【电子行业标准(SJ)】 P436型六位排气台完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
P436型六位排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了P436型六位排气台的完好要求和检查，评定方法。本标催适用于真空器件制造用排气台。2完好要求
2.1主要性能
SJ/T31155--94
排气台的性能，应能满足生产工艺要求。检查时，根据设备性能规定范围，结合产品加！.艺技术要求，对设备主要性能进行检测。排气台的主要性能完好要求姐下所列。a.按ZE一22管排气规范进行排气时，系统的真空极限压力不得低于4×10-\Pa；b。在初次工作时，扩散泵加热40min后.系统的真空极限压力应达到1.33×10\Pa；c。在连续工作时，高真空阀打开后10min内，系统的真空极限压力应达到1.33×10-2Pa：20min内，系统的真空极限压力应达到1.33X10-\Pa。d加热过程中，炉内被排气管在间一平面上，各点温度差不超过土10)℃，工作2h，炉外壁温度不超过70℃。
2.2加热系统
2.2.1在额定功率下,加热炉炉温在15min内，应由常温升至360℃2.2.2炉体内壁完整，无损伤、破裂现象：保温性能良好，炉外壁温度在规定范围内。2.2.3炉温自动控制装置性能灵敏，炉温及温升速度调节灵敏、可靠.温控精度不超过+10℃.
2.3操作系统
各操作开关，按钮启动灵活，标志齐全。2.4传动系统bzxz.net
2.4.1炉子升降机构应平稳，无阻滞、冲击和倾斜等现蒙，终点开关应可靠。2.4.2高频线圈升降机构应平稳，无班滞，冲击和倾斜等现象，联锁开关应可靠，保证高频线圜完全退出后炉子才能下降。
2.5真空系统
2.5.1真空系统密封良好，真空阀门开闭灵活、可靠。2.5.2真空管路连接紧固可靠、畅通。2.5.3真密泵运转平稳，无异常振动，无冲击。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6电气系统
2.6.1灯丝电源应在下列范圈可调电压：0~-80V;电流：0~3A
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2.6.2高频线圈中心与管子中心不同轴度不超过土0.5mm。2.6.3线路完整，绝缘层无破裂，无漏电现象。2.7安全防护
2.7.1各安全防护装置齐全、可靠2.7.2接（或零）可靠，标志明显。2.8维护保养
按SJ/T31002—94%设备维护保养通则>执行。3检查，评定方法
3.1检查方法
完好要求中，2.1主要性能指标，运用相应检测器具检测，对各系统完好要求所列内容，采用主、客观相结的方法检查。
3.2评定方法
3.2.1完好要求中，2.1、2,2.3,2.3、2.4.1、2.5.1~2.5,3、2.6.3、2.7.1~2.7.2为主要项目，其余为欲要项目。
3.2.2主要项目有--项不符合要求，为不完好设备：次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准出电子工业部经济运行与体制改革司提出，本标准由国营南光机器厂组织起草。本标准主要起草人：王洪波。
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