【电子行业标准(SJ)】 可控气氛炉完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
可控气氛炉完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
长标准规定！可控气氛炉的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于也了工业企业铁氢体烧结可控气氛炉。2引用标准
GB4386
GB 5955.1
GR2900.23
电阻炉基本技术条件
电热设备的安全第·部分通用要求电名词与术语工业电热设备
GB 10066. ~4
电热设备试验方法
GB 10067.1~4
电热设备基本技术条件
HG 6--675
3名词与术语
3.1名词
3.1.1气绒
真空橡胶制品
产品烧结或工件热处理时，炉内所具备的气体环境。3. 1. 2叮控气氯炉
SJ/T 31422—94
根据产品烧结或」件热处理时的工艺需要而可以进行人为控制的气氛。3.2术语
3.2.1空炉抽气时间
在冷态条件下，炉广从个大气压抛到极限真空度所需的时间。3.2.2热态真空度
在最高温度下所测得的炉内真空度4完好要求
4.1主要参数
4.1.1额定功率、额定避度、最人装载量、抽气速率，充气压力、热态真空度主要指标均应达到炉子出厂说明书规定的指标。但其中最人装载量和抽气速度谐标允许按规定值降低10认定。
4.2主要性能
4.2.1炉温控制精度达到炉了出厂说明书规定的指标。4.2.2炉温均匀性这到炉了出说明书规定的指标，中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
SJ/T31422--94
4.2.3由电阻炉，真空泵及真空系统，真空罐充气装置等组成的整个系统T作协调，状态良好。
4.3电阻炉
4.3.1外观平整，侧壁、后壁、预部无严重变形，炉门启闭灵活，且密封性好。4.3.2炉膛内部耐温材料无脱落，灰缝无开裂，炉无严熏变形，尺寸与出厂时规定指标基本致。
4.3.3如热元件无断裂、缺损，对炉壳的绝缘性能良好。4.4真空系统
4.4.1真空泵运行平稳、噪声低、振动小、外观无缺陷，各部件无缺损，各项性能指标能达到出厂技术文件规定指标。
4.4.2真空阀启闭灵活，密封性能良好。真空管道焊接缝无裂纹，气孔，法兰连接处紧固可靠，密封性好。
4.4.3真空橡胶管外表无裂纹、老化现象，与真空泵、真空罐的连接牢固，密封性好4.4.4真空罐外观及内表光滑整洁，焊缝无缺陷、裂纹，无严重锈蚀。4.4.5用于连接电阻炉加热元件，温度控制元件的接线端了，密封、绝缘良好，压紧螺母齐全。4.4.6真空罐门开启灵活，橡胶密封垫无缺陷老化现象，与罐体的锁紧机构安全可靠，4.4.7真空测量计外观完好，读数准确，有定期计量校验合格标志。A.5冷却系统
4.5.1真空磁、真密泵冷却水进水温度、压力、出水温度均应达到说明书规定要求。4.5.2各阀门启闭灵活：管路畅通，无泄漏。4.6充气装置
4.6.1充气瓶颜色标记准确，减压阀了作性能良好，斤闭灵活。4.6.2气瓶与罐体连接耐压胶管无破裂、老化现象，接头处牢固可靠。4.6.3压力表读数准确，动作灵敏，有定期计量校验合格标志，充气压力不得超过炉子说明书规定指标。
电气控制
4.7.1中器元件运行灵敏可靠，保护装置齐全有效。4.7.2线路完整，标志醒目，绝缘层无破裂，无电现象。4.7.3电流、电压，功率，温度等指示仪表工作正带，测量精度符合产晶标摊要求。4.7.4各操织按钒灵敏，动作推确4.8安金防护
4.8.1各种安全防护装督齐全可靠。真空罐锁紧机构牢固；排气阀畅通4.8.2整个系统接地良好，标志明显。4.9维护保养
4.9.1炉子内外清洁，无积灰。
4.9.2真空泵油定期更换·油标醒日。4.9.3控制柜内线路整洁，电器元件无积灰。4.9.4其它按SJ/T31002—94%设备维护保养通厕》执行。5检查、评定方法
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5.1捡查方法
SJ/T31422—94
5.1.1在本标准中规定的4.3,4. 4、4.5.4. 6、4.7,4.8条中作为外观和-~般特性要求的项均以现场主观法进行检查确定。5.1.2本标准4.2.1条中炉温控制精度的测量，在电阻炉空炉，额定电压额定温度下的热稳定状态时，按表1所列方法检测，表1
控温形式
位式控温
连续控温
位式控温和
连续控温
多区控竭
检测器具
本身配套的温控仪器和用同一热电偶和直流电位差计。
设备本皇配套的避挖仪器和出同：-热电偶及分辨率不低于0.!mV的真统电玉表。分率不低于0.01mV的有动测最电波峰和被谷的直流数字电压表，
设备自身配套的温控仪骼分辩率不低下0.01mV的直流电压表、热电偶
趋测方法
用检测器具测量个控制周期中炉温的最高值和最低值,求出其差值。
扩温控制精度等于连续测得 5 次差值的平均值。
限腺测盘定时间内（至少10min）炉温的最高值和最低,求得其差值。
用检诞器具测量差值以指示器最大值计。分区逆行检测.求得各区的炉温控制精度。5.1.3本标准中4.2.2条市炉温均讨性的测量，服热电遇（测温点上的电热假应当通过转换开关用同一只精度至少为0.1级），分辨率不低于0.01mV的直流数字电压表，在规定测试温度下的热稳定状态时，以满足加热工艺所要求的炉温均句度的有效工作区为测温区（连续式电刚炉的测温区，其长度至少应为保温区长度的80%），按表2所列方法进行检测。表2
电阻炉型式
间歇式电阻
測温点(不包括控遍点)的布
检测方法
对控温点和各个测温点上的温度进行循环至少应有9个测温点：
一点位于高控温点不超过150mm处，八点测，循环次数不应少于20次，循环周期为炉(适用子箱
式炉、台车式分别位于测温区的八个端角上。炉、卧武真空
护等）
多区电阻炉
每个控温点附近部应设一个测温点：当测温区长度大于1.2m，小于2时，在沿3nin 。::--个测量简期内 :
当测温点少于或等于9个时，测量应在irnin 内完岁。
当测温点多于 9 个时,测量应在 2min 内完全部检测结束后，分别求得各点温度读数的平均值、然后以各点平均值的最高稻最低值之差值计。
用以下两种方法之一测量:
(1)测温点移动法:在加热工艺要求保持恒长度方向中轴线的中心点上加设一个测温点：定温度区域内(保据区内)，沿护料前进的方向当测温这长度大于2m、小于3.5m时，在招每间隔一定距离进行一次循坏测量。在一次循长度力向小轴线的中心点上加设二个测温点，环测量中,应以最短时间测出各测温点上的温当测温区长度大于3.5m、小于5m时，划加度，循环次数应不少于10次，总测距离不短设三个测温点。
5.1.4本标准4.1.1条中额定功率测量于保温区长度的80%·差道按最高和最低（平均值)之差计。
(2)测温点固定法：同间数式电阻炉检测方法。
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用精度不低于2级的瓦特表测量。必要时，可采用电流和电压互感器或附加电阻器（与电压线圈串联),以扩大其量程。
功率因素非常低的功率应采用经专门校准的低功率因素瓦特表量，额定功率测量时，应当用下式计算电压偏离其额定值的影响：Pn
式中.Pn——额定功率kW;
Pr,一—在电压 U(与 U,的偏差不超过士5%)时测得的功率kW ;U.—额定电压V
U--测量功率时的电压 V
5.1.5本标准4.1.1条中的最大装载的测重，可在炉子处于热稳定状态下，将规定的大装载量的工件装入炉中，经过预定的工艺周期后出炉，视其烧结质是否符合要求。5.1.6本标准4.1.1中热态真空度的测量，用可控气氛炉本身配套的仪表在炉升至最高的条件下测量，或按产品标准的规定。5.1.7本标准4.1.1条中空炉抽气时间的测量，在空炉冷态的情况下，用可控气氛炉本身配套的真空系统进行试验。按正常工作条件起动真空泵，直到炉内压力达到最低值，记录下所需的时间，连续做3次，取其平均值。5.1.8本标准中4.3.3条加热元件对炉壳绝缘电阻的测量按GB10066.1第7.1.4.1条之规定进行。
5.1.9本标准4,4.1中额定温度的测量按GB10066.1第5.7条之规笼进行。5.1.1D真空系统密封性的捡查，可采用水压法、皂泡法或氢气法.具体检查时可取其中之一5.1.11所用真空橡制品的外观质量，试验方法按化工部标准GH6一675中有关条款之规定进行。
5.2评定方法
5.2.1本标准主要评定项目有4.1、4.2中各条以及4.3.3、4.4.5、4.4.6、4.7.2、4.8.1、4.8.2条;其余为次要项目。
5.2.2主要项目有一项不符合要求.为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。bzxZ.net
5.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子T业部经济运行与体制改革司提出。本标准由国营金宁无线电器材厂组织起草。本标准主要起草人：张卫星，刘文采。HYTKAONTKAca-
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