中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准KeSmKe:
1998-05-01实施
SJ/7:11181—1998
利用液体表面张力和监片高速嵌转的离心力的作用，将光致抗恤剂均勾地染谨在基片表面的设备「SF/T10152—91中3.1.31。分类
4.1按自动化程度可分为：
）全自动净化涂合；
5）半白动净化徐较台+
）手动净化亲腔
4.2按接工位可分为：
）单头净化涂胶台：
h)率头(多工位)净化徐胶件。
4.3按有元烘千装直可分为：
）带烘千装宜的净化除政台：
b）不带烘干装抵的净化净咬台。5要求
5.1使用条件
5.1,1 环境
盘度,22±2t;
剂对湿学，60%
净化布活净粤：10毁，100级，1000整。5.1.2电源
电压：220V±22V;
车，50Hz1Hz
5.1.3越片
行度：<.05mm
）尺寸：$8mm-*75mml$10mm4125mmp150mm5.22
5.2.1涂胶台外规设计应观，表面无四南，毛刺和拉恢等辨陷。5.2.2外表喷键朗色应鲜充.色调一政，不得有脱落、龟裂，流挂，起泡或划伤等缺陷。5.2.3经电镀及化学涤覆的等部件表面应光亮，无斑康，无锈体，脱皮收明显坏痕等缺点。5.2.4涤胶台润滑、安争探作，接地都应有明是的指示标志和标牌，5.2.5操作面版及标的刻线、数宁，文字和图形符号等标志，必须统一，明确，且字迹错晰，症查止确，安装牢心
5.3性能特性
5.3.1空气净化台
有效操作区气就状态应为垂也层流。a操作区风速：0.5m/g=0.1m/：
过率：
5.3.2染胶台
SJ/T11181—1996
a）勾胶转速：50r/min~.9min.连续可调：b）骏时间：0~99.9可以设定。
5.3.3移动机构
涂胶台应运转平税，各部分动作协调一致.操作开关，手把应灵活、准确，安全可率。5.3.4减费装置
工作台应有减露装。减而装应其备调节机构.且调节方便、灵活。5.3.5气路率统
涂胶台应气跌畅通，磁阀、气虹开关炭活，动作准确。5.3.6润僑系统
涂股台润滑良好，等润滑部位应有明确标志，并在产品说明学中规定润将周期和询滑试的。
5.3.7电气控制系统
5.3.7.1接钮、升关控制点便、录适、可量,其额色应符合GB2682的现定。5.3.7.2时间、转速指示准确直观，5.3.7.3电气整制系统安装应符合SJ20385的规定。5.3.7.4电气导绍题色应符合GT2681的期定5.3.8嘴由
徐较台运行时赚声应小丁65lR(A)。5.4可性
途台度有可靠偿指标要求，县体指标变产品标准中越定。5.西安全
5.5.1电气绝缘电五应火2Mn。
5.5.2涂股台应有按地表些，并设些明显的按地标志。5.5.3除胶台应有断也保护装置，以防止因头电前造成基片出等故库。6试验方法
6.1使用条牛检查
6.1.1环境
用常现益是，对佛用款环境进行检测。6.1.2电源
a）用电压表迎供电市正，机器连续运行2h，每2h测流一次；）用额率计测供电电可频率，机留逆续运行24h，每2h测试一次。6.1.3片
在平板上用电感德微仪或千分表检测基片的平行度，并检查其尺寸。6.2外观检套
压且测运捡本净疮台的外观.
6.3性能接尘检在
6.3.1空气净化
a）用热电网速仪测尽模作区的风速，开观察其气流状态；h）刀扩24h，在胶头四周，月生以离于一数器测试净化效果，每2h，满压-次。krk
6.3.2除胶台
SI/T 11181—1998
用光电转速计测量除胶台的勾咬转速：用秒表过胶时间，开机运行24日，每2h测量一。
6.3.3传动机构
亚机运行，进行转动机构拉查。6.3.4减砸装贸
开机运行，检查减需装承调节机构运行况。6.3,5气路系统
可习测法较查气路系统
6.3.6混准系统
雨日提法检查游滑系统。
6.3 7电气控系统
按G2681、GR2682质S20385的规定，对电气控制系统进行检充，6.3.日限声
核3规定的法检整机逆声。
6.1可晕性检查
按SI/T10386约期定方法，进行可靠性指标股证。6.5安全格查
6.5.1乐500V兆表检划出电。
6.5.2用日测法检变技地装。
6.5.3人为断电，检验失电保护紫直的可举性。7检验规测
7.1检验实
徐腔台的检验，股出研制单位质盘检整部门预进行，J.2检验分类
7.2.1综胶合的检验可分为：
业）定频检验
h)质量一改检验，
了.2.2各类检险适用范医为：
7.2.2. T、定单检独适用于：
a）新产品齐没计定型及生产定型或考产品转生产时：b）正式生产后，如材料、拍均、工芝有较大改实，可能影响产品生能时：心）国家质盘监存机构美出定型松验的要求时。7.2.2.2质母一致性检验逅于正常生产过理中。7.3检验项目
类检服的检验项日见表1。
项目名韩
空气净化自
转动5构
路聚统
湘滑东纯
电气控用疾统
SJ/T 11181—1998
各类检验的检验项日
型检验
“\表示翼进行拉验的项目！
\一\表示不录要按验的项首
7.4批摔规则
7.4.1定型检验样机1—2台。
了.4,2通量一致性检验应选台进行。7.5判定规则
性恢醛
地术事号
7.5.1定量检验药全部项甘检验合挤，才能判定产品定型检验合格。试验方会
章多号
7.5.2当质显一致性检验山现不合格须目时，允许返能对不合格项日重新进行检整。再新检验合格，则判该产品质量一致性检验合格；若重新较验码不格，该产品压盘算检验不合格
返修次数不得超过2次。
8标志、包装、运输，贮存
8.1标志
B.1.1产品标志
产品标志应具存下列内客：
a）制造厂名称和厂址：
6）产品名称和型寸：
e）商标；
d）出厂编号：
制迟日期。
自：1.2包装志
SJ/T11181—I998
包装箱外壁应具右心B191规定的“向上”，“小心轮敢”“最心点\和“出此起吊\等标志，并注明毛重和外形尺寸(长×宽×高)8.2包装
8.2.1他装应对涂胶台进行清洗，并采前防雨琳措施。8.2.2染腔台应采用术质箱或竹致板酒包装。8.2.3除胶台应包含，主机、防件，专用工具及随术文件。接术文件中应有常见故障及排除力偿和最圾元露件日录等内容。包装箱内应附产品合格证、使用说明书和装箱单，并润烟料装装。
8.4运轴
包装群在起吊、运缩过程中应小心轻放.避免冲击和碰控。8.5忙存
包装后应抢存在环境温度为一5～40℃，相对湿度不人的%，日消挡，通风，无脑蚀性气样的仑库内。存期间，每单年抽查一次，一年全面检皆一次，k
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