【电子行业标准(SJ)】 蒸发镀膜设备基本参数系列

1cs 31.020
备玺号;700—1997
中华人民共和国电子行业标准
SI/T 11131- 1997
蒸发镀膜设备基本参数系列
Basic paractcr scricsof
evaporationplatingeguipment
1997-09-03发布
1998-01-01实施
中华人民共和国电学工业部发布前言
本标准是S1099—77<高其审蒸发设各参数系列>,SI1099—77(耀高真空蒸发投备参数崇列>合产的格汀版
本版本对前题两项样证的率要技状内穿改变如下改变了标滞名称；
卡据微发链赚说备的用初发爬，对补本数项日和数值作补充和调整：取消了电极对数、商子表告、工作望转递，真空系统配置等辅期性和可变动性存数。本标准由电子二业部标准化萨究所归口：木标准起草单位：成都南光实业股份有限公司。本标准起人：协华先、丽、康厂丽。1范围
中华人民共和国电子行业标准
蒸发镀膜设备基本荐数系列
Bnsie panmmeter serieg of
evapnration plating equipnent本标准规定了热发战膜设备基本态数系列SI/T11131—1997
代营98-
SF1099
本标非适用T极限正力3×-P一5-\P范围内的钟罩式和箱式然发读膜设备。2定义
在规泄采用下死定义，
2.1极点力ultimateFrcssure
泉衣1牛时，堂载十操药真空穿器递接近您定的量关用力2.2按真空拍气时间pun:pingdown[imeofrecovervacurtt在规定的操作我子下，蒸发室从大气并始推至规定压力所需翼的时间。2.3气速市leakhuoughpurofavacuumsecrem热发皱膜设各真空至统，动于钢气游入列真空系缆中、共影响真空容实中玉力的气体演2.T件热度hestingunio[mpe:tr:rf workpierex工性妞烤时，车被链工作与烘烤装面之间，距工件表两规定距处的存效加热区内的祖度均钉理度。
3基本参数
3.1英发铸膜设备的蒸发字尺寸，轻，卡力，恢多点室抽气时间、二件加热均们度，上件烘烤品度诚书也因和然发证动率应合表|的规定。3.2获发费膜设备的活气连率合表2种现定中华人民共和国电子工业部1997.09.03批准1998-01-01实瓶
慧数名环
蒸发室小
控证乐,力
矿式内
箱式宽）
六知滚款
快克比抛气列
工性加均为选
花源率
立蒸发路（舟时）
质子来函发译（海个）
和致多政
吸E小炎
320 -553
兼发案尺寸
630--1250
$--2000
SJ/T1113I-1997
320,400,500.670.60D,1000.1256.1600.1800.2000.224550.700.1100.1500.1800
55×10-5
以大“压抽了
1.3 ×14-\F
5×10-*
3×10-4
从太气玉室
7×10-Pbzxz.net
10,,16,%30.25,32
宽语~2小m、室视~25m室品-300、室也-350、室盗-4c0室阻-450,字望-500
3,5,7,11,12.14,[6
3.4.s.6.A.10.15.2c.30.50.1c0.500表2
7 x 111 7
S,7N10-3
7X10-2
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