【电子行业标准(SJ)】 卧式液相外延系统通用规范

1CS27.260
备案号：10995—2002
中华人民共和国电子行业标准
SJ/T11275——2002
卧式液相外延系统通用规范
Generic specification forhonizontal liguid phaseepitaxial system
2002-10-30发布
2003-03-01实施
中华人民共和国信息产业部发布TYTKNKa
1范围，
现范性引用文件
术语和定义，
4产品型号及命名方法
5技术要求
6试鉴方法，
检验规则此内容来自标准下载网
多标点、包装、污链、贮存
-TTT K&N K/c-
SJ/T112752002
SJ/T11275—2002
本规范是根据G/T1.-2MM标准化.T作导划」策1部分：标准的结构和编写规账3、G/T1.3-1997标准化工作导则第3部分：产品标准编码规定》的要求进打编巧的，规范中，通用投大作参照了5J1794<半导任器件生产用扩胶炉通用技术茶件》。测达条件、测试设备及收器、恒温区滤度精度测试、单点稳定性测试参照7S2065半导体露件生产月扩散炉试方法。安全设计，部分照了GB16754一1997机械安全急停设计底则。降温速率、降湿过查恒湿区温度的平度等技术要求，是据液扣外延设答的友术待点肃、定的。本规范由中国电了技术标准化研究所（CESI）口。本规范起带单位，：信息产业部电子第四十八研究所.本规范主要起草人：袁其、刘白嘉、王理政、季军阳。YTkNKa
SJ/T11275-2002
陷温过程恒温区温度的平坦度flatzoneamaothneaa during cooling恒区温度降退过程任意时刻沿位温区长度方向的温度均勾性4产品型号及市名方法
报据SJ/37一6<电子于业专月设备型号编制与命名方法多的规定，型号及命名方法划下M
企业代号
产的投计的顾序
温度（以100单惊？
部，液相外延设备
型，气相淀积放外择设备
类，表雨年埋和薄聪滤积设备
例；××企业雨出产的湿虎为：nT:的第·代液样外延系统型号为M11-1XX。5技术要求
5.1工作条件
5.1.1环境温度：5-40.
5.1.2气F强B6a~106a
5.1.3净化闻净级别：觉于10000级：5.1.4相对湿度：<70%.
5.1.5无尚额及较通磁场的下。
5.1.日电源：交流380×(1上10%)V；频率：50×(1=1%)Hz.5.17冷印水：软水：温度1R--26：本压0.2MFa~0.4MPa设至散热、排度、热气抽风口。5.1.8
5.1.9等气、氧气、氢气、氢气纯度优于99.9999%。5.2外观及结督要求
外观要求
设备外规应整齐平整，表面不应车非显出叫不平、划伤，锈蚀等缺降：适当装饰，色泽处调、关观：
涂理的学部件，成符合S12573的要求：金屈链层及必学处写的零部件，应等合S11276的要求：d
最喜件许接牢间，无格动象：
面检上施文字，符号知标志消晰准衡。5.2.2
结构要苓
布质合踪，便于操作、裁拆、维悠；6
配有散热、排度气接工：
推舟机构运转灵评，无卡带现象：水冷落宜的进出和题通，无施滤现蒙。KNr K
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6.3安全试验
6.3.1潮暂报警保护
氧气报普器设定赖定报整值，人为将一定量的氢气引入氢气检测器，设备应发出声、光报替，并白动划断氢气流及电阻炉加热电源。6.3.2超温报警
炉担到达温控仪设定的基提度值之后，人为将温控仪设定值降低5℃～10℃，设备应发出声，光报整并白动切断电阻炉加热电源6. 9. 3断竭报警
电阻护在工作巾，人为断开任意一热偶的引出接线，温控仪，计节机屏上应有相成银示只提作面板的扭应红灯闪烁报警。
6. 3. 4断水损替
设备运行过程牛，关阅进水阅门，操作前板上指示红灯亮，并自数划断电放热电源.6.3.5反应室内过压握暂
反应查通气的过程中，人为调动过上探菩开关，使其接通，设备应发出声光报警，供气版门应截止供气，滑压阀开启。
6.3.6厚水与加热联铺
人为停止供水，电阻加热炉应不一作.6.3.7反应笠调气与工范运行联钩系统运行中，人为使反应室泄，计算机工艺提序应暂停，并在该工步等待泄涡报暨解除。6.3.8目测检查尾气体埋装登，应符食5.3.3条：8.3.9设备急停
设备运行中，手动拨下红免蓄菇接划，应符合5.34案，6.4要性能检剩
6.4.E恒温区温虚物检测
a】测试获置连辫如医「所示，允许使用经过校准的补偿导战作为热娟冷常的延伸线，热偶跨端为0，热竭工作端的保护流管的直径应不大于[0m：中0e
标准电池
ooooao
电位继计：
图1恒温区温度报度检测示囊图
检流计
b！对恒温区长度小于感等于800m的自阻护，采用单券金程一次测冠法，如图2所示，热牌1作端沿炉醒轴续从恒温区的远端往炉口每弱50mm测量一点，每点停留5mn，该数捐全程欲测完。
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6.4.6降温过程恒温区温度的平坦度检测打印机真接打印出各组内热电偶在降退过程中客个对刻的温度值，应符合5.4.6条。6.4.7净化台工作区净化级别检测在不劣丁10000级的净化厂房内，用尘埃较子计数器测量净化台二作区净化级别，应符合5.4.7条，6.1.B气路分系统润气率检测
将He通谱检通仪拷入气路分统，拍真空，用He气进行检满，满气率应符合5.4.8条8.4.0定位精度检测
见图4，长600mm的半尺定位在液植移动部件上，用游标卡尺出相对母移动的件的距高X：计算机设定液惜移动部件移动待止，测量内距高X，则X-X的值与设定值X的请差应不大于0.1mm。600mm的平尺
液措参动部件
64,10恒温区温度开机重豆性试验图4本位物度检测示意图
舟动部件
按6.4.1条方法，测最热电假测量出但温区内茶一阅量点的运度，编度投定制势电假位置均不变，大机24h后再新并机，测量热佣测其的费定溢度与关批前的温应偏差值应合5.4.10条。6.5可其性试
采用GB500.提供的4:7率比序费截尾试验好案进行验证。7拉验规则
卧式泄相外能系统的检验分定型检验、交收检验，7.1定型检验
7.1.1有下列清况之一应过行定型盗验a）新产品研制：
改变设计或士要工艺，更换主要元器件及材料时：b)
国家质量监督机构提山定型检验单要求时定型位验由织数产品定型单位改定具有资格的检验机构负责进行。7.1.2
定型检险的项目及赖节按表1的规定。7.1.35
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8.2包装
8.2.1液相外舜系统的包装应符合CB1193中3.1条“箱装”、3.8.2条“防潮包装”及3.55条防避包装的规定。
8.2.2包装内应有产品使用说明书、装箱清单等。9.2.9包装箱必须牢固可款。
a.3运输
包装好的产品能适成各类工具装车和运输，装车和运输过程中应有防止跌落的紧置措施。9.4 贮荐
包装好的满相外延系统应案中存放在环境温度5℃一40么，相对湿度不人于75%的清洁，通风良好的库房内。
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8.2包装
8.2.1液相外舜系统的包装应符合CB1193中3.1条“箱装”、3.8.2条“防潮包装”及3.55条防避包装的规定。
8.2.2包装内应有产品使用说明书、装箱清单等。9.2.9包装箱必须牢固可款。
a.3运输
包装好的产品能适成各类工具装车和运输，装车和运输过程中应有防止跌落的紧置措施。9.4 贮荐
包装好的满相外延系统应案中存放在环境温度5℃一40么，相对湿度不人于75%的清洁，通风良好的库房内。
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8.2包装
8.2.1液相外舜系统的包装应符合CB1193中3.1条“箱装”、3.8.2条“防潮包装”及3.55条防避包装的规定。
8.2.2包装内应有产品使用说明书、装箱清单等。9.2.9包装箱必须牢固可款。
a.3运输
包装好的产品能适成各类工具装车和运输，装车和运输过程中应有防止跌落的紧置措施。9.4 贮荐
包装好的满相外延系统应案中存放在环境温度5℃一40么，相对湿度不人于75%的清洁，通风良好的库房内。
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8.2包装
8.2.1液相外舜系统的包装应符合CB1193中3.1条“箱装”、3.8.2条“防潮包装”及3.55条防避包装的规定。
8.2.2包装内应有产品使用说明书、装箱清单等。9.2.9包装箱必须牢固可款。
a.3运输
包装好的产品能适成各类工具装车和运输，装车和运输过程中应有防止跌落的紧置措施。9.4 贮荐
包装好的满相外延系统应案中存放在环境温度5℃一40么，相对湿度不人于75%的清洁，通风良好的库房内。
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8.2包装
8.2.1液相外舜系统的包装应符合CB1193中3.1条“箱装”、3.8.2条“防潮包装”及3.55条防避包装的规定。
8.2.2包装内应有产品使用说明书、装箱清单等。9.2.9包装箱必须牢固可款。
a.3运输
包装好的产品能适成各类工具装车和运输，装车和运输过程中应有防止跌落的紧置措施。9.4 贮荐
包装好的满相外延系统应案中存放在环境温度5℃一40么，相对湿度不人于75%的清洁，通风良好的库房内。
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