【电子行业标准(SJ)】 超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围wwW.bzxz.Net
本标准规定了超高真空无油排气设备的完好要求和检查、评定方法。本标适用于超高真空无油排气设备。2完好要求
2.1主要性能指标
2.1.1内真空系统极限压强：3×10-\Pa:抽气速率：700～10001/s。
2.1.2外真空极限压强：1Pa。
2.1.3加热温度：450~680℃;升温时间：30±3mim。加热功率；2~6kW，自动恒温：优于5%。2.2操作系统
2.2.1各操作开关、接钮启动灵活，定依可靠，标志明显。2.2.2各制动、限位装置齐全，灵敏、可靠。2.2.3被除气工件上、下排气.1位方便、安全，且不影响真空系统精度。2.3传动系统
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2.3.1钟罩升降自如、轻便,限位准确，功能可靠；钟罩运行过程平稳、安全，不得有振动,冲击现象。
2.3.2各传动装置岑零、部件无松动、脱落现象，传动平稳，声响正常，无异常噪音和料动。2.4真空系统
2.4.1排气台所用复合泵或离子升华泵，带挡油阱的机械录，其技术性能指标应达到排气台技术性能要求。复合离子泵、机械泵的究好要求.按单项完好要求执行。2.4.2超高真空阀门和管道的密封生好，联接外固，管道整齐、畅通，无泄漏，阀门启闭灵活、可蒂。
2.4.3钟罩内加热系统升温均勾，温度控制系统工作正常。2.5电气系统
2.5.1电器性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效2.5.2电源启动、关闭灵敏、安全、可靠，指示齐全、准确、清晰。2.5.3线路齐，绝缘层无破裂、老化，滑电现象。2.5.4加热系统途行正常冷却水保护装置灵敏、可靠，中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施
2.6附属装叠
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2.6.1气路、冷却水供应系统全部装置应整齐、清法，运行正常。2.6.2各种仪表性能灵敏指示准确，有有效期内校验合格证。2.7安全防扩
2.7.1各种安全防护装贤齐全、完整、有效。2.7.2设备接地（或零)可靠，标志明显。2.7.3各种报装置性能灵敏，可靠。2.8维护保养
2.8.1设备停比工作时，内真空系统绝不能暴露于大气，应保证内真空具有定真空度。2.8.2其他按SJ/T31002·-94设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1性能指标运用真空计、热电偶、秒表等仪表检测。3.1.2对系统完好要求，·般采用主观法在设备现场检查。3.2评定法
3.2.1完好要求中，2.1.1~2.1.3、2.2.2、2.4.1~2.4.3、2.7.1~2.7.3为主要项日，其余为欢要项目。
3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项H有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3究好设备的护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准出电子工业部经济运行与体制改革可提出。本标准由国营南京电了管厂组织起草。本标准主要起草人：赵志民。
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