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【国家标准(GB)】 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
本网站 发布时间:
1997-06-20 15:00:00
- GB/T16879-1997
- 现行
标准号:
GB/T 16879-1997
标准名称:
掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
1997-06-20 -
实施日期:
1998-03-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
KB
标准简介/下载
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标准简介:
本准则规定了在表示掩模曝光设备的精密度和准确度时应遵循的一般要求。掩模曝光设备的图形曝光精密度和准确度是通过测量制成的掩模来评估的,掩膜制造过程中的工艺条件对它有很大影响。所以,曝光条件应经厂家和用户双方同意。 GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 GB/T16879-1997 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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