【电子行业标准(SJ)】 真空电阻加热炉完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
真空电阻加热炉完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了真空电阻加热炉的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31423—94
本标准适用丁电子工业企业金属材料在真空状态下进行气萍和油萍的卧式真空电阻加热炉(以下筒称真空炉)。
2引用标准
GB5959.186电热设备的安全第一部分通用要求GB10067.1-88电热设备基本技术条件通用部分GB10067.4—88电热设备基本技术条件问接电阳炉GB10066.1-88电热设备的试验方法通用部分GB10066.4—88电热设备的试验方法问接电阻炉GB10096.4—88间接电阻炉ZC系列真空萍火炉3名词与米语
3.1极限真空度
真空炉在空炉冷态情况下，利用真空炉本身配套的真空系统进行抽真空时，炉内所能达到的最高真空度，
3.2工作真牵度
真究炉在正常工作期需要保持的炉内真空度。3.3压升率
真空炉在单位时间内因漏气而引起的为上升值。计算式为：AP=P,- P,
式中:AP w压升率Pa/h;
P，—第一次读数时真空腔内的压力Pa;，—第.次读数时真空腔内的斥力PatAt-两次读数的时间间隔h;At应不小丁0.5h。3.4空炉抽气时间
在真空护空炉冷态情况下，将炉内从大气压抽到极限真空度所需要的时间。中华人民共和国电子工业部1994·04:15批准-(1)
1994-06-01实施
4完好要求
4.1主要参数
额定功率，kW.
工作电压，V;
工作温度，℃
最大装载量，kg；
空炉升温时间，h；
炉温均匀度，℃；
炉温稳定度，℃；
空炉损耗，kw；
表面温升，℃，
极限真空度：a；
T作真空度，Pa:
空炉抽气时间，min
压升率，Pa/h;
水耗：m'/h.
4.2主要性能
SJ/T 31423—94
4.2.1真空炉的工作温度、真空度、最大装载量、加热能力和热炉抽气能力、空炉抽气时间、压升率、空炉升温时间、空炉损耗、表温升、炉温稳定度、萍火转移时间等性能要求和捡测方法：见表1。
检测项目
工作温度
工作真空度
最大装裁量
GB10966,4
550~1100C
≤1100℃时：
完好标雅
550~1100℃
1100℃时：
检测方法
用电阻炉本身配备的温
度仪表测量。如电阻炉本身
不配备测量仪表，则用其它
合适的仪表测量。
在空炉状态情况下,用真
空炉本身配套的真空系统
避行检测。接正常工作条件
启动真空泵，直到炉内压力
达到最低值真空炉应能达
到设备出厂标摊中所规定
的极限真空度值。
按制造厂规定，在加热工
作区底面积上放置允许荷
≥370× s .kg≥340X 3 ,kg
>1100℃时：
>1100C附：
重的产品，经过一个绕结周
2276×s，kg期后，观其有无开裂或变2300× 5,kg
（S为加热室工作区底面
积m）
TYKAOIKAca-
检渊项目
加热能力和
热护抽气能
空炉抽气时
A级炉
B级炉
GB10966.4
SJ/T 31423—94
续表1
检测力站
完好标准
从预定真空度开始加热至
1100c;
（系指C级炉，对B级和A级
炉，可分别延长25%和50%）
1,30Pa/l
C:级炉0. 65Pa/h
2. 00Pa/h
-20.65Pa/h
在炉温珂炉料都处于环
境温度的条件下，把重量等
于最大装载量的炉料装进
炉内,启动掘气系统。竟炉
内达到顾定真空度时开始
加热，直至达到测试最高温
度时。用计时器计时。
从炉内玉力为大气正时
开始到炉内真空度达到规
定的极限真空度为让，测定
其所需要的时间：
用关闭法测量，关闭真空
腔各通气口的真空阀门,并
关停真空泵.压率计算式
见本标准3.3条，P.的时问
应按产晶标推规定的时间。
未作挑定时,为关闭真空阅
门后15min.两次读数应用
同一只箕空计的间--测量
档。为减少炉内构件放气或
吸气对压升率的影响，测试
最好在炉内设有耐火绝热
炉村的情况下进行,详见
GB10066. 1
7.1,11.3条。
空炉升温时|以设备出厂标比设备出厂标准为准
空炉损失
表面滥升
推低8%
以设备出厂标比设备出广标
准为准
准低8%
在空炉冷态情况下接上
电源,测出炉温上升到最高
工忙温度的时间。
在电炉究炉最高工作
温度下的稳定状态时量。
在最高,工,作温度下的热
稳定状态时,采用接触良好
的表面温度计,铂出阻温度
计,半导体溢度计等,先测
出表面温度,减去測基对的
环境温度，测点应在炉壳、
炉门（或炉盖）、操作手柄等
外表面任意点上。
检测项目
护温稳A级炉
度B级炉
C级护
洛火移动时下载标准就来标准下载网
炉温均A级炉
12阿度
B级炉
（级炉
GB 10966.1
±10. 0℃
+5. 0 ℃
SJ/T 31423—-94
续表1
检测方法
完好标准
炉料开好从加热室取出
到完全浸没在中的转移
讨间,用莎表测定，
在不装炉料的情况下，在
规定的测点上，在燕试溢度
下的热稳定状态时用控温
热电偶测量，详见CB
10C66.4--88第6.13条
4.2.2真空炉应能在规定的设计参数和使用条件下连续可靠地工作，并满足工艺特性要求。4.2.3真空炉在炉体下燥的条件，各相如热元件对壳和各相相互之间的绝缘电阻不得低于0.5M2，控制电路对地（在电路不直接接地时)的绝缘电阻应：不低于1M0。4.2.4采用金展加热元件的真空炉，其额定功率偏差应在0～「10%范阖内采用非金属灿热元件的真空炉，其额功率偏差应在10%范围内。4.3炉体
4.3.1炉壳不论是整体结构还是多节组合结构，具筒体、封头和炉门均应完好无摄.各部分的耐压强度必纳符合压力容器的国家标准规定。4.3.2炉门应能可靠关闭，炉壳焊缝无漏气现象，加热元件和热电偶接线引出孔应有良好的密封。
4.3.3炉壳内表面的电镀或涂敷层应光指平滑，无起皮剥落现象。4.3.4内外炉门的密封性要好，无明显的漏气现象外炉门的玻璃观察窗应完好透明。4.3.5加热窄的绝热屏无下垂、变形、开裂和剥离现象。4.3.6床在承受允许装载量的情况下，不发生变形或损坏。4.3.7加热元件的发热部分应截面均勾，无明显裂纹和变形，无严重氧化和熔蚀，尤任何脱落和短路现象。
4.3.8供检测工作区炉温均匀度的热电偶引出装置应密封良好，无漏气现象。4.4炉料转移系统
4.4.1用于驱动炉料转移和升降的机构应运转平稳，无冲击，无振动，4.4.2用来选定炉料转移的程序装置性能稳定，工作靠。4.5油萍系统
4.5.1油摔系统的油樽应有充足的油量，油冷印和油循环装罩应工作正常。4.5.2油萍系统的萍火油油温自动调节装置工作正常，开达到工艺规定的控温精度要求，4.5.3油率系统的超温、低油面、升降机限位联锁警装暨应完好无缺，并且动作灵敏。4.6冷却系统
4.6.1水冷系统工作正常，并能使炉壳的筒体、封头和炉门的表面温升不超过35℃。ITKAONKAca-
SJ/T 31423—94
4.6.2气冷系统应能使气体（中性气体)循环通过炉料和炉室，并达到均勾冷却炉料的要求。4.7抽气系统
4.7.1由真空泵、管道、闸门、冷阱、真空计，控制系统等组成的抽气系统应能正常运转，抽气时间和压升率应符合表1所列规定。4.7.2系统配备的停电自动关闭保护装置应性能良好，动作灵敏。4.7.3C级炉配套的抽气程控装置和B级炉配套的真空自动控制装置，均应功能齐全、工作稳定。
4.B测量、控制和记录装置。
真空炉的真空度和温度的测量、控制和记录装置应符合有关规定。4.9控制柜
4.9.1各种控制电器完好无缺，运行可靠，各种联锁保护和报警装置齐全、有效。4.9.2电热和真空度参数测量仪表工作正常，测量精度符合产品标准要求。4.9.3各种开关、按钮操作灵活，定位可靠、标志齐全、明显。4.9.4强、弱电线路标志明显正确，导线绝缘无破损漏电现象。4.10安全防护
4.10.1金属炉壳的接地或接零保护装置，应符合规范要求，安全、可靠。4.10.2控制柜的带电部分与金属柜体之间的介电强度，应在规定的试验条件和试验电压下，保持1min前无闪络或击穿现象。4.10.3炉尧及与传热件相连的操作手轮或手柄的表面温度，应衍合表2所列规定。表2
可触及部分
手握式操作机件
规定要触及的，但非手握的部分正常操作不需接触的部分
4.11维护保养
可触及表面的材料
金属的
非金属的
金属的
非金属的
金潮的
非金属的
最高温度（C）
4.11.1炉体表面整洁无尘，炉门开启灵活；冷却利抽气装置及各种管道整齐清洁，无油污、无锈蚀、尤泄漏、无烧损现象。
4.11.2控制拒内外清洁明亮，仪器仪表和倍号灯晰醒目，4.11.3炉壳的简体、封头和炉门等受压构件以及各种测量仪表，应有定期的耐压强度试验和计量精度校验，并取得合格标志。4.11.4操作系统、炉料转移系统、油系统，冷却系统、抽气系统、测盐记录控制系统，均应处于无故障运行状态。
4.11.5其他按SJ/T3100294%设备维护保养通赠执行。5检查、评定方法
5.检查方法
S3/T 31423—94
5.1.1标准中4.1所列各项参数，凡4.2主要性能中有具体完好要求的，按表1所列方法检测。其它参数项目，在必要时，可参照GB10066.1一88有关规定进行检测。5.1.2标准中第4.5.3条和4.7.2条的联锁保护和报警装置检测，在给有关电路送电后，应使各联锁和报警系统动作五次以上，观察其可靠性。5.1.3标准中第4.2.3条和4.10.2条，根据额定电压，采用相应规格的兆欧表测量。绝缘电阻应在炉子未抽气之前測量。
注；额定电压低于500V时，用500V兆欧表；5001000V时，用1000V兆欧表，高于1000V时，用2500V兆欺表。控制电路用500V兆欧表测量。5.1.4本标的4.3.4条中的密封性能的检验，可采用正压皂泡法进行5.1.5本标准的4.10.3条中的受热构件表面温度的测量，可采用接触良好的表面温度计、铂电阻温度计，半导体点温度计等进行测量。5.1.6本标准中除明确规定检查方法之外的项目，其余项目在设备现场采用主观方法和试操作的方法进行捡查判定。
5.2评定方法
5.2. 1本标准完好要求中4.1、4.2. 1、4.3. 1、4.5.1~4. 5.3、4. 6.1.4. 6.2,4.7.1~4.7.3、4.9.1、4.10.1~4,10.3为主要项目。其余为次要项目。5.2.2主要评定项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
5.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由国营金宁无线电器材厂组织起草。本标准主要起草人，刘文采、汪伟民、甘德兴。TTTKAONTKAca-
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