【国家标准(GB)】 硅片直径测量方法 千分尺法

中华人民共和国国家标准
硅片直径测量方法，千分尺法
Silicon slices and wafers-Measuringof diameter--Micrometer method1主题内容与适用范围
本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为25～100mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准不作为仲裁测量方法。
2引用标准
GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查）GB12962硅单晶
3测量工具
3.1干分尺，测量范围为25~125mm，精度为0.01mm。4试验样品
4.1从一批硅片中按GB2828计数抽样方案或商定的方案抽取试样。5测量步骤
5.1测量在23土5℃下进行。千分尺测量杆端面应洁净。GB/T 14140.2--93
5.2按硅片的导电类型确定要测量的三条直径的位置，见图1。硅片参考面位置应符合GB12962的规定。
5.2.1对于P<111>和N<100>硅片，要测量的三条直径是平行于主参考面的直径和与该直径成45°角的另二条直径，
5.2.2对于P<100)硅片，第一条直径位于主、副参考面的中间，第二条直径垂直于第一条直径，第三条直径与第二条直径成30°角。
5.2.3对于N<111）硅片，第一条直径平行于主参考面，第二条直径与第一条直径成30°角，第三条直径与第二条直径也成30°角。
5.3校正干分尺零点。
5.4旋出测量杆，放入被测硅片，使待测直径处于测量位置。5.5旋进测量杆到终止位置。
5.6记录千分尺的读数，取下硅片。5.7重复5.4~5.6条测量步骤，直至测完三条直径。国家技术监督局1993-02-06批准526
1993-10-01实施
6测量结果计算
P(100)
N<100)
GB/T14140.2-93bzxz.net
图1各类试样直径的测量位置
硅片直径的平均值D按下式计算：6.1
一硅片直径的测量值。
式中：D—
7精密度
本方法多个实验室测量二倍标准偏差为士7μm。8试验报告
8.1试验报告应包括以下内容：
硅片批号；
硅片批量及检测试样数量；
GB/T14140.2—93
硅片直径测量值及直径平均值；本标准编号；
检测者及检测日期。
附加说明：
本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由洛阳单晶硅厂负责起草。本标主要起草人王从赞、夏光勤。528
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