【电子行业标准(SJ)】 离子注入机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
离子注人机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
SJ/T 31068-94
本标准规定了LC—2F型电能离子注入机和200MC—A型离子注入机的完好要求和检查、评定方法。
本标准适用于半导体器件集成电路生产用离子注入机。2术语
2.1能量一到达靶上，离子所有的动能。2.2束流一单位时间内到达靶上的离子束的电荷量2.3均勾性一表征注入离子剂量不均匀程度的相对标准偏差。2.4重复性一表征片间（或批次间）在相同条件下，注入离子剂量不重复程度的相对标准偏差。
3完好要求
3.1主要性能
3.1.1能量范围：
3.1.2束流强度,
3.1.3均匀性：
3.1.4重复性：
3.1.5真空度：
3. 1. 6 注片尺寸:
5--- 200KeV :
P+21.45mA:
AS-2≥1.2mA;
S, ≥0. 7mA;
g≤0.5%;
6.65X10-*Pa:
$50-$100mm
3.1.7注人角度:0°～15°,可调。3.2操作系统
3.2.1各操作开关、按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全。3.2.2制动、限位装置齐全，灵活可靠。3.3传动系统
3.3.1上、下料工作台传动机构运动平稳，无冲击和卡片现象，定位正确，无片现象。3.4高子发生系统
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
SJ/T31068-94
3.4.1离了源放电稳定,引出离子符合要求大于100
3.4.2磷分析器工作正常，质最分辨率-3.4.3聚焦波形良好，扫描均勾，中性束分离耕工作正常。3.5真空系统
3.5.1机械泵工作稳定，技术性能满足生产工艺要求，具体完好要求参照SJ/T31412—94执行。
3.5.2扩散泵工作稳定功能可靠，3.5.3冷泵压缩机工作稳定可靠，过热保护灵敏，冷却温度显示正确。3.5.4各电磁阀、气动阀、手动阀、热偶计、电离规工作正常、可靠。3.5.5真空管路连接紧固，密封性好、无泄漏。3.5.6各种仪表、热偶计等齐全、完整无缺损，指示灵缴、可靠.有有效期校验合格证。3.6电气系统
3.6.1电气系统装置齐全、管线完整，性能良好，运行可靠。3.6.2电气箱内清洁，布线整齐，线路无破损、老化，各种线路标志明显，连接可靠，3.6.3务指示灯.接钮并关齐全、完整，工作可靠3.6.4各电压、电流表指示正确，有有效期校验合格证。3.7冷却系统
3.7.1冷却器具齐全。
3.7.2冷却系统不能有直线状的漏液流。3.7.3交换器、水泵、循环水、离子交换树脂篇工作正常。3.7.4冷却液不变质,无腐臭味。3.8安全防护
3.8.1离子注入机没有专用接地装置，其接地电阻小于20。3.8.2防辐射装置正常到位。
3. 8. 3机顶排气扇T作正常。
3. 8 4高压门锁开关运行可靠。3.9维护保养
3.9.1定期清洗离子源,更换机械泵油。3.9.2其它按SJ/T3100294设备维护保养通则》执行4检查、评定方法
4.1检查方法
4.1.1能量用Q一8型静电高压表校测高压电源的指示值。4.1.2束流强度是在能量为200KeV时，通过积分仪的电流表直接读得，4.1.3均匀性可任意选择B或 P进行注片,注入量为1×10l4cm2,能入能量为150KeV,每片注入四靶，在相同条件下共注入四靶，用STZ型数字四探针测试仪对每靶进行均勾性检验。计算程序、方法如下。
用(1)式先计算每个测试点所得的四个薄层电阻Rk的平均值：2
TTTKAONTKAca-
SJ/T31068-94
根据每个测试点的电阻R，用（2)式算出每个靶的平均电阻值R和用（3）式计算绝对标准偏差-1.(4)式计算相对标准偏差α。计算公式分别为：ZR
式中为每靶的测肽点数
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**-（3)
4.1.4选择不少于四批16靶重复性检测，方法同4.1.3。用四批16靶所计算的每靶的平均电阻R算出16靶的各-均电阻R，绝对标准~和相对标准偏差c。计算方法如下：R
式中;为试验的靶数，般不少于16靶R
4.1.5真空度用离了规管或电离真空计检测。·(5)
4.1.6射线照射率是在能量200KcV情况下.用FD—71型内烁辐射仪或FJ—347A型射线测试仅检测。
4.1.7对各系统完好要求，在设备现场采用主观法检查4.2评定方法
4.2.1完好要求所列内容中,3.1.1~3.1.5,3.2.3,3.8.1为主要项且,其余为次要项目。4.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备：次要项月有二项不符台要求，亦为不完好设备。
4.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准店国营南京有线电厂组织起草，本标准主要起草人：颜亨迪（电子工业部第48所）金四海、灏军建，吴正伟(中国华晶电子集团公司）—3