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- SJ/T 31156-1994 磁控管排气台完好要求和检查评定方法
标准号:
SJ/T 31156-1994
标准名称:
磁控管排气台完好要求和检查评定方法
标准类别:
电子行业标准(SJ)
标准状态:
现行-
实施日期:
1991-07-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
67.42 KB

部分标准内容:
中华人民共和国电子行业标准
磁控管排气台完好要求和检查评定方法生题内容与适用范围
本标准规定了磁控管排气台的完好要求和检查、评定方法。本标推适用于牛产控管用排气台,本标准不适用于其它产品的排气台。2完好要求
2.1主要性能
磁控管排气台的主要性能指标如下表所列。阳极电压:Www.bzxZ.net
二栅电压:
一糖电压:
热丝电压:
极限真空度:
2.2操作系统:
0~2000V;
0~500V;
↑~±100V,
5X10-Pa
电瓶:
电流:
电流:
各操作开关、按钮、启动灵活,定位可靠,标志齐全。2.3传动系统:
设备运转平稳,无冲击,无振动。2.4润滑系统:
升降机构润滑系统完好,管路齐全,油路畅通。2.5电气系统:
2.5.1电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效,2.5.2线路宏,绝缘层无破裂,无漏电现象。2.5.3各种仪表指示正确,无误、有效期内校验合格证。2.5.4电炉烘箱电热丝固定,牢固可靠。0~500mA
C~25mA
0~-1UmA
O~-1OmA
2.5.5各级电极夹头应有明显标记,线夹接头处应牢固无松动现象。2.5.6调压器,继电器开关接头牢靠,动作触点接触良好。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准SJ/T 31156--94
1994-06-01实施
2.6直空系统:
S.J/T31156—94
2.6.1机械泵,扩散泵、达行正常、可常,机械泵完好要求参照SJ/T31412一94W型其空集光好标准执行。
2.6.2真空管道,阀门应密封良好,不许有渗漏现象,2.7安全防护:
2.7.1各安全防护装露齐仑,可靠,2.7.2接增可靠标志明显。
2.8维护保养:
按SJ/I31002--94《设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3. 1检查方法
3.1.1电压,电流用设备上的电压表和电流表逃行检查3.1.2极限真空度可检查预抽机械泵,扩散泵1h后看真空度是达到:5×10Pa.用电离真空计检查,
3.1.3绝缘性能用兆欧表检查电。3.1.4其杂项日完好要求所列内容用主观法检查,3.2评定方法:
3.2.1主要项用有2.1,2.5,2.6.3.7项中所列备条,其余项日为次要项3.2.2主要项可有项不符合要求,为不完好设备;次要项同有二项不符合要求,亦为不完好设备。
3-2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标。附加说明:
本标准由电子工业部经济达行与体制改革司提出,本标准由上海市仪表电试工业局组织起革。本标准主要起草人:正止方。
KAONKAca-
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磁控管排气台完好要求和检查评定方法生题内容与适用范围
本标准规定了磁控管排气台的完好要求和检查、评定方法。本标推适用于牛产控管用排气台,本标准不适用于其它产品的排气台。2完好要求
2.1主要性能
磁控管排气台的主要性能指标如下表所列。阳极电压:Www.bzxZ.net
二栅电压:
一糖电压:
热丝电压:
极限真空度:
2.2操作系统:
0~2000V;
0~500V;
↑~±100V,
5X10-Pa
电瓶:
电流:
电流:
各操作开关、按钮、启动灵活,定位可靠,标志齐全。2.3传动系统:
设备运转平稳,无冲击,无振动。2.4润滑系统:
升降机构润滑系统完好,管路齐全,油路畅通。2.5电气系统:
2.5.1电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效,2.5.2线路宏,绝缘层无破裂,无漏电现象。2.5.3各种仪表指示正确,无误、有效期内校验合格证。2.5.4电炉烘箱电热丝固定,牢固可靠。0~500mA
C~25mA
0~-1UmA
O~-1OmA
2.5.5各级电极夹头应有明显标记,线夹接头处应牢固无松动现象。2.5.6调压器,继电器开关接头牢靠,动作触点接触良好。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准SJ/T 31156--94
1994-06-01实施
2.6直空系统:
S.J/T31156—94
2.6.1机械泵,扩散泵、达行正常、可常,机械泵完好要求参照SJ/T31412一94W型其空集光好标准执行。
2.6.2真空管道,阀门应密封良好,不许有渗漏现象,2.7安全防护:
2.7.1各安全防护装露齐仑,可靠,2.7.2接增可靠标志明显。
2.8维护保养:
按SJ/I31002--94《设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3. 1检查方法
3.1.1电压,电流用设备上的电压表和电流表逃行检查3.1.2极限真空度可检查预抽机械泵,扩散泵1h后看真空度是达到:5×10Pa.用电离真空计检查,
3.1.3绝缘性能用兆欧表检查电。3.1.4其杂项日完好要求所列内容用主观法检查,3.2评定方法:
3.2.1主要项用有2.1,2.5,2.6.3.7项中所列备条,其余项日为次要项3.2.2主要项可有项不符合要求,为不完好设备;次要项同有二项不符合要求,亦为不完好设备。
3-2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标。附加说明:
本标准由电子工业部经济达行与体制改革司提出,本标准由上海市仪表电试工业局组织起革。本标准主要起草人:正止方。
KAONKAca-
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