【国家标准(GB)】 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定

ICS.77.040.01
中华人民共和国国家标准
GB/T17473.6—1998
厚膜微电子技术用贵金属浆料
测试方法分辨率测定
Test methods of precious metal pastesusedforthick filmmicroelectronics-Determinationofresolution
1998-08-19发布
1999-03-01实施
国家质量技术监督局发布
GB/T17473.6-1998
贵金属浆料是厚膜微电子技术领域的一种重要材料，分辨率是浆料的主要性能之一。目前我国尚未制定出浆料分辨率测试方法的标准，也未检索到该测试方法的国际标准或国外先进标准。本标准主要参照日本标准JISC5010《印刷线路板规则》及相关资料，结合我国贵金属浆料生产与应用实践而制定的。
本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计基研究所归口。本标准由昆明贵金属研究所负责起草。本标准主要起草人：张林震。www.bzxz.net
1范围
中华人民共和国国家标准
厚膜微电子技术用贵金属浆料
测试方法分辨率测定
Test methods of precious metal pastesused for thick film microelectronics-Determination of resolution本标准规定了贵金属浆料分辨率的测试方法。GB/T17473.6—1998
本标准适用于贵金属浆料的分辨率测定。非贵金属浆料亦可参照使用。2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T8170—1987数值修约规则
3方法提要
浆料用丝网印刷成图形。图形经烘干或烧结后，用显微镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距，进行浆料分辨率的测定。4材料
4.1光刻膜丝网丝径20~25um不锈钢丝网。4.2Al.0含量不小于95%、表面粗糙度为0.5~1.5um在测距为10mm的条件下测量）的陶瓷基片。
5设备与仪器
5.1半自动厚膜印刷机。
5.2红外烘干机。
5.3厚膜隧道烧结炉。
5.4读数显微镜，放大倍数25～100X，读数精度0.01mm以上。5.5光切测厚仪。
6样品制备
6.1在温度20~25℃、相对湿度45%~75%和大气压力86~106kPa环境下，用印刷机在基片上印出图形，印刷图案为与表1中的膜线宽度和线间距相等的五组4线条图形组成。图案乳胶层厚度为8～10μm
国家质量技术监督局1998-08-19批准1999-03-01实施
GB/T17473.6--1998
6.2将印有图形的基片水平放置5min，然后把基片置于150C红外烘干机内烘于，制得待测试样品1。试样1的烘干膜厚度控制在15~35μm。6.3将试样基片置于峰值温度为850℃的隧道炉内烧成，制得待测试样品I。试样I的烧成膜厚度控：制在10~25μm。
7测试步骤
7.1将试样「或试样I暨于显微镜台面上，调整目镜及物镜至图像清晰位置。转动显微镜手柄，从0.1mm线条至0.5mm线条之间，选择最先具有线条均匀连续和轮筛鲜明的一组线条作为测量对象。7.2转动显微镜刻度手柄，先后将显微镜内的十字坐标对准膜线两侧边，测量膜线宽度。7.3用同样的方法测量线间距。
7.4测量精度为0.01mm，膜线宽度及线间距图形见图1。7.5对同一浆料试样，每次测量的试样不少于6片。W一膜线宽度，W一线间距
图1膜线宽度及线间距示意图
8测试结果的计算及判定
8.1按式（1）和式（2)分别计算出每片试样线条组的膜线宽度平均值和线间距平均值：XaW.+W.+W.+w.
Xg-W+Wu+Wu
式中：Xa膜线宽度平均值，mm；Xg一线间距平均值，mm；
W.膜线宽度测量值，mm；
W.线间距测量值，mm。
8.2数值修约按GB/T8170的规定进行，取两位有效数字。8.3分辨率规格应符合表1的规定。表1分辨率规格
分辨率规格
膜线宽度，mm
线间距，mm
（1）
8.4当膜线宽度的平均值和线间距的平均值与表1相应规格的规定值的差值在土10%时，方可确定为相应规格的取值，差值超过土10%时，视为低一级规格并重新测量，8.5当6片试样全部达到同一规格时，方可确定该规格为被测浆料的分辨率。8.6当6片试样中有1片或1片以上试样的规格低于其余试样的规格时，应取低一级规格对相应的试2
GB/T17473.6—1998
样进行测量和判定，直到满足8.4条要求为止。9试验报告
试验报告应包括下列内容：
a）试样编号：
b）浆料名称、牌号和状态；
c）浆料批号；
d）检测结果及检测部门印章；
e）本标准号：
f）检测人及检测日期。
中华人民共和国
国家标准
厚膜微电子技术用贯金属浆料
测试方法分辨率测定
GB/T17473.6—1998
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开本880×12301/16印张1/2字数6千字1999年3月第一版1999年3月第一次印刷印数1-800
书号：155066：1-15494
标目366-39
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