【电子行业标准(SJ)】 半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法

中华人民共和国机械电子工业部部标准半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法SJ32493-89
1主要内容与适用范圈
本标准规定了半绝缘砷化像中铬浓度的红外吸收测量原理、仪器设备、测量步骤、结果计算和精度等。
本标准适用于掺饹水乎法生长半绝缘碑化像中Cr浓度的测定，适于样品厚度2~4mm。不适于铬浓度大于1.5×1017cm-3的试样。2原理
掺铬半绝缘弯化像中正3价态恪至正2价态路的跃迁引起的吸收带其吸收系数和浓度具有对应关系，测得1.3500μm处吸收系数由经验公式让算浓度，3仪器及设备
0.8~2.5μm或范阅更宽的分光光度计。4测试步骤：
4.1用酒精擦式双面抛光，厚度1~4mm的试样4.2以吸收方式扫摧做零线标准，如果在0.8～2.5um范围零线起伏超过±0.002，则应仔细调整仪器。
4.3仪器校准后将样品置于光路并使光束对准所需测量位置。4.4在0.8~2.5μm波长范围记录样品吸收光谱图，横坐标为波长入（μm），纵座标为吸光度A（如图所示）。
波长（μm）
典型水平法掺铬碑化镓样品的吸收光谱中华人民共和国机械电子工业部1989-03-20-批准2.000
1989-03-25-实施
5结果的计算
SJ3249.3—89
5，1根据分光光度让记录的样品吸收光谱图，由下式计算铬含量：Ncr（2.6α-0.46)×1016..
式中：Ncr
-砷化像中铬含量（cm-3）；
一砷化像中铬的吸收系数（cm-1）α由下式计算
其中：A，和A.---光谱图中1.350μm和2.0μm处所对应的吸光度值；d-样品厚度（cm）
5.2半绝缘化典型样品铬浓度计算举例5.2.1已知样品厚度为0.154cm，（1)
5.2.2试验所得A一入曲线如图1所示，并查得A，和A，分别为0.528和0.2975.2.3α由下式计算
0.528-0.297×2.30=3.45(cm-1)g
铬含量为
6报告
报告内容如下：
7精度
样品来源及编号
图示测量位置
Ncr=（2.6×3.45-0.46）×1016=8.51×1016(cm-3)
αl.35μm和Ncr数据
测量单位及测量日期
测量者姓名
本方法测量精度为5%。
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本标准由机械电子工业部第四十六研究所负责起草本标准主要起草人：李光平、何秀坤、王琴、郑驹、阎萍-2
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