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【电子行业标准(SJ)】 半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则
本网站 发布时间:
1999-11-10 16:00:00
- SJ20744-1999
- 现行
标准号:
SJ 20744-1999
标准名称:
半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则
标准类别:
电子行业标准(SJ)
标准状态:
现行-
发布日期:
1999-11-10 -
实施日期:
1999-12-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
KB
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标准简介:
本标准规定了半导体材料中杂质含量的红外吸收分析方法的术语、基本原理、仪器设备、样口制备、测量条件、测量步骤和测量结果的计算。本标准适用于在红外光谱区为透明的并在该区域产生杂质吸收带的任何半导体单晶材料红外分析方法。 SJ 20744-1999 半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则 SJ20744-1999 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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