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GB/T14015-1992 GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片

标准编号:GB/T14015-1992 整理时间:1992-01-02 16:00:00 浏览次数:21
资料名称: GB/T14015-1992 GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片
标准类别: 国家标准(GB)
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态: 现行◎
作废日期:
发布日期: 1992-01-02◎
实施日期: 1993-08-01◎
首发日期: 1992-12-28◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期: 2004-08-10◎
标准编号: GB/T 14015-1992
标准名称: 硅--蓝宝石外延片
下载文件: .rar .pdf .doc
标准简介: 本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。 GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片 GB/T14015-1992 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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替代情况: (参考)
采标情况: SEMI M3-1983,REF(参考)
发布部门: 国家技术监督局(参考)
提出单位: (参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(参考)
起草单位: 天津半导体技术研究所(参考)
起 草 人: (参考)
出 版 社:

中国标准出版社(参考)

页  数: 平装16开, 页数:8, 字数:12千字(参考)
书  号: 155066.1-9656(参考)
计划单号: (参考)
下载次数: 10次
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