【电子行业标准(SJ)】 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法主题内容与适用范
SJ/T 31095—94
本标准规定了半导体集成电路牛产用附瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查评定方法。本标准适用卡KIKO型劈儿研磨装置，结构类似的其它型号的劈刀研磨装置，亦可参照执行，
2完好嘎求
2.1+要技术指标
2.1.1牛要性能指标完好要求和检测方法、检测器具，见表1。表1
检渊须日
矿磨小孔范围：20um~
p1Gogm
电转速分别为：300r/
nir,1000r/min
是时关机时间
研磨头架上、下升降转速
完好要求
加误差：三-pm
误差±3%
f0r/min,108r/min
主要几何精度完好要求和检测方法，见表2，表2
检领日
研磨头架升降
对工作台的垂
完好要求
检测方法
检测方法和检测器具
加工零件在高倍显微镜下进行检测按实视误燕计。
用转速友进行检汇！，按实测计算足否在允差范围内。
设备现场测试。
用转连炭检测。
在工作台上放一为箱或角
尺，并校正方籍或弟尺与升牵
导轨的平行度.将谐示器固定
在研瞻头架主轴端部,使其测
头触及方或角尺测面，升
降义架至最大行程。
指示器在升降过程中读数
的最大差值为压真度误率。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准茶
1994-06-01实施
检测项目
研磨其回转装
夹重合度
2.2操作系统
完好要求
S.I/T 31095—94
续表2
检测方法wwW.bzxz.Net
游指示器固定在工作台面
上，使其测头融及装夹置，
璇转研磨头轴进行测量。
误差以指示器读数差值之
2.2.1各操作开关启动灵活、定位可靠、标志齐金。2.3传动系统
2.3.1设备运转平稳，无冲击、无振动。2.3.2变速机构齐全，灵活可举。2.4电气系统
2.4.1电气性能良好，运行可靠，保护装置齐全、有效。图
2.4.2电源指示灯完整、齐全、电气箱内线路完好，绝缘可靠。安全接地可靠。2.5安全防护
2.5.1各防护罩齐全，完整、可靠、安全。2.6维护保养
按S[/T31002—94设备维护保养通则》执行，3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1主要技术指标完好要求见表列进行检测，其它项目均为主观检查，3.2评定方法
3.2-1主要项回有2.1.1项，2.1.2项，其余均为次要项目示
3.2.2主要项日有一项不符合要求为不完好设备：次婴顶目有：项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电了工业部经济运行与体制改革司提出。本标准出中国华品电子集团公司组织起草。本标准主要起草人：赵查寿.未文晓、吴正伟、顾军建。TYKAOIKAca-
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