【电子行业标准(SJ)】 气体质量流量控制器通用技术条件

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T10583-94
气体质量流量控制器通用技术条件Cencral spectfication for gas mass flow rontroller1994-08-08发布
1994-12-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准
气体质量流量控制器通用技术条件Generul speeirication fnrakmastnow controller1主题内容与适用范围
SJ/T 10533--94
本标准规定了气体质盘质盘控制器的技术要求，试验方法、检验规则及标击、包装，运输，存.
本标准适用于保用有细受保热但差带想法理进行测量的气伴质量流量控版器（以下商欧控制器）。该控制器产活实用干率导体免成电路工艺设备、光纤熔坏，以及化工.冶金、卫生等部门。
2引用标
GBa388
包装储运图示标志
运物包装收发货标志
划电产品包装通用技术条作
GB/T13384
3术语、特号
电子工业专用设备型司命名力法心了工业专局设备以带性指标晚证考黄试赖方法3.1 F- (full scale)-
3.2质量流盘alc
一满盘程
单位时何内流过基载面的统性的质量效，气体质垒两量用标准状态下的体积流量来表示。气述盘流量单依如下，2.标推获多ml/min(SCCM)
b，标准状态/min(SLM)。
标准状率晚定为：
气体盘度：心T
压，101325Pa.
3.3饿量范围
同一密号控制器所包拆的最小学最人的所阅现格的范萌。控制器的流最效格通常用它的满量程值来表示。
流量权格一般按1.2.3.5分档.如16SCCM、30SCCM.3SLM、5SLM等，中华人民共和国电子工业部1994-08-批准1994-12-01实施
3.4难确度axuracy
SJT10583-94
控制端满盘程的硫量示值与标准器耐量的满重程实际值之益与滴母程实际偿相比的古别比值。
控制器的准确度仅措在标准标定条件下的流费标定的误差值。3.5线性linearity
量程内各点的实际流量值座标相对零到微流量程实际流盘值座标连接直线的最大偏离程度，用和对两程的实际流量的糖差的百分比表示。3.6友精度repeatablicy
在溢皮气压等环境条件不变的情况下，控制辖的尚一示值的实测流量的升降变差样对满实流量的百分比值。
3.了啦应时间repansetime
当设定他发步阶版变化后，气体流量限随设定低改变，通过一段时间后达到柑对母后秘值的课莞范围之内时这段时对度时间响应时向价电指性利气持性，气特性又分六控刮器同部气特性和人气穿系统气特性两种。3日工作用aturr
保证享润送生垫望消出正资总定情联小到总大的三气位人口与出口之的气降。
3.9压力系数es!r coetfitnr
在流量示值不变的情况下，实际试量随工作气比查化的改变量相对标定的满最程实际流量的了分效与气压改变尽之比，3.10气率leakintegrity
单位时间内的氧气泄谢
单位标准状态nml/e数【sctsHe】3.11温运系数
3.11.1 零点混成系数temperalure rue[Gcient an zru在工作温度范围内，流量检测电压随温度改变的等点源移盘相对满量程流盘换测电压的百分数与变化益温度差值之比。3.t1.2灵敏温度系数tempcreturecoefticientonspan连工作温旗范围内，筑蛋示值不变的情况下，脚量程实际离量随摄度改变面发生的变化量相对源避变化前的满量程实际商量的白分数与变化组度案值之比。3.12电乐稳定性vulagrTegul:licm在控制带处工税定的条件下，输出的试单检到比的变化质与两量理范量检测电压之咨分比，
4产品分类
：41世流景范用可分为四禁：
小就量，小于等十55M
b中液量：10~30SE.M
c，中小满量介于中，小流量范用；d.大量：大于sUSLM。
4.2按控制阔的类百分刻退大类。压电网式
热胖便式：
电商调节商式
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其它谢节阀式（包括步进出机和间电提等）4.3质量流量控制器的产品型号参照$3了命名，节写恪式如下-/0
企业代司
人~z改型特征（可害穿）
ni-99设计序号
挖制润种类：1.瓜电阅名热膝
服网+3电磁调书4.其，
流量范国分类1.小镇坊,2.中
尿品,中小灌量·,大淀斑。
都标公我产点
例：质量流量控制器[07—3301A/ZM型5挂术要求
5.1 一般要求
5.1.1外观要求
外现应平差，光滑，无切避和锈独现象，镀等层不料脱落，金属表监光洁：
各种标清晰无误
5.1.2结构要求
结构合理，便于安装，拆卸和维惨b.
电路邯分封闭阳高，防止环境厨蚀，5.1.3外形尺寸
控制器的外形和按管尺寸应按对录A（补充）规定的数据追择。5.2技术性能要求
5-2.1流量范围
流量范函按期3.3条和4.1条。
5.2.2准确度
根括不同精度医求选择妞下指标±1%F+81
6.±2%F·5.
5.2.3线性
根培不箱度要求选挫如下指标：a.
±0.5%F-9;
±1%F5
5.2.4要销度
根不同特度要求选托如下指标：±.±0. 2%F + 6h
b.±0,5%Fs.
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65 2. 5响应时间
最低要求；小于30%到达态值的±5%F+3以内：最高要求，小于18到达稳忘值的士2%F·以内，各型号产品应在装术说明书中分别给出也持性利气特准的响应时间指标，潜仪给出一个推标，则应理解为是气特性的响皮时圳指标，如果没有注明到达急态值的相对误差稳困，贴应再部为是\到达助态值的士5%F -5 以内\。5. 2. 6 工作压力范围
工作压力施，0.05～.3MP。
5.2.7 压力累数
力率啦为：士I.5%F·3/MP。
5.2.B温度系数
根据不阿精度要求择下指标：
a.+0.05%F.$:C:
b +%F·/
c.±0.2%F-/
若无特殊注明应包括孕点温度系数又包括灵收度担度系效，5. 2. 9 设症电压
设定电压为：0-+5.0%V。
5-2.10谦检输出电压
随盘检测出电压为0--+5V
5.2.11电压热定性
根据不同精度耍求选择如下指标，±0.D5%F.51
b.±0.25%F -a:
±U.5%F·3。
5.2.12工作电源电压
报据不同的使用要求，选择如下指标，15V=2%
h.15v.±5%.
5. 3环境杀件要求
5.3.！控制器长期工作条件
温度5~45，
b，相对提度40~60%：
5-3.2控制器运环镜温度
控制器您运环境温度为：一40~十60℃。5.4可卓性要求
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控制器虑有将商的可范性，根据不同的速用要求，规定以下三个等怒指标。.m>1500h;
b.m.>5000h.
m,>2000h.
5.5安全要求
5.5. 1耐气压
根据币罚使用恶求选择如下指标10MP#
5.5.2奔气本
根据不同接用要求，选择如下指标：a.
1×10-1gcce Hel
1X10-tgccs He1
I×10-\gccg He.
5.53材料耐蚀性
控制器通过与工作气体接单分的材料，均应选用财独材料。用于转殊府饮性机体时，盘分别采用相应的耐材料，
5.6运转试验要求
产品的包鞭性被包装产品,经长随运箱(行车不少于10knl),位装箱不摄坏,不变形,被他装产鼻完好。
试验方法
控制器在测试时应与相置应的流显示电源盒配使用。6-1-股要求检变
且测控制器外观，表通和结构，用量具测外形尺寸皮符合5.1条前要求，6.2技术性能要求测试
6.2.7流景范国测试
6.2:1.1用皂膜流量计(或钟罩)的标定方法按图1，将气源与减压舒审携到控制器入口，出口携至皂膜流登计即可进行细试。98
采用剪流量让标定时，必将容积流量换筛为质量随量，即换算为标准状态下的容积症量Q，计算公式如下，
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T.,式中,V—皂膜简量计戒期曾上两标线之间的容积,m) ,T
5. 2. 1. 2
标准状态的温度，273,15K，
一标准状变的压理，101325Pa，管内气体的摄座（近似取室温)，K：替内气体的压疆（近拟取室内气压），PB情内气体的水蒸汽压(难以确定，因而通常您略）,PB，皂膜通过玻璃管上两标线之间的时时，min，控制器与标准质最流量非出联的标定方法气源
标准计
标难计
标准质量流量计(简称“标准计的准确皮不低于士%F，,重复精度不低于=，8%F-，线性不低于±0.5%F-9按国2.将标准计与被测榨制解（MFC）气路单联，连接管道要尽可能短，各连换部位气密性再合要求启，即可直按进行测量。6.2.1.3标定程
，先在低气压下（如0.05MP）进行聘量强测试b.在高气压下(如 0. 3MPa>进行测量程测试e、在中间气压下（如0.15MPa)进行准请度和践性的五点标定测试七十整据，投定点分别为滴量程的0%、25%、50%，75%、100%，设定100%后，再返间副50%、0两点，记录上述。、b、中余部整据，供有关误差的计算，6.2.1.4确定湿量规格
根据低、高，中气压一次训得的需蛋程流量确认控制器的疏量规格，6.2-2准确度的计单
用在中间气压下的1%设定点测得实际流照后，控制器准确魔按下式计算：2p-g-0a ×10%
式中.被测控制器准确度
·&被测控制器满量理示值流量SCCM；Qef.g
量程实际流量（标难计测量值.SCCM，6.2.3线性的测量
据括6.2.1.3℃等微试的五点数，设定点比倒为口%、路器，50%、75络，100%时的案际减量慎，按下式分别算出各点的线性偏差，收偏离最人的值做该机的线性误差值。2。-双Q×100%
获测控制器线性！
Q——各点实际流量，SCCM
各点的设定比例，
6.2.4重复精脏的量
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根6.2.1.3C策测试的两次50%设定点的实序流量与户获下式计算，r- 2g- 2a × 100%
式中—控剧器事基携度
Q-50多设定点第一次实测流量SCCM一50%设定点第二欧实测流量，SCCM，6.2.5有应时阔测试
设定慎的阶联变化方式规定从以下三种中确定一种进行测试。从4F·到6%F-,再从%F-到%F-
50%F-$100%F+=.再从100%F·=到50%F·$日b.
从0到100%F，，或从0到10F·8以上选定点各产品应在说明书或技术条件中指定一种设定值的阶联变化力式。6. 2.5.1电特性响应时间测试
将控制器的随量检测电压接到XY记录仪<灵敏度不低于60m/mm>的Y轴上，以时间为文座标，记录流量检测电压随设定电压阶题变化的响应曲线，呼可根据定义满完电持性响应时间。
6. 2. 5. 2
2气特性响应时间测试
控州器局部气特性用转子测量法（或皂腾测量法）测试因3
选托一个福适当的标有精席刻度的转千流量计（或皂股流量计》，直接用管连接在控制器两口（见图3），连接管的气容利气阳应尽量小，工作时将转于的变化过程用学像方法记录下来，再进行分析计算，即可得控制器自守在出口的同球气流应特性，在响时向按长乐情况下，也出可采用目测和莎表让时的方法测岛。b.大气容紧统气特性用双转子测量法测试。如果用户的反应室有较大的气容，并要求MFC与反应室系统连换后的响座特性要快，这时可以用双转子测录法来模拟测试，SJ/E10583—94
如图4的方法连接，以上游转于U可以观寒到MF扇部气特性+以下游转子D可以观案到大气累统气特性，然后按如下原则来判薪控制器的响应特性，在规定的时间内，上游转于的滞后不超过要求的误差范困，面下性转子的过冲不超过要求的误差范围，则可判定该控制器达到应时指标，
：转于测重法（或电膜测量法）和双转子测量法，两种力法测蓝的气特性，原则上可以任选·种做为判楚标难。
d。要求软启动产品，必须转平测量法判别，以动作中稳，光过冲为主要要求6.2.6工作压力范围恼试
在6.2..3茶中所测得的低气压和商气压，能达到整制添技术指标的气压炮国时即为该控制舒的工作服力范两。
6.2.7压力系数测试
剂用5.2.1.3录中测得的低气压和高气压下的满盘程微量值进行计算，8 = 2g- 9m
武中范制需原力系数，免费标准bzxz.net
r.—高气（如0.3MPa)下的满量理实测流量，SCCMa低气压（如0.05MFa）下的满量程害测滴量SCCMAP气压变化值，MPa.
6.2.8温度系数测试
6.2.8.1手点温度系数谢试
在室退下开机调季后，将控制器放入烘箱（或高低温试验着中，不通气级慢升益至45，待通查平衡后，第4
式中：o:
位受宁电压表，测最流强检测电玉的华点盘科后，雨下式计算，AY
：×100%
控制器零点温度紊数！
零点温具压、V，
VE-s满量程流最检测电压，5.00VAT-
升湿前后的没差，。
6.2.8.2灵效度温成案数测试
将被测控制暨审联也梯准随量计后面，遇当加长管道，将被测控制器放入烘箱中，通气升施、测盈实除流点的变化。按下式计其：式中产
控制器炎较度谢度系效；
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Qr—2
×100%
Q开始温度（望祖时）的实测流量，SCCM：Q--一温度效变序(45C:时)的交测流量,SCCM4T—外的，
6.2.9设定电压.南盘格测输出电限、电辰稳定性、工作电梯电压微让分削按5.2.9、5.2.10.5.2.11,5.2.12条的要求，用精度不能于0.03%的4用表测量。
6-3环境条件要求试验
位教学三
6.3.1将控制留放人高低率试验箱（401C~+60C).按图5所示程序进行图度循牙试验，迅度变化速率不大于2u℃/h。
1 2n I+ +
20 ℃
[a aa a]
图5温度话试验时序图
4h电耐量
区微间
63-2分别在20℃、5℃、45℃个度阶梯上进行电源电压试整，电压从220V分别调到198V和242V（使时1kW调压器），务保持15min后.记录零点源移值，观寒电压秘定性，应满足~5.2.11\条指标，通气检查电压稳定性时，应按\6.2.1.3”、\6.2.1.3b\案要求同时改变气源乐力。
6.3.3，测试应在温平衡运进行，平衔时叫十中于h。在0C和50℃温度阶梯记示点强移，并检查能否佣到率，往开始20亡时的测试精度和在结束时20么的测试赖度，允许统过调整+准确度符合“5.2.2\条要求。6.4可常试验
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气什质盘流量控制器可靠性措标MTBF的下限值m，验证试验，按附录B（补充件>规足谨行，
6.5安全要求检查
6.5.谢气压检香
培任控物器出U.将入口与0~4MPa（或0~15MPn）减压器及气瓶用金网管连接，通电将MPC的请节阀打开·然后调节减压器，银慢升压，当气压达到额定值后，保持10rain，关闭减压器，出口放气，热后检查控制器有无损伤，并按正常工作条件通气检查尽否正需工作。在充许调整的情况下，互新检查，达到\5.2.2”\柔指标。6.5.2出封降气率检查
用灵度不低了1×10\SCCSHe或1×10-1SCCSHe的氧质读检灌仪测试，应符合“5.5.2\年要求。
6.5.3材料耐性性检在
材料蚀性试验在生产厂有关工艺文件中确定。6.6运输试检要求检查
格控制器按规定进行包装，图定于汽车中部，选三级面，行车100km，车惠20~40km/h之后，进行性能指标检变。在允许调整的情说下，应符合“5.2.2”、“5.2.11\累要求，也可将包装好的产品置手运输试验台上进行根动试塑，做模拟运辅试验，抵动频率4Hz，加速拉够时间。
7检验现则
产品益险由制盘！橡验部门根据本标推，产品技术杀件、拟及有关技术协这进行，7.1检验分类
定型检验，
b.交收检验
例行检验。
7.2定型检验
7.2.产品在进行设计和生产定童时.应进行定型检验。7.2.2定型检脸的杆机不少于2台，了.2.3定型检验的项自应符合表1的规定，7.3交收检验
7.3.1产品正常生产过程出，遥台检尊合格后，并附有质量合格证：方能人库载出厂。7.3.2交收检验的项目应符合表1的规定。7.4例行检验
“下列情说之一者，应作例行检整，a，
正常生产情克下，产品需用生产三年时：h.
产品结构、材料、工艺有较人改逆影响产品性能时，停产三年以上恢豆生产时；
国家监督部门提出费求时。
从交收检验合挤的严最中随机抽取样品，逊行例行检验。抽样数量规定如下，10
产品在30台以内，抽样2台
产品在的～50台拍样5
产品在自以上，抽择8台。
5J/T10583—54
例行检验的项目控择合表1的规定，7. 4. 4
例行检验中发现有不合格的项尽时，应拓估抽样，对不合格项日正需控验+若假有不台格项目则该推产品判定为不合格，项
-股要求
肢术性脂
好观要求
粘性要水
外形尺寸
萨量范国
重复棉度
谢应时间
工作乐力范函
斥力事致
隔度东妆
投定出压
能量到瘤出电压
电压稳定性
工作电源电用
环境系性要求
可靠性要求
耐气玉
安全要求
留树气车
材料耐快性
运输近验要求
试验方偿
法，“，“在示检验项目，“—”表示不检验项目。8、标志、包获、遥物、贮存
B.1标表
81.1产品应有铭牌其上应有
定型检验
变收性监
闵行您验
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