【国家标准(GB)】 表面化学分析-数据传输格式

ICS 35.240.70;71.040.40
中华人民共和国国家标准
CB/T19499-2004/1SO14976:1998表面化学分析
数据传输格式
Surface chemical analysis--Data transfer fornat(ISO14976.1998.IDT)
2004-04-30发布
中华人民共和国国家质量览督检验检疫总局中国国家标化管理委员会bZxz.net
2004-12-01实施
GB/T19499—2004/15U14976,1998前言
1范围
2拾式猫述
2.1概述
2.2元语盲的构成
2.3附如超则
3.1梯式
2.5谱议儿何位罩的规范-
附录A（规范性附录）
附录B（规范性附录）
B. 1视述
出.2原型应用
H.3实例注
格式的设
格式主例
附录（规范性附录）部分编码版本格式C1
不扁限十样品上的某个特定位置+仅有一种测试技术、一个实验变最，含有若十规则扫描的C.2
增或区间的实验
分析不周限丁杆品上某点，仅使用一种测试转不如人ES或3IMS，与溅射相关的一组规则c.
扫情的谱区险塑成的实骏（如滤射深虚剖析）仪使用·测试技术如AES、ELX或STMS，由若下表示不间元衰强度的单值维像粗成的4
实验，二维图从(1.1)开始的X-端扫描构点并仅随一个实验变量变化参考文献
CB/T19499—2004/1SO14976,1998数据传辅格式
本标准等同采用IS0）14976：1598表品化学分析本标准执出单位：全国微束标准化委会。本标准归口单拉，全国微束标准化委员公。本标准负责起草单位，北京大学化学与分了工程学院。本标准主要起单人：刘载维，
本标准参打起菜人：未永法，」泽不，需治东、张额、沈电洪、刘芬。1
GB/T19499-2004/ISO14976：1995引言
在表面分析额域有许多商化的议器是由计算机来控制，这此算机回还被用来处理所获取的效带，涌过业内设的子序完成谱能合成，路卷租背腐扣除，诺师山供侧量，考志不园级次杂印的定早测革、二维成像，深境制析，平、改分及其各服处用功曾、尽管妇此，计多测试人负希单在分外一台计算礼工，通过他门自已的等联方式，月他门自么门炭写的程序准其全面控制下旁成数搬处理「作：他们拍要在采案激圾内计停机上对数把进行适当拍编码以适于传情，然后在接收驱据的计穿机上将其解为所需要的形式：各制造！性，各型号均这器的效据格式不尽州同，这些数拼落支也有公开发表。统上所逆，需要制定一个利范的数据传矿咨式，以推进交流，诚少缩码解码的程床数日以及减少题据分济的入确定性，
GB/19299—2004/1S014976：1998表面化学分析数据传输格式
本机准定了计算机之间通过贞按连按的并行或串行按口、电通载，品感网或其他通谢丁段逃行教据传输的一利培式：所专销的效据月普通母示器或打印机亢显示或汀印的宁符逊行编码。该济式适H于AES、EDX.FAPMS、1S5、SIM5、SNMS.UPS、XPS、XRFM其池相伤件分析.万法。它通差了谱图、：推方紊像，深音标及其偶多种实紧技术所快取的数据所2格式描述
本格戎的没长附录A中作广绍：本格式用英国标追B565，181元海口语法定义古法斤定义的元语成办来挡述，其中一些它当的要存2.2和？.3中淤出。在木格式中，有一当参数问学实验方式、扫描模式和测战技术这二小条月的些特定形料义改升改文了只不在拍关条件成的市提下才色含这些数的条款，这种有淤件的包含关系蛋然以元语方来摘述，但要用一产比有单列表更复杂的结构，为了仅持结构的简明性，这归本数用任造厅刻来表示，开附带一个活号义个社释以定义每个选项被任含的系件。2.2元语言的构成
元活节是士定义如向十成线半学将厅列节系刻规的杯纠成为，有妞这业热兰成的字符才能被齿人到序列口，一个产列川以为若于序列组成的序列：在标记中的一个子率列士单引：“号（\“括起采的给定字对表示。了序列本身速向据号学符一起叫做一个终端字符串
没端节持平是语法鼎光之一例。话法基元之前可以加一个后级呆号（*）的整败，以述同牢的语法基元连漆环的等定改数：一个讲次基下连同方前登的数及星号（果有的活，叫或一语法因了，-个语法压子可以后接个减（一），其后再瞬限习人语达因子，这神子序到品做语伙项。多个语法项可以连续写出·但要用追号（，>将官们分所开，以表示通过逐·个成月人沿法项所牛成的了序列单个的语决项我英组的由退与分隔的语法项，叫做单-实文，多个单文可以连续出但妥学线符等它们分隔并，以表示十产创中宗义中的一个且只能是一人所生，即列支可选于序列。一个并定义或岁个中紧綫符分陶的单一定义叫做定义列表
现在来渐释说法项中出现在第二个讲快因「之前的减号新表示的公意。定长为了准免由此语法项生战往可能中第二个语法因子牛成为序列，第二～语法因子叫做说法外，每个定义列友以被赋子个营，-的名称。该各你可以包含个或多个半符：担第人符必须层学厚，其他签宁可以层字母成数字，名称中的益格符和换行符部没有亨义。此各名移州方标识。将元标认佩予个定义表是通过在标识后加一个等号（=后接定义列衣，敏后再加-夺号()来实现，这敏项语法规烈
一个或多个语法规则后约成一套生成缕性字符宁列的规则：这会划则叫做语达以续瑞宁花中作为其例所引人的论达婚元，现在可定义为下列之一！a）没有行字符，表示没有字对该加人到序列中。这叫版一个空,于列。6个方拓号，接个宗义列表再后接个行拦号（门，在示生成一个空序列或定文划GB/T19499—2004/FS014976:1998表中的一个子序列这做任厅列，）一个左人括号《后技一个定义列表再后接个石人活号（）.表示生家一个空序列或··系列准续的仁忘数以的了序列，其中闪每个子序列那是山定义列表生成的，这叫做·个重左序列，）-个左括号：)后按一个定义列表后接一个括号（>）表示由所括的定义列表所生成的征意子序列，这叫做个纠列
如前所法，一个元标认.表示山在一项指定范落法规则中的是义列表所小成的仟意子字列。e）
）加前听述，“个终消字卓，表水被抵起来的于序列、B）个间号《?)接若十文字再后接一个同与.表小日所起来的文字通过另外一种语高猫述的一个子序列因为它不能元语含自身所措述，这叫减一个特殊序列：学衍授号环足号（，）后接若下文宁再后接另“率量号和右拓孕（，）），叫做据号文本注群。这种法单人语法中后人影响其流未所模述意义，心关人工阅离提供了方。官可以在诺法中险元识、热数、持殊序列或终端率序以外的们点位学出现，除终端字申以外，或上拍能持格六不影响语法为含义，三1，以下是元语特环解号的总朱，前6个按2.2口所志迹的优洗级别自高低机列，此字到后面惠对的宇终件正
、一个整款之后，站定其的诉能基心在诺法匹于十业民的达效。任调云预中的诉法划外之的，
，在单一是义山分深则字山就的严达项。1在定义列表户需可洪样的个单一出义=在洛法越则中将定义列表与是义的元必识分隔可，践止录语法买则。
“和·或
“和”指出-江宁待以生成个降端等申表示所生成的部些学科（和·）揭起一可注择生成一个文本注样，路人工划读者诺供的即告别。（）活起一个安义求以生成一个成出序，在警他的北数学文上等这元泰奖题本，「起一定义以生复列，一个基以次重复多：【和”括题小定义月表以牛或一个序列，个研法示可以快安费仅很包含一次，？利：括起些文以牛成一个持禁别，一个评法出元来元话六以外的其他语自所推达，2.3附加规则
比数需要平多次，具休的重复次数政决下悼式中核先时的某季数的值。元诺中没有植述这种依頭关系的系款。在这钟博识下，就态敏被表示为重复序列，给出实际豆尽次激的那个垂效的名恐主紧跟法个文本社择给出。
个伯为1的实数被用来表小其实际值大祥的拟有。仅可能出虑在月期或时间中的不弹整数，用一米做原拟侦
2，学元标识出成在循号文个样市时，以料体学3印，注3，在定义实验权数展块的语亿从则一，宇义划更甲的有*元穿限效据采廉计详机中的一个所单变整或数组变，安式能个一个十13的C
换行等符注合底的效因车得消的子序列友量读了序为牛成一人润的整数或实效，以示所保的要他法等数的本下申，个光然识目“！造定的京义确的成短得构成，必为可出具适号文本注评进以加以说明，首先脂出实整和效整块解项法规期，然石按字助序给出其余的咨项压法现则2.4格式
exnerimrnlx实验·1-furma::dcetifieri+格式标让x，institutionidalifir机构只！：stermadedeatier器型号标
oncraro:ideifiex者际讯
expe-itrent identitier「*验尔识→?tumberoflnerincomment《x注释的数+）：xinrhut Lire*注释+
GB/T19499—2004/1N() 14976:1998（cmeitlin出玩的饮数由前面nunderofinesncmanienr坊给出。注择以今分器如近一次校止市。，）expcrimentmode（x实验方式），srmrle（扫描模）
_numherof speiralegir（谱区间的个整#）（x一股来说，一次实验中只用到种测减技术，但起可留为多种，pctra！regu的是所有各种测试意术各自的增周区间散的总和。仅当erermende信MA，MADRM”和S时身会插人ffleg：）
numberof aalyaispsitions散
Tlunberofdiacretexcoordiralesuviilebleinullmapt*在全帮雄元求限有效的离改坐标数*）
nunherferenli-ravailaofullp在全二元家像中有敬的离带”坐标数+！
（以项当日仅当的位MAP成“MAP被择人意芒nmberof ainrecrdiuresinfutmapnhuf diarayrurrtinaminfnl/mey的通称大numberntanatyxispositiuns的值时,二维元效像中的某些点位将为本山。）atmberafexper.mamalvariabes(S验i)？“实验必量是指那其在间激据放十保持相定，仙在登个实验中不间数提快叫可不相同的参数，》），
!experimenu」variable.abel:*实验变量标志*），txperimentelariahleanis(·实验变过单价）（-以二风项出现的次教由前面的mmher a ezperinental zuriales 的值给出，+)
*',car-iage retumt *国车+,
numbcrofmuallyenered;emsi:block!数中于1输人条月微*），irefixmnlernfmanallyertereditem（·丁上输人条H的前缘教x）：(pefarrintberrfmaraullymerrdxrm的当B次效til前丽nmiteramatawtyettereaiemsinrbtock的值给出：如来然偿大于等，5收出现的rrficnumerof以uenem的伯递的顺序，定义bo的估法证则中所有市探推者人工链人的效据项之前的位牵扫号的前经消部应收人此划表中，芋有用实数表示的数遇典而探作者不储是供核预的值，测计算机成摘人值1E37，*，number of futureupg-ade experinent entric·待级实验多日款*）mnburffuurupgadebleekenrieat诗升级激满庆杀日效）（，在将来.本拍式因升级而知人史多的不可选，不年的蒙数时，abeu！fururpgdeerprrt Nnterie和nanfmnFurnrepgrdefiecenre:才有义这比新系教的个数应插人存此，以使旧程字能够挑过新数据中这些款的参数，同样，新程序也不会试图立旧数据中读及这些科禁效，日前这两项的值部皮收为率。,
GB/713499-2004/150 14976:1958:ulr:rmgradeexprrircn:en-y荐T级实验条月（xfutgraeeapeimea gry出的次想前m的irber offaurep-xret exrrime? enitrars 的值给出。方被定义为2e ite 这样，士未来开经的格式在此所插人的开忘ig或ee可按e读取后告弃。+），
nutrberot blocksi数据快效，
blk微据+-
（×改号后型空产列又录一个分两符，表示这里至少要有一个数说块感的改教由前而的问给出，，
exe·ienlterina（×实验终止符；sluck+bloekientiier（·数庭块标识x）教据块>
sam>e idemifier：×样品标以× ),1ycarnfell，公元年坐余你汀
（元安3：）
(*2 *[tonth(*片→)_,
<+3 x)[day ef nom:(+H+]
1* = * [horsl *时*]
（小时制时：
+\ ? *+ 「ninutes(+$+.
[ecenax
（*若面六项中让一项的值不可知，购应输人一，作感核伯，×），t*)
厂nmherfirniuiviGreenwiciMeanTirn（与格树威冶标准时间的时衰x)
[numberoflne.nhockcor.nent(x快注中的载：）+8
(→*eummen linet+
+n山现的咨数山前面的nrnefeywocemmen的伯给出，-，（x，）lierhniae（谢诚蒙术*_[n )「x coordunae(x)
（从1无始关点降小的点消激发源的扫猫偏转方向范顺节数。，），*1c+）nordnt+y坐-门
（x从：并的，点所中的点消激发源的》也描偏转方向的赖序数、当收ex的为“M或MAP时上两特将链人：：），:+ ? (v:le [ xeramma, variaalt+实验变以+):【两如，【e可以无以秒为单位总时间，以秒为羊位的总戏财叫以高为单内的急的所量，以为单的温度，以心了伏特为单位能或以是于质可单拉为单位的质景，当效此变量的伯随时创经慢受化时孩变量的值亚为始记最本数提缺数据时的恒，降非在ermetaratae！中有说明eoape-mamrnt现散主国的mberexrinemalriaoe的油给其序与的的ermear和emn
25的相司，，
(12）Eaalykit,Ny uel源标志+-GH/T19499—2004/SO149761998
（1）amerinioioatocura（时离的原丁激）（13*mbuuftuusinputteringionorAompartisletxwg离或原一粒永的数+
（[s）sput;erinkio: or atora charge sign and numhc*射离了或原可电的符号和效日→expenmenmnde的值MA>，A，DPS[成2rhnar的信为“AMSFAMS TUTHy e[SS，SIMS',SIMSenerAyspee，SMs或sNMsneTypEe，以上项f.*,（14）[nualyaisswurcharacteisticenrgsx分新源的特征能盘）（以吗了齿特单的能是）
［analyissoust:ength<+分断频的孙度+](xx)
（+对于XPS和XRF以单险的功率：+AESEDN1SS.SMS和SVMS以塑安单位的束流值，对于AHV当量求流。+：（××）Laysurcebmwidx+分折额xJ尚东*（+择而上源大在与之5直为平面中的完度，以说米为单产，4）（lanmwidy分板想方向求宽）
（x样品上源事产与之吾的平而心的需，以效米为单位，x）_fcld of ricwx（x序向物场
* 17 +
（以微米为单位*
17）eld icw y+y南现
（以微米单位，
当仅与ma的值MA，MA，MaMAs
“SEM时以上两项才被折人。，
3）［irrlneseanaarxcoordinae第能扫描x坐称（xiIusuut，urdinet=第行践措y起始半杯（，1g）iratLnexcantinishxrdina1-*第—行载扫描x终止坐（+lg）firatLnesranfimisycortlinater第-扫描y终止坐标+），(*1*1lestlisanfiishxeaorcinaa装束行线拓描x终止标×）,（a）laatlinanininb，nli-rt结束行线扫描y终止坐标）（，当H仪erimenmede的值为“MASV，MAISVD”SFM'，以六才被承人
它门数用下给口维元款像的人小与形状.以及样品上各采样点的拉排字，如下图所示，在所使用的半标系宁，x值在扫借又域中自左向山1递沿->：1猫区域宁上向下山逆地，
(×15-
anlssslurulttngleuineidercet+分新源人射越角（*杆对于4台坐标系可F内×轴的角度.以度为单位，），(* *」 ,_analy5is sat.rre z mih ×分新源方位师 （*减时计方问折于样品台坐标系的勃方向的角望，以度为单位，，）：21 +）analyer mrlr分bi器漠式x,GB/T:19499—2004/1012976:1998（*22*）［auyra+plinyarretarlntinTInssealion分析器通能成城速比或质量分（×能量以电子优特为单位，质量以原子质量单位为单位。，）.fx25+）1diferentialwidth（*做分宽座#）（以电于恢特为单位的调制正些波或让算机敲分处理的样一师值。当且仅当tchiqe的值为Asdi时diferenid才将人（*24）［magaificatianafaaalyaertansferlens(×分析器传输谨镜的放大铲整×]（×25*）lunalyrwurkuretionuaecpinnweeneryofatomuriau(+分析通出功或原子或骗了忙提受能
（ASELS，ISS，UPS和XIS的情下是为正值的逐出功。在AS，STVISSNMS的性况下，鸡子的接受能足质诺收能量过法器的通能，*，*26\s*偏
（rgeta以优特为单位,含有将。+，2 d x×克分析宽度
(+ 对于 FABMS FABMS enersy apee, FSis, SIMS, SIMsi enetRy spex. SNMS 和SNMSHerYmevaswifr是被场阐所限制的激发源末在栏品台.与源末重自的半而中x向的需发，对AES，AFSdr，ET.S，TPS和XP是分析露获建长除以分新器电子改榜的或大管率所得的值，测于EX和XRF，其激发酸总在×力问的贺我，nalystswidh的单位米，，），(* 27 ×）amulyri. wit.il y ×方间分析宽变*)（类似a组是对间而言，，
（*2x）Laralyseraxiaakeotpoararglw分辅向飞离极）（相对于样品台坐标系中向上的轴为向范自，以为单位，*），（28）nrrilypruxislzimuth分折器轴向飞岛方位角）（收时为向对于件品台些标系的辅方间的角度，以或为单位，，（2）［specesabel物质标志）
（→元豪符号或分子式．→），*）rarli>rhrhulab（族迁或荷电您标志（*例AFSKILXS中的1SMS4的*”，*），charge af deteclel pzrlisier 获检划较的有*【*例，对于AES和XPS一1对\止离子的SLMS-[，:* 31 -)
L*摘垫标的标志
（×31*）abacisunits+核坐标单位*）（）a杯起点
（*ibast'sa iruume坐标老革→，*当且复当m的值为REG\AR时，以上四顺才净放插人：），[lserofcercingarishles对应变数(:32 x)
（当效据的形是两个或多企量拍腔教组时er，esoaingriae等“建尺的个数本则具位为1。*]，（432*）corres2ondingantlbel对应安量标忘），（2x）correspo:ndingeriableunts+刘座单（丽两项出现的达数由前a的unerwrpoinganiuole的值等出：+）（**）［心信号模门：
）Lsnaltion time*信采时间
GB/T:1$499--2004/ISO1497E;1998（+除EIX和XR中足谐图总的采集时间外则每通道或一组点阵中每点，均为每单次们措的采集时间，以秒为单位：*），(［ntmberafcanancamitel[uk巡成孩效艳块的扫播次效+（3e）sigralmeuorcetim*信号间正*力（*除了在EX和XRI中活时州按准的采东时间以外，本负均：整系统的死时间。在表示死时的情说下，正值表示教半应通过除以（1一meaauredrace×aeadtiae）来控正：负值表示应通过以xteeuradedm米校正。者谱图数据色经过北间微正，州此处坚值为零，而所用的死时同的值要在法释行中成别处给出。gnetmecrerit的单位你，x，
(*3?*)
m'rrngsreeererg+射题铺量
（*以出了伏持为单位的能量。*），(+3+)
sputerngaurcebatuen源东
（*以纳安为单控的或流，或对于中性粒子显当量流。），.11.eirNn.rrswidihx【*微源方向宽座>(+ 37 +)
（*详品分上与照射源束垂直的平面中的充度.以微米为单位：*），sputteringsourcewiuthy（能源方向宽）（一样品台1.与射源束垂直的平面中的宽度.以微米为单位。），4 32 *)
xeringrerla\glefiacidence（活射源入射极角（4相对于件品台生标系中间上的担为向的角度，以度为单位。*了：(*)
（原时台方可相灯于样品台牛标系的轴方的户度，以度为单，+），【*37sp.itterimolet+徽射模式）（spattrnemn约值为ntimm（来集治图数据的同时持续溅射），或为“cylc果集语图效据时智停能射
以上七是关十射源节，是对分析源补充，用于如探度制析.AESdiI.AESdI、EDX、ETS.ETPS.XPS和XRF
以上-单当且设下面两个条件部满足时才变括，】的值为*S\AESdir，EIXELSLPS*XSXRF2)permd的值为MAPDP，\MAPSVDP'‘SDP'或'SDPSV\.*（lemalrpil：【*样品祛线帆极角（相于坐标系中的向的角，度为单位。，（3g）sampienarma：tiltazimuth，x样品t线随斜方位角x）（领时针方向相对于详品台坐标态的！轴为向的第度以历为单位：，，33
［sampl=:otat:onarglp*样品旋转角度*】]（×顺时针方向常样品快载施转的币度，以度为单位，若是用对丁品药某一特定方间的角度，则该方向氮在第8实的行中给予定义，）（）
[rumhernft'rinal tmrirparumefers*附放子参数>了（）additisnalnamerica]Parameter[ahrl附加效字量标志-：（g）aldiznrulaumerica]puraneteruniis数字参盘单位）【4！dilumliaercrel教量
（，上一扭三个数据项的出现次数也前面umbherofadaitioatnumerialperame的卒山。，
GB/T19499—2004/15014976:1998ltuureupgiarlellmkhrryt约升级数地块条口+）：（xftuupgradeorktry的出现次数山前面umberoffutareugAradebigke的值给白：它被定义为一e选，由等升级的格式在此所插人的生意eger,regi ntmbrr 或mrr tim 按 rzt lize 读版后弃。+,mnlerfurdinutevelea（标拍的总效）+ambernurfimraaes的信等于mmherofcorrespowdingwabtes值和安输的对应变量（earrepnnlingv.rb)组的个散的积，+）：:mnimumu:dinate.uci+量小然坐标值xmax.mumordinatevalue(+最大纠坐标佰*：二应两个数据出现的次效自前面o节值给出。现的限字与前再给出orresondingwruoieeoet值的期产，Tardinaeal坐值
rzinuteube品关次数由前面nnn！rrraretues的信给出。若umencnpomtinwriates的值大于，到激据师以达续药栏妇发这，每个数据组包含与末一讨应生录对应的标值，其序与前而给出每mw值顺产科同，
减与是跟率字别表示这单坐须至少有-个纵半标追。x）：bscisaincremen*黄坐标增量×）=实，x相大的单位详见ahcinsustart下配的表，xbisabel环标志×）-文本行！
Luisuamrl微生标始点x）=实数：ahsaissaani:s*概坐标单位）=单（表列了对济nrhin和eperimmode取伯时abssissaunar的通常取值，没谢考。
对十术向分钙测效术的半位
实验方式
AES if, AFS dir
EDX, EL.S, ISS,
PS.XPS.XRE
FALMS. SIMS.
FAavs rzergy apre.
SiMS endrgy sgler,
SvMS ergy avee
dditionainuceialr：u时装文
a:ldinianalnumericalperemrterunis（+限ri数字参星单信+=总位：aditonltmesiualri.eerele附激学量位）实数：Enulyuxia：aximthx分新能飞需位用+）实数；xpuarang分器向实数
analysemrde(分新器模*='FA-ksonstantdeltamconataalrita m' ,车:
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