【电子行业标准(SJ)】 RD4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标渔
RD一4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法
1主要内容与适用范围
S.I/T 31062—94
本标准规定了RD一4500型离心干燥机的完好要求和检查、评定斤法。本标准适用工RD一1500离心干燥机。其它半导体器件、集成电路生产用的类似结构离心干燥机亦可参照执行。
2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1转速：千燥最人1850r/min，漂洗最大450x/min2.1.2压力：10.447×103~-1.39345×10*Pa;2.1.3纯水压力：6.975×10~1.39345×10Pa，2.2机械系统
承片支架稳固、靠、简体稳定性好。2.3电气系统
2.3.1电气系统装留齐全，管线完整、性能良好，运行可靠。2.3.2电代箱内清洁，布线整齐，线路无破摄老化，各种线路标志明显，联接可靠。2.3.3外部导线有完整的保护装置。线路外套管光脱落破损。2.3.4各种开关动作灵，安全可靠。2.3.5电动机运行平稳，轴承无显著噪音，温升在额定范图以下，电动机运行时，=相电流不平衡不应超过10%。直流电机换问器不得出现灼伤.电刷不得被烧焦损坏。电动机的风罩，风叶齐全。bzxZ.net
2.4水气系统
2.4.1气阀、水阀反应灵敏，冲气、冲水系统良好，2.5安全防护
2.5.1外壳保护接地良好。
2.5.2门安全开关完好。
2.6维护保养
按SJ/T31002—94《设备维拍保养通测执行中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
捡查和评定方法
3.1检查方法
SJ/T 31062—94
3.1.1用0.4
级标雅表以对有关压力项自的检测。3.2评定方法
3.2.1主要项月有2、1.1、2.1.2、2.1.3,其余为次要项目。3.2.2主要项月有-项不符合要求，为不完好设备;次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准出电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。本标准主要起草人：邵建新、吴秀琴。2
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