【电子行业标准(SJ)】 超声热压键合机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
超声热压键合机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
SJ/T 31071-94
本标准规定了焊接管壳内引线的热压键合机和超声热压键合机的完好要求和检查、评定方法。
本标准适用于CS—一2型超声键合机，CL--I型超声键合机等同类设备。2引用标准
GB49、7—85《半导体分立器件机械和气候试验方法》GB1590—84《半导体集成电路机械和气候试验方法》3完好要求
3.1主要技术指标
3.1.1X，Y徽动台移动范围各25mm。3.1.2换能器调整行程7mm转角调整为270%。3.1.3加热夹具的温度在室温～200C范围内连续可调，温度均勾性为土5℃。3.1.4超声波发生器输出功率0~5W3.1.5键合引线拉力应满足工艺要求。3.2操作系统
3.2.1主机面板上的手柄带动劈刀上下移动灵活，可靠。3.2.2微动开关灵敏、焊接点准确。3.3电气系统bzxz.net
3.3.1控温电路应可靠，设定温度与控制温度应一致。3.3.2夹具温度均匀控温精确。
3.3.3超声波发生器电路完整，输出频率与功率正常，焊接点牢固，3.4附属装置
3.4.1键合机配罩的照明灯,光线柔和，3.4.2键合机配置的显微镜功能应齐全，分辨率应满足工艺要求。3.5安全防护
3.5.1电路连接安全，接地可靠
3.6维护保养
按SJ/T31002-91《设备维护保养通则》执行。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
4检查、评定方法
4.1捡查方法
SJ/T 31071-94
4.1.1微动台X、Y移动范围的检查方法：用卡尺测量微动台X，Y移动范围，连续测虚三次，取平均值即为移动行程范圈检测值。4.1.2换能器行程的检查方法：用卡尺测量换能器上下行程，连续测量三次，取平均值即为换能器行程检测值。
4.1.3夹具温度的检查方法，在夹具上面选五个点，待温度达到予定溢度并稳定30min后，用点温计逐点测试，以后每隔10～15min测试一次，测试3~5次，最后一次五点测试值的最大慎和最小值的偏差为夹具温度误差。4.1.4超声波发生器功率的检查方法：用高频旁伏表测量超声波发生器的输出电压，并确定超声波发生器输出电流，然后用欧姆定律求出超声波发生器的电功率。4.1.5键合引线拉力的检查方法：用拉力测试仪测量键合引线拉力。试验时，拉力逐步增加，直至引线拉渐断或键合点开裂。试验最少应有10根键合引线进行拉力测试，并记录数据。结果以测量数据的算术平均值作为键合引线的拉力。4.1.6对各系统完好要求的检查，在设备现场采用主观法检查，4.2评定方法
4.2.1完好要求所列内容中,3.1.3、3.1.5、3.3.1~3.3.3为主要项目；其余为次要项目。4.2.2主要项目有项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
4.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明
本标推由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由电子工业部第13所组织起草。本标准主要起草人李蔚。
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