【电子行业标准(SJ)】 倒角机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
倒角机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
SJ/T 31099—94
本标难规定了8614型和SVG--11型倒角机的完好要求和查、评定方法。本标准适用于集成电路生产用倒角机。2完好要求
2.1性能
阈角机的性能、加工精度应能满足生产工艺要求，质量达到规定指标。生产效率应能达到设能力的90%以上。
2.2操纵系统
2.2.1各操作按钮启动灵活可靠，标志齐全，平面定向盘调节自如。2.2.2各传感器限位装置齐全，灵敏可靠。2.3传动系统
2.3.1步进工作台传送架运行可靠，丝杆传动及皮带传送自动上、下料工作正常。2.3.2主轴.上、下运动，自动转无异带声响。2.3.3园片定中心机构定位准确，导轨通道工作平稳，滚轮传动无异常现象，砂轮臂运动可靠。套径微调、粗调灵活准确。2.4气路系统
2.4.1气路系统各元件动作灵敏、可靠，各部压力应在设备设计范用之内。2.4.2气路系统中失压和过压保护必须可靠。2.4.3汽红安装位留正确，工作平稳，行程到位。2.4.4各电磁阀，流意表头工作正常。2.4.5各气路及真空接头牢固，无漏气及漏真空现象。2.4.6真空室密封好，防止倒角甩干片时圆片脱落，真空过滤器工作正常。2.5电气系统
2.5.1电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示证确可靠。各种线路标志明显，联接可靠。线路无破损老化，保护装置齐全、有效。2.5.2电气系统装置齐全，管线完整、性能良好，运行可靠。2.5.3设备故障诊断工作正常，程序设定放运行正常。2.5.4各传感器工作可靠，面板显示齐全，正常按钮开关灵活可靠。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6自动控制系统
SJ/T 31099-94
2.6.1主控单元、元器件性能可靠，运算正确控制软件功能齐全·自检程序运行正常。2.6.2位置控制单元，速度控制单元，连接单元的元器件性能可靠，定位推确，运行平稳，各控制信号和控制回路畅通。
2.6.3手动数据输入和显示功能齐全、有效2.6.4何服出机运行平稳,噪首、温升符合电机出指标.工作可靠，2.6.5手摇脉冲发生器动作灵敏，到位推确，2.6.6程序输入/输出装置保持清洁，输入/输出程序正确无误2.6.7控制柜内部清洁，布线整齐、线路无老化，各线路标志明显。2.7安全防护
2.7.1各安全防护装置牢固可靠，齐全、完整。2.7.2外壳接地可靠、安全,标志明显。2.8维护保养
按SJ/T31002—94设备继护保养通则执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
完好要求中，凡有参数要求的条款，应运用相应检测器具测定；其余在设条现场，采用主观法检查。
3.2评定方法
3. 2. 1主要项目有 2. 1,2. 2. 2.2. 5. 3,2. 5, 4,2. 7. 1~2. 7. 2。其余为次要项目。3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备+次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本准由电子工业部经济运行与体制改革司提出，本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。本标雅士要起草人：徐海祥、顾军建、周惠文、吴正伟，臃祖熙。2bZxz.net
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