【电子行业标准(SJ)】 FLB型复合真空泵完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
FLB型复合真空泵完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了FLB型复合离了泵的光好要求和评定方法，本标准适用于FLB壁复合离了泵，2完好要求
2.1主要性能
2.1.1极限压强：3×10\Pa,起动压强1Pa气速率：700~.1000L/5
2.1.2灯丝电流:7.5～104,栅极电E600~800V;冷泵工作电压：50006000V；
磁场强度：1300T(特斯拉）；
2.2操作系统：
2.2.1泵工作电压调节平滑、轻便,调节过程平稳，死冲击，无振动，SJ/T 31157—94
2.2.2与复合泵配台使用的CD一j50型、CID--j20型超高真空阅门和DJT盈裸式规管等应操作方便、灵活.密封性能良好。2.3电源系统：
2.3.1录工作电源刀、关灵活、可常，电源技术指标应满足2.1.2的规定2.3.2电源系统应运行可靠，线路案整，手线绝缘层无破损，电源线路尤临时拖线，元器件无拖挂，电源漏电流不超过额定值。2.4安金防护
2.4.1泉工作电源的安全防应符合GB1793--84电了测量仪器安全双求》的规短。2.4.2电源应具有过电流保护装置H灵、有效。泵工作时外壳应与人地连接良好。2.4.3刀华器的口动测温、控温、报警装置灵敏、可靠，「作正带。2.5维扩保养
按SJ/T3100294~设备继护保养》通则执行。3检查、评定方法Www.bzxZ.net
3.1捡查方法
完好要求中，凡术性能指标及有参数要求的条款，应运用机应测试仪表检测：其它采月主观法，作设备现场检查。
中华人民共和国电子工业部1994.0415批准1994-06-01实施
3.2评定方法
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3.2.1完好要求所列内容中,2. 1.1～2. 1.2、2.4. 1~2. 4. 2 为主要项月,其余为次要项H。3.2.2主要项目有项不符合要求，为不完好设备！次要项目有…项不符合要求，亦为不究好设备。
完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由国营南京电子管厂组织起草。本标准主要起草人，赵志民。
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