【其他行业标准】 制备钌靶用钌粉

ICS 77.150.99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1068—2015
制备靶用粉
Ruthenium powder for ruthenium sputttering target2015-04-30发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2015-10-01实施
中华人民共和国有色金属
行业标准
制备钉靶用钉粉
YS/T1068—2015
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029）北京市西城区三里河北街16号（100045）网址：www.gb168.cn
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010-68522006
2015年10月第一版
书号：155066·2-28953
版权专有
侵权必究
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口本标准起草单位：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。YS/T1068—2015
本标准起草人：谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋1范围
制备靶用粉
YS/T1068—2015
本标准规定了硬盘及集成电路行业系溅射靶材用钉粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单)内容。本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钉系溅射靶材用钉粉（以下简称钉粉）。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T5162金属粉末振实密度的测定GB/T6524
GB/T23275
放电质谱法
金属粉末粒度分布的测量重力沉降光透法钉粉化学成分分析方法铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、、硅量的测定辉光高温合金化学分析方法第3部分：高频感应燃烧-红外线吸收法测定碳含量HB5220.49高温合金化学分析方法第49部分：脉冲加热-红外、热导法测定氧、氮含量3要求
3.1产品分类
钉粉按纯度分为四个牌号：SMP-Ru-99.95、SMP-Ru99.99、SMP-Ru-99.995、SMP-Ru99.99、SMP-Ru-99.999。
化学成分
钉粉的化学成分应符合表1的规定。钉粉中钉的含量为100%减去表1中杂质元素实测总和的余量。SMP-99.999牌号中总杂质元素计算不包括Si元素。表１钅
粉的化学成分
产品牌号
钉含量
不小于
金属杂质含量
不大于
SMP-99.95
SMP-99.99
SMP-99.995
SMP-99.999
YS/T1068—2015
产品牌号
金属杂质含量
不大于
非金属杂质含量
不大于
杂质总量
不大于
表１（续）
SMP-99.95
SMP-99.99
注：需方对某种特定杂质元素有要求的，由供求双方协商确定。3.3
粉末粒度
SMP-99.995免费标准下载网bzxz
SMP-99.999
粉的粒度分布满足：Dio在0.5μm~2.0μm，Dso在1.5μm~3.5um，Dgo在2.0μm~5.0μm。粉末振实密度
钉粉的振实密度≥3.0g/cm2。
外观质量
粉应为灰色粉末，颜色应均匀，无目视可见的夹杂物检验方法
钉粉中金属杂质元素含量测量按照GB/T23275的规定进行。K、Na等元素的测试方法参考4.1
GB/T23275的规定进行。4
钉粉中的C含量测量按照HB5220.3的规定进行；O、N含量测量按照HB5220.49的规定进行。
粉的粒度测量按照GB/T6524的规定进行4.3钉粉的振实密度按照GB/T5162的规定进行4.4钉粉的外观质量用目视检查。5检验规则
检查和验收
YS/T1068—2015
5.1.1钉粉由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填写质量证明书
5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。复验结果与本标准和订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。5.2组批
钉粉应成批提交检验，每批应由同一牌号组成。检验项目
每批产品出厂前应进行化学成分、粉末粒度、粉末振实密度和外观质量的检验。5.4取样
5.4.1化学成分、粉末粒度和粉末密度的取样应从该批产品中任取三件，交货批不足三件的，全数取样，取样量为总量的1%左右，最少不低于10g，混合后以四分法缩至检验所需重量。5.4.2产品外观质量逐件检验。
5.5检验结果的判定
5.5.1化学成分、粉末粒度和粉末振动密度有一项不合格，判该批产品不合格5.5.2外观质量不合格，则判该件产品不合格。6标志、包装、运输、贮存和质量证明书6.1标志
在检验合格的产品上应贴上标签，标签上注明：供方名称、地址；
b）产品名称、牌号、批号；
c）产品净重、毛重；
d）出厂日期。
6.2包装
产品装人密封的瓶中，严密封口。包装每件净重量为5g、10g、20g、50g、100g、500g、1000g、2000g。
6.3运输
产品可以由供需双方协商采用铁路、公路、水运、航空等方式运输。YS/T1068—2015
6.4购存
产品贮存条件应符合以下要求：a）无腐蚀性物质；
b）不污染产品。
5质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：a)
供方名称、地址、电话、传真；产品名称；
产品牌号；
产品批号；
产品净重；
各项检验结果和检验部门印记；本标准编号；
出厂日期。
订货单(或合同)内容
本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容：a)
产品名称；
产品牌号；
产品重量；
杂质元素含量等特殊要求；
本标准编号；
其他。
YS/T1068-2015
版权专有侵权必究
书号：155066·2-28953
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