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- GB/T 14139-1993 硅外延片
标准号:
GB/T 14139-1993
标准名称:
硅外延片
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
1993-02-06 -
实施日期:
1993-10-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
首发日期:
1993-02-06复审日期:
2004-10-14起草单位:
上海第二冶炼厂归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会发布部门:
国家技术监督局主管部门:
国家标准化管理委员会相关标签:
外延

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标准简介:
标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N )和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P )的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。 GB/T 14139-1993 硅外延片 GB/T14139-1993
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