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- SJ/T 31153-1994 超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法
标准号:
SJ/T 31153-1994
标准名称:
超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法
标准类别:
电子行业标准(SJ)
标准状态:
现行-
实施日期:
1991-07-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
77.30 KB

部分标准内容:
中华人民共和国电子行业标准
超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了超高真空无油排气设备的完好要求和检查、评定方法。本标适用于超高真空无油排气设备。2完好要求
2.1主要性能指标
2.1.1内真空系统极限压强:3×10-\Pa:抽气速率:700~10001/s。
2.1.2外真空极限压强:1Pa。
2.1.3加热温度:450~680℃;升温时间:30±3mim。加热功率;2~6kW,自动恒温:优于5%。2.2操作系统
2.2.1各操作开关、接钮启动灵活,定依可靠,标志明显。2.2.2各制动、限位装置齐全,灵敏、可靠。2.2.3被除气工件上、下排气.1位方便、安全,且不影响真空系统精度。2.3传动系统
SJ/T 31153—94
2.3.1钟罩升降自如、轻便,限位准确,功能可靠;钟罩运行过程平稳、安全,不得有振动,冲击现象。
2.3.2各传动装置岑零、部件无松动、脱落现象,传动平稳,声响正常,无异常噪音和料动。2.4真空系统
2.4.1排气台所用复合泵或离子升华泵,带挡油阱的机械录,其技术性能指标应达到排气台技术性能要求。复合离子泵、机械泵的究好要求.按单项完好要求执行。2.4.2超高真空阀门和管道的密封生好,联接外固,管道整齐、畅通,无泄漏,阀门启闭灵活、可蒂。
2.4.3钟罩内加热系统升温均勾,温度控制系统工作正常。2.5电气系统
2.5.1电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效2.5.2电源启动、关闭灵敏、安全、可靠,指示齐全、准确、清晰。2.5.3线路齐,绝缘层无破裂、老化,滑电现象。2.5.4加热系统途行正常冷却水保护装置灵敏、可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6附属装叠
S.I/T 31153--94
2.6.1气路、冷却水供应系统全部装置应整齐、清法,运行正常。2.6.2各种仪表性能灵敏指示准确,有有效期内校验合格证。2.7安全防扩
2.7.1各种安全防护装贤齐全、完整、有效。2.7.2设备接地(或零)可靠,标志明显。2.7.3各种报装置性能灵敏,可靠。2.8维护保养
2.8.1设备停比工作时,内真空系统绝不能暴露于大气,应保证内真空具有定真空度。2.8.2其他按SJ/T31002·-94设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1性能指标运用真空计、热电偶、秒表等仪表检测。3.1.2对系统完好要求,·般采用主观法在设备现场检查。3.2评定法
3.2.1完好要求中,2.1.1~2.1.3、2.2.2、2.4.1~2.4.3、2.7.1~2.7.3为主要项日,其余为欢要项目。bzxZ.net
3.2.2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项H有二项不符合要求,亦为不完好设备。
3.2.3究好设备的护保养,应达到优等设备标准。附加说明:
本标准出电子工业部经济运行与体制改革可提出。本标准由国营南京电了管厂组织起草。本标准主要起草人:赵志民。
TTTKAONTKAca-
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超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了超高真空无油排气设备的完好要求和检查、评定方法。本标适用于超高真空无油排气设备。2完好要求
2.1主要性能指标
2.1.1内真空系统极限压强:3×10-\Pa:抽气速率:700~10001/s。
2.1.2外真空极限压强:1Pa。
2.1.3加热温度:450~680℃;升温时间:30±3mim。加热功率;2~6kW,自动恒温:优于5%。2.2操作系统
2.2.1各操作开关、接钮启动灵活,定依可靠,标志明显。2.2.2各制动、限位装置齐全,灵敏、可靠。2.2.3被除气工件上、下排气.1位方便、安全,且不影响真空系统精度。2.3传动系统
SJ/T 31153—94
2.3.1钟罩升降自如、轻便,限位准确,功能可靠;钟罩运行过程平稳、安全,不得有振动,冲击现象。
2.3.2各传动装置岑零、部件无松动、脱落现象,传动平稳,声响正常,无异常噪音和料动。2.4真空系统
2.4.1排气台所用复合泵或离子升华泵,带挡油阱的机械录,其技术性能指标应达到排气台技术性能要求。复合离子泵、机械泵的究好要求.按单项完好要求执行。2.4.2超高真空阀门和管道的密封生好,联接外固,管道整齐、畅通,无泄漏,阀门启闭灵活、可蒂。
2.4.3钟罩内加热系统升温均勾,温度控制系统工作正常。2.5电气系统
2.5.1电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效2.5.2电源启动、关闭灵敏、安全、可靠,指示齐全、准确、清晰。2.5.3线路齐,绝缘层无破裂、老化,滑电现象。2.5.4加热系统途行正常冷却水保护装置灵敏、可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6附属装叠
S.I/T 31153--94
2.6.1气路、冷却水供应系统全部装置应整齐、清法,运行正常。2.6.2各种仪表性能灵敏指示准确,有有效期内校验合格证。2.7安全防扩
2.7.1各种安全防护装贤齐全、完整、有效。2.7.2设备接地(或零)可靠,标志明显。2.7.3各种报装置性能灵敏,可靠。2.8维护保养
2.8.1设备停比工作时,内真空系统绝不能暴露于大气,应保证内真空具有定真空度。2.8.2其他按SJ/T31002·-94设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1性能指标运用真空计、热电偶、秒表等仪表检测。3.1.2对系统完好要求,·般采用主观法在设备现场检查。3.2评定法
3.2.1完好要求中,2.1.1~2.1.3、2.2.2、2.4.1~2.4.3、2.7.1~2.7.3为主要项日,其余为欢要项目。bzxZ.net
3.2.2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项H有二项不符合要求,亦为不完好设备。
3.2.3究好设备的护保养,应达到优等设备标准。附加说明:
本标准出电子工业部经济运行与体制改革可提出。本标准由国营南京电了管厂组织起草。本标准主要起草人:赵志民。
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