【电子行业标准(SJ)】 掩模对准曝光机测试方法

中华人民共和国电子工业行业标准SJ/T 10274 -97
掩模对准曝光机测试方法
7997-177-12发布
1992-01-01实施
中华人共和国机械电子工业部发布号
中华人民共和国电子工业行业标准掩模对准曬光机测试方法
Test masthoda of mask alignmentend exonureyhe
T主题内容与适用范图
SI/T1D274—91
术标准见定了制试拖慎对准理光机（以下简称\录光缸\的“般要求和方法。车标准适时于接触式和接胆一接近式程光柜。2引用标准
CB11481
GB5393
3术悔
接棋对准理光视通用技术承件
运摘包装件盖本试验喷淋试股方造大型运摘包奖件验方齿
除下列术语外，本标准所用有关术语接G114B1第3章定。3.1定时差
采用定时系统控制睡光量时，实际腰光时间与轻良光时间护相对误差、3.2定时重复性识差
定时系统限光时阅设定后，实际呼光时问的离放离，用实测眼光时间的相欢误差表东。
3.3光量分系效
来光权分方法控制爆光时，实际限光断与相应当次核移值比应为定值，这一值称为光量积分系数、
3.1光量积分误差
光量积分系数与每效定称分情次下积分系数值的相对炭差。3.5光量重课差
积分系统积分当次设定后，光强发生变化时，实际曝光量的离散度，月实际光量的剂对误空表求。www.bzxz.net
3.5恒光独波动度
中华人民共和属机读电子工业部1391-11-12托准1392-01-01本施
SI/T10274-91
恒光强表统进入热稳定状态后，现光光光强始变化癌展，用在规定时间内实际光强值的相对禁表示。
3.7梁光闻临误差
振近式现光的实睡光间策与设定慢光间激示称值的相对读差。3.日眠光叫原重复性送考
腰光间隙设定后，实际喂光间隙信能离收度，用实测光闻除的相对误差或求。4试验素性
4.1环境等件
4.1.1试验期间的环境条件应选到应标称分择率的要求，见表1在不影光机性能的前提下，一段剂试可释照表1要求，适当降活指标），4.1.2工作间内不得有赔蚀益气4，4.1.3对带有计算礼的唱光机，还应安有关要求，进行电磁屏蔽。一
景光分陈率
冬垂夏手破动范困
>2. 0~3. 0 1
>3. 0-5. t
4.2电源系件
祖对湿压
4.2.1试验划间，电源电压的被形变率不望过10%，电微压的被到值不超过主%、
4.2.2试验期间，电源频率的被动值不得超过士1%。4.3时压条件
4.3.1试验期间，气动系统的供气气臣不得低于数定值护5%。.3.2试数期回，其究系统的玉力不得担过额定算的5%。4.4烫益仪器交液
负试所用的仪器位表经计早检息合格：产在其有效期内：4.5试验材
4. 5. 1基片
测试用基片选用续研电片臣满足赚光规起称光分款率的要求。4.5.2摘常版
纠试时模版应满足厚光乱标称分费率的要求，其使量应狗合C日7237的拟定，4.5.3光致抗能剂
技点机步有效谐盗用正性光致抗蚀剂。2
5试验方法
5.1环境茶炸查
5. 1. 1盘度、担对显度险充
SI/T10274-91
试验期间，用精度不低十1级的干湿球湿度计每4h划试-次环境的温度，相对显度。十显球显度计置总位置如图「质示。应受放在与工作台高度一致，效有气流的地方。承持台
国1千湿球混度计受教位置示意图5.1.2净度抢查
试验期问，和划试次洁净度，选用测试精度能测足应沾净宽等级拍光学粒于共数器检洲有效工作区城的洁净率。敢样位登如图2所示。承片白
国2光学款子计数器眼样位驾示意图5.1.3地而振动检查
试啦期间，测次地雨振动幅离，振动分析仪的抬振装置应暨放于工作台机坐附5.2外检查
5.2.1用者规法进行外观既量检弃。3
SJ/T10274—91
2.2用严意方选检奋移动机核的空使及运动情况5.专全格者
5.3T用自动击穿转誉在5CDV直流电乐下，测盘切级线路与机老之间的绝续内组。5.3.2用自动击穿装置在150m50H务流电压下，测量满电流值。试压1mn+观账有无占等和放咀现象，
5.3.3用日视法检查接地标患。
5.4显镜检查
5.4.1调节显锻情的目懂、物快：用手感及目视法检查甘镜、物管中心距证节性能光抽孕行性、左有规始的齐焦霍度以及在右显微镜倍率的一致栏，调节微键视逐光座，用目现法拉查现端的亮度变化及清磁安，5.4.2道节显微镜，逆择柜应分率版，通过能识别的线宽，检查显敏镜的分辨能5是否微足噪为机标称分辨率的需要，5.4.3调节显微馈物快与基片相对位置，用1级于分表测量能识别相应线衰的调节范国，比酒节范国即为觉微镜集深。5.5吸光系统检查
5.5.1调节得光灯X.Y、Z方间位重,井检查底辉性能。5.5.2开启哦光灯1Din后，连用精座不于0.3mW/cm*测试泄长，为5mm，404.m的案外照度计检光独不均勾性，划费点按图3所系直径@按表2的规定，试验数据按公式(1)处理。
图5光强不均判性测量点示意图
基片影格山
检测直径也
SI/T1274—91
1×100%
式子，所检测直径稳国内，光强不均勾性，6E所测5点中的最人光强值，mw/mE
一新测5点中的景小光强慎，m/cr5.5.3开户腰光灯，检查暖光灯是否脂连续工作1eh5.5.4，开自腰光灯2h后，用半导体点温度计数盘灯室外变温升5.61光控检变
5.6.1光源处于热稳定状态后，连继牙启、关闭快门40次，检查快门动作，关闭快门·将龄有500mm正性光致抗蚀剂的基片登于加有简单图形的掩换版及厚爆光头下2mm，配后显影，检查快门是否有满光现象
5.6-2将定时系统曙光时回分别设置在6.3,10，16,25,40，3，80，99.9%挡次上，在每没庭时间下，用测速仪实测三次，按公式（2)计算定时误差，-
1×100%
式中马
定时系统设置时问为的时间误差，%；L———定时系统设定哦光时间，\t,一—设定爆光时问下，三欢实测锂光时间算述乎与值(2)
格课光时间设置在1025s当次上，分别实测10达哦光时间，用公式（3）计算忘时率复性误差。
R==t× 100%
定时素统更更性误差，的！
10快变测中最长的率光时间，3，10达变中量每的腰光时间：
+—10次需测噪光时间算术平均值，(3)
5.6.5光源达到热度定状恋后，课光量档次为6.3,10,16,25,40,63,80,99.9、在告挑定档夜下：实测三次光强和理光时叫，用公式（4)计算光量科分系整值，用公式（5)计算光重积分误差。
光量程升紧学
K-×160%
一各设定腰光档伙下，光量积分系数，L,
各设定腰光档饮标称值，
E=一实测光强值，mw/cm
各设定呼光量档次下，三次实测课光时间算术平均值，！(4)
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—各设定曝光量档次下光画积分误差，%。竞娱光量档放于10、259西档，改变程光光京的光强（调出三种光强，三种光强之问带道人小子10治）实测光强俏与要光时间，公式（6)计算光量量复性漠苯。E. t -- . +
式山，R,光量积众直复性误差，张：E
各实创光强值，raw/cm*
—务实测噪光时间，B
三护光强下，晖光基算入平均值，mw/cms(6)
5.6.4：用照度1测抢膜版中心光强值，每1h测一次，实测五饮。用公式（)计算恒光强蚀动度。
D, = Bm = E × 100
式中D性光强波动度,%
Fun—五次测量最大光强值，mw/emtE-t-五次测量量小光弧值，mw/em五——五次赛量光强值的算术平均值mw/cmt5.7微动介趋查
5.7.1用1级做标卡尺检测扫插部件的读节范围，用1级干分表检透扳架相对于显梦动时的表面瞻动盘。
5.7. 2月 1 级游标卡尺检测承片台与掩慎的X,Y 向相对调节范国;月 1 级T分表检最小
5.7.3月度等级不低于1的量角舒检测平面转动部件的粗调及微调范围，5.7.4用1数游标卡尺和1级千分表检谨承片台垂直升粗调及微调范国.用千分表检测接近式呼光的世通量小步距，接近式环光险值分别设置年10，6，22，用干分表实测璟光间值，每设定值实洲三次，用公式（8)计算光间欧误整，D, Gf Gr
式中光间课差m
—仪定光间原，
各设定曙光问助下，三饮实避净光间除算术平均值，m，Gr
爆光间酸分别设置16，22，各实激1D次，用公式（9）计算噪光间带复性温差，R = = C × in%
式中,一
喷光间配重复性误差，
-10次实测中量大量光宜原值，uml15次实池中最小呼光问原值，，SJ/I10274-S1
10次实测眼间球算本平与值，m，5.B片架盒及辅片机构检查
按使州说明书规定的程字和方法开动片机构，空运行30min.察气垫输片·必节输片利排裁手的运行状说，并根据益要调凸忆垫折片气压，克带运行速度、吸谢硅片案空度，符合要求后，接可眼基片尺小输送基升50片，案购电挡制模能、片架盒行及送片，收片情况，并记录在摘片过程中，整片的过冲及不到位次数。5.9预对准精度检查
将涂有10C0～1200mm光致抗独剂的基片经张对准后，用带特定标记的掩模版课为，案娠影度蚀，再欧涂胶，选行预对准慢光.再显影.用线究测盘仅读收两达最光后标记X、1闯的随商值，如图1所示，
图4预对准精度检很示意图
试验共做6次：用公式(10)处辉试验数据5. :
式中.&—x向玖对准辅度，um
—-同预对准精度，m
第次试验.特定标记相应点的X向误差！次试验.特定标记应点然Y向误禁um。5.70对准精度检
将有0DD～1255nm光敏抗蚀剂的基用带特旁标证范癌模版进行精确对准：而后预升基片(接轴式限光，基片与趋类破接融接近式晖光，基片必于光间隙位置），账光，显影、商必，再次涂胶，完成精码对准后，瞬光、显影，用戴宽测量仪凌取特定标证，向距离值，如图5所示
长验共做6次，分成2批，每批蒸片3片，月公式（，处难试验熬据。7
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图 5对准销度趋测示变网
式中&—向对陷变.h
&-Y询对准精度，M
第1次试验，转定记相点的x向误差，mX
Y、Y第欣试险，特定标记相应点的Y向误差，m。5.11联光分频补检变
在上述检整合略及特定的工芒茶件保证下，将亲有1000~1200nm光致抗独剂的淋片用分辨率版光、显影，腐蚀。用线究测景仪检测片上裁兼的觉度，用分改（计算线宽变化率，共线宽变化率小十10%的最小线究即为得光分辨率。线宽浏册如图5所示。180-al x 150%
式中,日-
一究变化率，%：
分释率版标称缇宽m
著片上线究，实测3处线宽疯的最大省赢最小值，21m5.12有效度检查
注续开机96h，每8h实际呼光并显恶一次，检查对让构度、录光分雅率，其余时间开机运特.模报限光全过程，检套其会工作性能，记录有效准时间及停机修复时宣更换品损件度外），用公式（13\)计算有效度，A
式中：A-有效度，活
有效工件9间，
一停轨修复时间，h，
5. t3成套性检查
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图6线条觉魔测盘示意图
按既GB 114%:中5. 14条要求,检有产品感变性，5.14包装整查
整G月4857.9进行喷琳试费、G85398进行起吊试险和跌满试验，附加说明，
本标准由中华人民共和国机械电手工业部电子标准化所提出本标准电国营期光机器厂负责起草：本标推主晏起草人唐忘宇，武又文。0
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