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- SJ/T 31155-1994 P436型六位排气台完好要求和检查评定方法
标准号:
SJ/T 31155-1994
标准名称:
P436型六位排气台完好要求和检查评定方法
标准类别:
电子行业标准(SJ)
标准状态:
现行-
实施日期:
1991-07-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
76.81 KB

部分标准内容:
中华人民共和国电子行业标准
P436型六位排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了P436型六位排气台的完好要求和检查,评定方法。本标催适用于真空器件制造用排气台。2完好要求
2.1主要性能
SJ/T31155--94
排气台的性能,应能满足生产工艺要求。检查时,根据设备性能规定范围,结合产品加!.艺技术要求,对设备主要性能进行检测。排气台的主要性能完好要求姐下所列。a.按ZE一22管排气规范进行排气时,系统的真空极限压力不得低于4×10-\Pa;b。在初次工作时,扩散泵加热40min后.系统的真空极限压力应达到1.33×10\Pa;c。在连续工作时,高真空阀打开后10min内,系统的真空极限压力应达到1.33×10-2Pa:20min内,系统的真空极限压力应达到1.33X10-\Pa。d加热过程中,炉内被排气管在间一平面上,各点温度差不超过土10)℃,工作2h,炉外壁温度不超过70℃。
2.2加热系统
2.2.1在额定功率下,加热炉炉温在15min内,应由常温升至360℃2.2.2炉体内壁完整,无损伤、破裂现象:保温性能良好,炉外壁温度在规定范围内。2.2.3炉温自动控制装置性能灵敏,炉温及温升速度调节灵敏、可靠.温控精度不超过+10℃.
2.3操作系统
各操作开关,按钮启动灵活,标志齐全。2.4传动系统
2.4.1炉子升降机构应平稳,无阻滞、冲击和倾斜等现蒙,终点开关应可靠。2.4.2高频线圈升降机构应平稳,无班滞,冲击和倾斜等现象,联锁开关应可靠,保证高频线圜完全退出后炉子才能下降。
2.5真空系统
2.5.1真空系统密封良好,真空阀门开闭灵活、可靠。2.5.2真空管路连接紧固可靠、畅通。2.5.3真密泵运转平稳,无异常振动,无冲击。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6电气系统
2.6.1灯丝电源应在下列范圈可调电压:0~-80V;电流:0~3A
S.I/T 31155--94
2.6.2高频线圈中心与管子中心不同轴度不超过土0.5mm。2.6.3线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象。2.7安全防护
2.7.1各安全防护装置齐全、可靠2.7.2接(或零)可靠,标志明显。2.8维护保养免费标准下载网bzxz
按SJ/T31002—94%设备维护保养通则>执行。3检查,评定方法
3.1检查方法
完好要求中,2.1主要性能指标,运用相应检测器具检测,对各系统完好要求所列内容,采用主、客观相结的方法检查。
3.2评定方法
3.2.1完好要求中,2.1、2,2.3,2.3、2.4.1、2.5.1~2.5,3、2.6.3、2.7.1~2.7.2为主要项目,其余为欲要项目。
3.2.2主要项目有--项不符合要求,为不完好设备:次要项目有二项不符合要求,亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准。附加说明:
本标准出电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营南光机器厂组织起草。本标准主要起草人:王洪波。
TYKAONKACa-
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P436型六位排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了P436型六位排气台的完好要求和检查,评定方法。本标催适用于真空器件制造用排气台。2完好要求
2.1主要性能
SJ/T31155--94
排气台的性能,应能满足生产工艺要求。检查时,根据设备性能规定范围,结合产品加!.艺技术要求,对设备主要性能进行检测。排气台的主要性能完好要求姐下所列。a.按ZE一22管排气规范进行排气时,系统的真空极限压力不得低于4×10-\Pa;b。在初次工作时,扩散泵加热40min后.系统的真空极限压力应达到1.33×10\Pa;c。在连续工作时,高真空阀打开后10min内,系统的真空极限压力应达到1.33×10-2Pa:20min内,系统的真空极限压力应达到1.33X10-\Pa。d加热过程中,炉内被排气管在间一平面上,各点温度差不超过土10)℃,工作2h,炉外壁温度不超过70℃。
2.2加热系统
2.2.1在额定功率下,加热炉炉温在15min内,应由常温升至360℃2.2.2炉体内壁完整,无损伤、破裂现象:保温性能良好,炉外壁温度在规定范围内。2.2.3炉温自动控制装置性能灵敏,炉温及温升速度调节灵敏、可靠.温控精度不超过+10℃.
2.3操作系统
各操作开关,按钮启动灵活,标志齐全。2.4传动系统
2.4.1炉子升降机构应平稳,无阻滞、冲击和倾斜等现蒙,终点开关应可靠。2.4.2高频线圈升降机构应平稳,无班滞,冲击和倾斜等现象,联锁开关应可靠,保证高频线圜完全退出后炉子才能下降。
2.5真空系统
2.5.1真空系统密封良好,真空阀门开闭灵活、可靠。2.5.2真空管路连接紧固可靠、畅通。2.5.3真密泵运转平稳,无异常振动,无冲击。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6电气系统
2.6.1灯丝电源应在下列范圈可调电压:0~-80V;电流:0~3A
S.I/T 31155--94
2.6.2高频线圈中心与管子中心不同轴度不超过土0.5mm。2.6.3线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象。2.7安全防护
2.7.1各安全防护装置齐全、可靠2.7.2接(或零)可靠,标志明显。2.8维护保养免费标准下载网bzxz
按SJ/T31002—94%设备维护保养通则>执行。3检查,评定方法
3.1检查方法
完好要求中,2.1主要性能指标,运用相应检测器具检测,对各系统完好要求所列内容,采用主、客观相结的方法检查。
3.2评定方法
3.2.1完好要求中,2.1、2,2.3,2.3、2.4.1、2.5.1~2.5,3、2.6.3、2.7.1~2.7.2为主要项目,其余为欲要项目。
3.2.2主要项目有--项不符合要求,为不完好设备:次要项目有二项不符合要求,亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准。附加说明:
本标准出电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营南光机器厂组织起草。本标准主要起草人:王洪波。
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