【电子行业标准(SJ)】 3800型抛光机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
3800型抛光机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了3800型抛光机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体器件生产中晶片加工抛光机。2完好要求
2.1性能
SJ/T 31064—94
2.1.1抛光机的生产效率应能达到设计能力的90%以上。2.1.2设备性能应能满足生产工艺要求，品质量达到规定指标，加精度主要指标完好要求和检测方法，见表1所列。
表13800塑光机工作精度完好要求和检测方法序号
检测项目
圆冷厚度（厚0.65mm）
圆片两平面平行度
圆片平面平整度（平面度）
画片表百划伤
圆片厚度加T.误差
（完好要求）
±2μm
±0. 2μum
测淳仪
检测器只和方法
用测微仪测量加工件，连测或轴测1Q片以上用测微仪测量加工件，连测或轴测10片以上车聚光灯下日测
用十分尺检测
注：表中所列各项，均为必测上要项目，如果有一项不符合要求，说明该设备对产品质基的保证程度差。2.2操作系统
2.2.1各操作开关，按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全、明显、光损伤。2.2.2制动、限位装置齐全，性能灵活，可靠。2.3传动系统
2.3.1伺服下作台机機传动平稳、可享；设备运行时独击、无振动现象。2.3.2各变速箱及磨抛盘转动无异常，4个压盘转动时平衡性好，平稳尤抖动。2.3.3立拉升降乎稳可靠，工作正常。2.4润滑系统
2.4.1润滑装戳完整无摄，管路齐全、油路畅逐，联接处密封性好，无漏油现象。2.4.2各润滑点消洁，无堵塞现象，洲质、油量符合要求2.4.3基本无漏油，-一漏猫点滴洲数3tmin内不超过一滴中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.5真空系统
SJ/T 31064—94
机械泵T作稳定，技术性能满足生产工艺要求。具体完好要求参照SJ/T31412—94W型真空泵完好要求执行。
2.6液压系统
2.6.1液压系统的运行件在各种速度范围内，不应发生振动.不应有异常噪声和显著的冲击，不应有停滞租肥行现象。
2.6.2液压系统各元件动作灵敏、可靠，工作压力不应低于或超过规定压力的15%。2.6.3液压系统基本无漏油，即设备外部不得有3min滴一滴以上的漏油点，箱体内不得有连续的流油。
2.6.4各减压阀、电磁阀、气阀功能可靠，压力表显示准确，管接头联接牢固、无渗漏。2.6.5压力表等仪表性能灵敏，稳定，指示谁确，有有效期内校验合格证。2.6.6液压油质符合规定，油籍内不得有油污、杂质。2.7电气系统
2.7.1电气线路整齐、各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组戏部分保持完，功能齐全，性能稳定，工作状态良好，显示清晰。2.7.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正带。2.7.3输入/输出程序正确无误。2.7.4各指示灯齐全、完整，指示准确可靠；温度显示、定时显示准确，工作可靠。2.7.5电动机运行平稳，轴承无显著噪音，温升在额定范围以下。2.7.6机器上的电气保护装置必须齐全可靠，整定值符合要求；布线整齐，线路无老化、破裂，各线路标志齐全,正确。www.bzxz.net
2.8冷却系统
2.8.1冷却器具齐全完整
2.8.2冷却装置安装良好，T作状态良好。2.8.3冷却液不得渗入电气箱内和皮带上。2.9安全防护
2.9.1设备安全防护盖板、挡屑板等装登齐全，完整无损，固定牢固、可靠。2.9.2白动保护装置、报警装置性能灵敏、可靠。2.9.3设备接地可靠，标志明显。2.10维护保养
按SJ/T31002—94《设备维护保养通则》执行。3检查，评定方法
3.1检查方法
3.1.1主要技术指标的检测方法见表列。3.1.2对各系统完好要求，在设备现场，采用现场主观方法进行检查。2
TTTKAONTKAca-
3.2评定方法
SJ/T31064—94
3.2.1主要项目为：2.1.1~2.1.2、2.9.1~2.9.3;其余均为次要项目。3.2.2主要项目-项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标雁由电子工业部经济运行与体制改革可提出。本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。本标准亡要起草人：吴正伟、顾军建、周效学、吴秀琴。3
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