【电子行业标准(SJ)】 自动砂轮划片机通用技术条件

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T 10479-94
自动砂轮划片机通用技术条件
General speciftcatlon
for utomatic wheel scribing machine1994-04-11发布
1994-10-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准
自动砂轮划片机通用技术条件
General-speciHention
for aulomatic wheel scrihing machine1主题内容与适用范国
SJ/T 1047994
本标准规定「自动矽轮划片机以下简称\划片机”)的技太要求，试验力法、控验裁及标志、包装，逗辅、贮存，
本标准适雨于下时割分离卡导林片，石英，遇瓷等材料的片凯，2引用标准
他装储运图示标意
GR引的.7设食可靠性试验恒定失效率慢改下的失效率与平购无故降时比的验能试治为案
3技术要求
使出条件
划片机在下列使用系计下应能正带工作：混度：23±4：
抵对度；40%-70%：
洁净：100000级：
供电系件：220V=10%，50H±2%：山
代气条件：报控气压为0.MP；
其空压力66.6kPa:
「.进水美件：离于水压力0.2MP。3.2主机穿变
3.2.1x导轨与Y导较的带直度识差人大于n.025m。3.2.2空气静压电主纳满面与×导轨前平行虑读差不人十0.0025n1m13.2.3.Y轨与率片台的平行误差150mm制范册内不大于0.01mm3.2.4承片存或主辅升降定位误紊不大于0.008元mc3.2.5承片台整转定位误差不人十9（0.002.5\）3.2.6Y提进误券不火」0.005mm，累积送差在100nm测且图内不人」0.00Bmm中华人民共和国电子工业部19940411批准1994-10-01实施
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3.2.7空气静压电丰轴发装痧轮力处的精座：，径向国践动0.004mm：
h端品阅跳动0.M2mm：
c.轴向率动0.001mm。
3.3显示屏
品示屏左右国像尚分中，井应向档消晰（单日或效目显微镜）3.4保护开关
否保护开关应工作可享。
1当缩空气床力心于或等于0.46MP，时，其保扩开关应能文即自动关断，生轴停转，b：当承片台片压力小于或等于10.66kPa时，其保开关应能立即关，机器停止动作
定运行。
当去岛子术冷液用力小十或等十0.07MP时，其保护开关应能文即关，机器你3.5空裁试验
划户机应进行空较试冷。试验后检接字机销感，显示屏及各保护开关功能3.6负我试验
划经空载试验后，方进行负载试验，检查划片质基3.7发含要求
3.7.1制片机应有接地措亚并有地标志。3.7.2在试电为500V时，电源描入前与机充之间的跑缘电因不小于2M3.7.3电源输人端与机亮之间应能承受交池150V耐压试验1mi，无击穿或飞弘现条，3.日
3.B.1传动应灵活，平稳，动作应端环、协调。3.8.2各司定部位不得有松动现象，3.8.3水，气誉造不充许泄漏。
3.9外秘
划片机外观应平略，光滑，无别恢痕逃，无辫选现象，链落层不择晚游，3.10噪声
划产声声级不大于80lH[4)。
9.11运输试验
划片机包装后，应行3的运箱试验。试验后其站构及拍度等不将改变，通电后应能正常运特。
3.12可禁性
划产扰平均后故摩工作时问（MTBF)的\\限值期，应大于50MOh4试验方法
4.t士机宽
4.1.1X孕航与Y孕的垂直成检
将150mr×150mm方形角尺或专月标准测盘板述在承片上.十分表固定十主轴保护界上，角尺约·边与×导轨调平行主轴剂轨转移动测单尺的另一边。12
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4.1.2空气静丘出±辨带面与×导航前平行度控查拉用1，将平分表固定在承片件上，壮X力向越动承片台，在给空气赫压轴承供气时，测也主安装为片的大定位辨面。
4.1.3X、Y导轨与逐片台的平行度检查披函3.装T分表固宽在士抽泸率上，招、Y导缺移动.在承片台上表而均布9点处（固边均布点改中心点进行制质；将承片族转卵再对次。图
4.1.4承片分或主轴牙降定位格
将不介丧同空小半抛扩置上，表头接脏承片自小丧面图心近，升降承片惑去轴三次读出T分表前悟两人示但均不大于.008mma4.7.5承片检税案位险在
将刻有图形的硅片（或标准闭形板)改登在承片台上先对带第·个方向，将承片台旋转0再对准第二个方向，并快承片台自池转返回第一个力向，现案左忘快误差（手动放转离您不微此质检查。
4.1.6 Y 步进误差、果积误差检查用不英玻璃标尺或其题与仪器到世Y步进误整和第积促举：41.7主轴安积砂轮力处误差克
用于分表测量空气萨压电主轴安装砂轮力处炉误差。4.2显示屏检查
用弥映检在显示尽图像分中及情晰度（单月或双日品微宽)。4.3保势于关检查www.bzxz.net
检查各保护开关功能。
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压缩空气压力小于或等于0.46MP时若其保护开关尽能自动关所.主轴是n.
停转；
当承片价吸片压力小于成等于16.66P时，看其保护开关是否能白动关断，机器是b.
否停止动作：
c、当去离一水冷却液低力小十或等于.07MFe时，共保护并关楚否能自动关断，机登局停止运行。
4.1空鞋验
4.4.1将±轴度调至30000r/mim，逆续运转2h，然后在出轴不转款情况下运行24h连续运行不得于1211)。
4.4.2话频后，复3.2~3.4案。
4.5.单载试验
4.5.1.试验系件应符合3.1杀的规定，4.5.2用个.02mm或们.025m厚的寸片，实75mm的哦！5升4.5.3在标尺显微镜下检变划片质母。划措宽一般为才片厚的1.5倍（具依费求在产品标准中规定)：
4.6安全要非检变
4.6.1月自划法.投3.7.1案要交进行检查。1.62断升计算机系统，可500V兆欧表测母电源拍入带与机完之间的筛凝电阻。4.6.3用须定容或天小于500VA的高压试验台，在源输入端与机壳之间施加1500V电正持续对间1前切，检在应无击案或飞氛现象（检空过中应断并50V以的低卡电路）。4.7结构检竞
4.7.1按3.8.1和 3.8.2案要求，动检查。4.7.2水管道尺日测观查法进行检查。在气体督道行接头处徐肥皂水，检查气体管造存n.6MPa供气条件下，适气3i内不得有汽泡出现外检查
用日测试进行乡见流量觉查，
1.9张声试验
划片机在试验过军中，用精度为24B的声级计，在期片机元前方1m，高出地面1.5m处测量像声声压级（计权）。
4.10运输试验
划片扩包装占，存汽车模拟运辅试验台上进行运输试验3h。试验后，检查装箱及议备的外规及务连接部分，再通电控查应能正常运转。4.11可鼎性试验
划片机应进行可靠性验证试验。划片机平故障上作时阅按GU1.7第章规定的是时（是数)裁居试验力英S:7进行：
α为20%：寸为20%：D.为3；载陷时间为1.4m裁尾失效数为3。5检验规则
5.1检验分类
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划片机的检将，由制造厂质量检验部门进行。检验分为定型扮壁、交收检验和例行检验，5.1.1定型拉验
凡屑下列情况之一者，应进行定型检验：新产品设计定基相生产定师附：b.老产品进设计后定型时：
c：产品停产三年以上又恢复牛产时。5.1.2交收检验
交收检验适用予正常生产过理中。5.1.3例行检验
有下划忙况之一时，应进行例行检举：连续正常生产两年或累计生产-一定数量(如20)台)时：a.
b产品停产超过两年，不足三年又快及生产时。5.2检始项目
各类检验的检验项日见下表。
项口名
三机精度
显示屏
保护并关
禁试验
使试势
安全要求
还前证服
救术要求
\表示进行金验求目。
5.3抽样规
5.3.1定型检龄样机不少了2台。5.3.2交收应验逐台进行。
试跑方法
5.3.3从交收检验格的产品中，按-世产盘的10%（少于2台)随机灿推，送行行检，
判定越列
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5.4.1定型检验所有受验项日必则全部合格，才能判定定纠检验产品合格。5.4.2交收检验出规不合格项日时，允许返修后重薪检验；返惨次数不将超过两次。若出观不可偿复流目则判为不合格品。5.4.3当例行检验出我不合格项日时，应加倍拍样，本新检验。若仍不合格，应使止检验，将已验收而末出厂的产品退回车间、待查明原因，采取改进推端后重新龄验。6标志、包装、运换、贮存
6.1 标志
6.1.1产品标表
产品标牌应具有下列内穿：
制造广者：
h.产品亚务：
c、产品名称：
d．商标
出」编号：
1、制选日期
6.1.2包装标点
包装箱外壁应有符合B191规定的“小心轻效”、“向上”、“冶湿”“重心点”和“由此吊起\等标志，并注明飞和外形尺寸（长×宽×)。6.2包装
6.2.1划片机装翁前座清洗千净：6.2.2买用木箱包装，机件应可豪地固定，并深收齿谢措施。6.2.3装稍率、产品合格证、产品使用说明书等陷抗文件，塑料设封装片装人包装笔内。6.3运输
刘片机在起吊，搬运和运陷过程中，严禁情击、跌落租翻滚。6.4险存
划产机装箱后应赔疗在坏境温虚-5-40七，和对提度不大775%的适风、清、无离蚀气的仓库内，吃车期间每半年拍登一次，一年面些一次。解加说明：
本标满凸电子工业标难化矿充所归工。本标准由西北机器厂负卖起草：木标准主要款单人，伟凡、王报宏、许月兰6
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