【航天工业行业标准(QJ)】 氦质谱检漏最小可检漏率检验方法

中国航天工业总公司航天工业行业标准QJ 2861-96
氢质谱检漏最小可检漏率
检验方法
1996-12 -30发布
中国航天工业总公司
1997-07-01实施
1范围
中国航天工业总公司航天工业行业标准氢质谱检漏最小可检漏率检验方法1.1主题内容
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本标准规定了氮质谱检漏最小可检漏率的检验原理、检验仪器设备、检验条件、检验步骤、数据处理和检验文件等。1.2适用范围
本标准适用于氨质谱检漏时在检漏状态下最小可检漏率的测定。引用文件
橡胶密封真空规管接头
金属密封真空规管接头
低温容器夹层真空度试验方法
3定义
本章无条文。
4般要求
检验原理
在检漏状态下，通过漏孔的示漏气体进入检漏仪进行显示时，最小可检信号所代表的漏孔漏率即为检漏最小可检漏率，用Q。表示。检验方法有4种：
真空法，其示意图见图1；
压力一真空法，其示意图见图2；b.
吸枪法，其示意图见图3；
吸枪累积法，其示意图见图4。
4.2检验场地环境
温度：10~30℃；
b.相对湿度：小于75%；
中国航天工业总公司1996—12-30批准1997—07—01实施
图1真空法检验示意图
1-检漏仪；2-被检件；3-真空规；4-渗氮型标准漏孔；5-扩散泵；6-粗抽阀；7-粗抽泵
图3吸枪法检验示意图
1-检漏仪；2-吸枪；3-被检件
4-氮气源；5-正压校准漏孔
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图2压力-真空法检验示意图
1-检漏仪；2-真空室；3-被检件；4-渗氮型标准漏孔；5-氮气源；6-手动载止阀；7粗抽泵；8-粗抽阀@
图4吸枪累积法检验示意图
1-检漏仪；2-吸枪；3-正压校准漏孔或定量氮气量；4-集氮罩；5-被检件；6-风扇；7-氮气源
c．无强电磁场干扰、无剧烈振动、无腐蚀气体；d，环境通风平稳，氮本底要低。4.3检验仪器及设备
4.3.1检漏仪
检验仪的最小可检漏率应满足被检件的漏率要求。4.3.2漏率校准装置
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应备有标准漏孔和正压校准漏孔；a.
b．在吸枪累积法中，应备有使检漏仪显示出不少于噪声的5～10倍信号的定量氮气量装置；
渗氨型标准漏孔、正压校准漏孔和定量氮气量装置应定期检定，并在有效期内使c.
用。定量氮气量值误差小于1%。4.3.3真空机组
真空机组选用油扩散泵机组或涡轮分子泵机组；a.
真空机组的极限真空度优于5×10-*Pa；c.
真空机组的抽速根据被检容器大小、抽气阀通径及抽气时间合理选定。4.3.4真空计
真空计的量程和精度应符合QJ2675.1中5.2.2.1条表1的规定；b.
真空计定期检定合格，并在有效期内使用。4.3.5粗抽泵
粗抽泵一般选用机械真空泵；
粗抽泵极限真空度优于5×10-1Pa，抽速按4.3.3条中C项的规定合理选定。b.
4.3.6粗抽阀
粗抽阀一般选用漏率小于被检件允许漏率1%的真空阀。4.3.7抽气管路
a，抽气管路上安装标准漏孔和真空规管的接头可参照GB6308.1或GB6308.2的规定；
b．抽气管路漏率一般小于被检件允许漏率的1%；c。抽气管路与被检件连接一般采用金属软管。4.3.8吸枪
吸枪应保持清洁，吸气孔畅通，调节灵活。4.4检验条件
备有三相和单相供电插座，电压稳定度±10%；a.
备有大气压力和环境温度检测仪器；b.
仪器设备运转正常；
备有满足要求的氨气和氮气；
备有氮气加压装置（由所需压力而定）；e.
检验人员上岗前应考核合格。
5详细要求
5.1检验前准备
5.1.1被检件应进行清洁处理。
5.1.2连接被检件的管道和检漏装置总漏率一般应小于被检件允许漏率的1%。5.1.3根据被检件特点和要求，可选用如图1～图4表示的方法进行校准。3
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5.1.4检小型被检件时可直接用检漏仪自带标准漏孔校准。5.1.5检中、大型被检件时应外接粗抽泵或真空机组，将检漏仪接在机组前级管路或高真空部位，标准漏孔应接在被检件上校准；若被检件无连接标准漏孔的位置，则应把标准漏孔接在抽气口附近的抽气管路上校准。5.1.6正式检测前仪器应充分预热，直至每个检验周期内漂移可以忽略。5.1.7应尽量模拟工况校准。
5.1.8漏率不确定度一般应小于或等于50%。5.2检验程序
5.2.1检漏最小可检漏率的检验步骤5.2.1.1真空法的检验步骤如下：按检漏仪使用说明书，校准出检漏仪本身的最小可检漏率，以判断仪器是否工作a.
正常；
用粗抽泵或真空机组将被检件抽到所需要的真空度；部分开启或全开启检漏仪节流阀，关小或全关闭前级真空泵抽气阀，使质谱室维ci
持在正常的工作压力；
待全部检验系统处于检漏状态后，读出检漏仪输出本底I。和噪声I，；e.
读出标准漏孔标称值Q。；
测出标准漏孔施氮后在输出表上的稳定指示I；f.
如果所施氮气非一个标准大气压的纯氮，要进行压力修正。g.
2压力一真空法的检验步骤与真空法相同。5.2.1.2
吸枪法的检验步骤如下：
同5.2.1.1条中的a项（带调好的吸枪）；读出检漏仪输出本底。和噪声I。；b.
用吸枪对正压校准漏孔进行模拟检漏，读出检漏仪输出表最大指示值I。c.
吸枪累积法和检验步骤如下：
同5.2.1.1条中的a项（带调好的吸枪）；b.
用积氨罩将被检件罩住并密封好；c.
罩内用满足要求的氮气置换；
读出检漏仪输出本底I。和噪声I，；用积氨罩上安装的正压校准漏孔施氮或在罩内放置定量氨气量的方法施氨；e.
罩内气体用风扇搅拌均匀；
正压校准漏孔按规定累积时间△t累积，用定量氮气量校准则不需要累积时间。g.
在罩内用吸枪探测，读出△t时间后的检漏仪输出表指示值I，或者测出定量氮h.
气量时的指示值。
当需要重复检验时，应先排除积氨罩内累积的氨气。5.2.2检验后检查
a．检漏前和检验时应保持检漏仪工作状态一致；4
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应复校检漏最小可检漏率，并在检验前后应保持致。b.
5.2.3检验中断处理
检验中断后应从5.2.1条开始重新检验。5.3数据处理
5.3.1真空法最小可检漏率按公式1计算：I免费标准bzxz.net
Q= 1- 1
式中：Q。一检漏最小可检漏率，Pa'm3/s；In——噪声或最小可读信号，V、Pa*m\/s或相对单位（格）；I。一本底，V、Pam2/s或相对单位（格）；I输出表指示值，V、Pam3/s或相对单位（格）；Q。渗氨型标准漏孔标称值，Pa'm3/s。(1)
当采用通道型标准漏孔时，若示漏气体非纯氮，应将标准漏孔净输出信号修正为1个标准大气压的纯氮信号后，方可代入公式，修正系数为110，PHe
为Pa。
5.3.2压力一真空法最小可检漏率按5.3.1条进行计算。5.3.3吸枪法最小可检漏率按公式2计算：I
Q= T-I
一-正压校准漏孔的标称漏率值，Pa'm3/s。式中：Q。-
5.3.4吸枪累积法最小可检漏率计算有二种方法：当用正压校准漏孔校准时按公式2计算；a.
b，当用定量氮气量校准时按公式3计算：I
式中：q—定量氮气量，Pa'm；
At检漏时累积时间，S。
其中氨分压力PHc的单位
校准时，定量氮气量反应值不需要累积，但检漏最小可检漏率Q。却与检漏累积时间△t有直接关系，不同的累积时间对应不同的Q。。5.4检验文件
5.4.1检验记录
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内容一般包括：检验日期、当地大气压力、环境温度、仪器设备编号及公式1～3中出现的参数值和检验人员等。
检验报告
产品名称、型号规格、产品编号、出厂日期；受检单位；
检验类别、检验依据；
检验条件；
检验结果和结论；
检验人、复验人、审核人、日期。附加说明：
本标准由中国航天工业总公司七〇八所提出。本标准由中国航天工业总公司五院五一○所负责起草。本标准主要起草人：曹慎诚、冯毅明、刘煊。6
中国航天工业总公司
航天工业行业标准
氨质谱检漏最小可检漏率
检验方法
QJ2861-96
中国航天工业总公司第七○八研究所出版发行七O八所排版印剧
1997年7月出版
定价：2.00元
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