【电子行业标准(SJ)】 磁控管排气台完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
磁控管排气台完好要求和检查评定方法生题内容与适用范围
本标准规定了磁控管排气台的完好要求和检查、评定方法。本标推适用于牛产控管用排气台，本标准不适用于其它产品的排气台。2完好要求
2.1主要性能www.bzxz.net
磁控管排气台的主要性能指标如下表所列。阳极电压：
二栅电压：
一糖电压：
热丝电压：
极限真空度：
2.2操作系统：
0~2000V;
0~500V;
↑～±100V，
5X10-Pa
电瓶：
电流：
电流：
各操作开关、按钮、启动灵活，定位可靠，标志齐全。2.3传动系统：
设备运转平稳，无冲击，无振动。2.4润滑系统：
升降机构润滑系统完好，管路齐全，油路畅通。2.5电气系统：
2.5.1电器性能良好，运行可靠，保护装置齐全、有效，2.5.2线路宏，绝缘层无破裂，无漏电现象。2.5.3各种仪表指示正确，无误、有效期内校验合格证。2.5.4电炉烘箱电热丝固定，牢固可靠。0~500mA
C~25mA
0~-1UmA
O~-1OmA
2.5.5各级电极夹头应有明显标记，线夹接头处应牢固无松动现象。2.5.6调压器，继电器开关接头牢靠，动作触点接触良好。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准SJ/T 31156--94
1994-06-01实施
2.6直空系统：
S.J/T31156—94
2.6.1机械泵，扩散泵、达行正常、可常，机械泵完好要求参照SJ/T31412一94W型其空集光好标准执行。
2.6.2真空管道，阀门应密封良好，不许有渗漏现象，2.7安全防护：
2.7.1各安全防护装露齐仑,可靠，2.7.2接增可靠标志明显。
2.8维护保养：
按SJ/I31002--94《设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3. 1检查方法
3.1.1电压，电流用设备上的电压表和电流表逃行检查3.1.2极限真空度可检查预抽机械泵，扩散泵1h后看真空度是达到：5×10Pa.用电离真空计检查，
3.1.3绝缘性能用兆欧表检查电。3.1.4其杂项日完好要求所列内容用主观法检查，3.2评定方法：
3.2.1主要项用有2.1,2.5,2.6.3.7项中所列备条，其余项日为次要项3.2.2主要项可有项不符合要求，为不完好设备；次要项同有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3-2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标。附加说明：
本标准由电子工业部经济达行与体制改革司提出，本标准由上海市仪表电试工业局组织起革。本标准主要起草人：正止方。
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