【电子行业标准(SJ)】 TDH－4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
TDH、4C4TO型去飞边机
完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
S.I/T31097.--94
本标准规定了半导体集成电路生产用TDH-4C4TO型去飞边机的完好要求和检查、评定方法。
本标推只适用于TDH-—4C4TO型去飞边机。2完好要求
2.1要性能指标
传递速度：1~2m/min，可调：
火具宽度调整误差：士1mm；
喷叫移动数（往复）：145+5次/min；c.
喷咀移动幅度：40mm;
e.集尘能力（粉尘粒度10μ以下)：2.2操作系统
3kg/h。
2.2.1各操纵开关、按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全2.2.2制动、限位装置齐全，灵敏、可靠。2.3传动系统
2.3.1机械传动键轮、链条运转正常，键条张紧度宜，传动平稳。2.3.2引线框传送导轨位置正确，无卡、滞现象。2.4气路系统
2.4.1各气缸、电磁阀性能良好，工作平稳、行程到位，不应有停滞和爬行现象。2.4.2气动系统各元件动作灵敏、可靠。2.4.3压缩空气管道，真窄管道整齐、清洁，各接头、阀门元件之间连接牢固，密封性好，无漏气现象。
2.4.4各喷枪固定位置准确、牢固可靠2.4.5各气体压力表、流量表性能良好，指示灵敏、准确，误差在规定范围内，且有有效期内校验合格证。
2.5电气系统
2.5.1电气性能良好、运行可靠，保护装置齐全、有效。中华人民共和国电子工业部1994·04-15批准1994-06-01实施
SJ/T31097—94
2.5.2外部导线布线整齐，绝缘层无磁裂、老化、漏电现象。2.5.3电气控制箱内布线整齐、清洁；各指示灯齐全、无缺损，指示正确、可靠；各种线路标志齐全、明显、正确，各端子连接牢固无松动，2.5.4各种接触器、继电器等器件性能灵敏，动作可靠，线路板整洁，接触可靠。2.5.5各光电传感器灵敏、可靠、无误动作。2.5.6各种仪表完整，无损伤，指示灵敏，可靠，误差在规定范围内，有有效期校验合格证。2.6附属装置
2.6.1粉术发生器性能可靠，工作稳定，集尘能力达到规定技术指标要求。2-6-2粉末贮存器密封性好，吸尘可靠，无泄漏。2.7安全防护
2.7.1设备保护盖板、挡尘板齐全、无损坏，固定牢固、可靠，作用良好。2.7.2各种联锁、报警装置性能稳定、灵敏、可靠。2.7.3设备接地可靠，标志明显。2.8维护保养
2.8.1粉未发生器应及时清洗检测，保持良好性能，粉未汇存装置应按时清理，检查密封性能。
2.8.2其它按SJ/T31002-94设备维护保养通则执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
完好要求所列内容中，凡有参数要求和条款，应运用相应仪表检测，其它在设备现场，采所主观法检查。
3.2评定方法免费标准下载网bzxz
3.2.1完好要求中，2.1各项指标和2.2.2、2.5.5,2.6.1、2.6.2、2.7.1~2.7.3为主要项目，其余为次要项国。
3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二项不符台要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制攻革司提出。本标准由中国华晶电子集团公罚组织起草。本标准主要起草人：顾军建、张家明、吴正伟。2
TTTKAONTKAca-
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。