【国家标准(GB)】 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂

GB/T16527-1996
本标准等效采用SFMT标准SEM1P3一90&硬而i感光板中光致抗蚀剂和出于束抗蚀剂规范》本标准第5章要求中5.2条和15.3条均按SFMIP3—90制定，且根据产品使用方的需要，增加了5.1条抗蚀剂涂层性能
SEMI标准是半导体设备和材料国际标准，具有较高的科学性和先进性，内容全面，标准配套。本标准与已经转化为我国标准的SEMIP1-92《硬面光掩模基板》(GB/T15871-1995）,SEMIP2-86&碳面光掩模用铬薄膜》（GB/T15870-1995）、SEMIP4-92&圆形石英玻璃光掩模基板现范》（GB/T16523-1996）、SEMIP6—88光掩模对准标记规范》（GB/T16524—1996）及准备转化为我国标准的SEMIP21-924掩模嗨光系统准确度表示准则》、SEM1F19—926用下成电路制造技术的检测图形单元规范》等项标准形成一个微型构图标准系列。本标准附录A是提示的附录。
本标准出中华人民其和国电子工业部提出，本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：谈仁良、昊保华、王亦林、韩艳芬。..com1范围
中华人民共和国国家标准
硬面感光板中光致抗蚀剂和
电子束抗蚀剂规范
Specification for photoreslst/E-beamresist for hard surface photoplatesGB/T 16527—1996
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电了束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标逛适用丁硬间感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。2引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标雅出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191-90包装储运图示标志
GB2828---87逐批捡查计数抽样程序及抽样表（适用丁连续批的检查）GB2829—87周期检查计数抽样程序及抽样表（适用于牛产过程稳定性的检查）GB7238—87玻璃及铬版表面平整度的测试方法GB723987铬版铬膜和胶膜厚度的测试方法GB/T15871—1995硬面光掩模基板GB/T15870—1995硬面光掩模用铬薄膜SJ/T10584-94微电子学光掩蔽技术术语3定义
本标准采用 SJ/T 10584 中的定义。4分类与命名
抗蚀剂涂层符合本标的硬面感光板基板应满足GB/T15871和GB/T15870规定的要求。抗剂的分类与型弓命名按附录A(提示的附录)规定，主要依据如下(订货文件中应予注明)a）抗蚀剂材料！
b）在质量区内抗蚀剂的厚度及其公差；c）整个质量区抗蚀剂的均匀性
d）板与扳之抗独剂的一致性：
e）抗蚀剂的焙烘时间和温度。
5要求和测试方法
5.1抗蚀剂涂层性能
国家技术监警局1996-09-09批准1997-05-01实施
..comGB/T 165271996
5.1.1抗蚀剂涂县厚度:400 m,500 nm,600 ntm。厚度公差参照附录 A(提示的附录)。5.1.2抗蚀剂涂层均勾性：士4%；抗蚀剂涂层一致性：十了%。
5.1. 3抗蚀剂的材料、涂层的典型技术参数见附录 A(提示的附录)。5.1.4抗蚀剂涂层厚度、均性及一致性的测试方法见GB7239。5.2质量区平面度
5.2. 1方型质量区和圆形质量区的区域见GP/T158711995中4. 2。5.2.2质量区内的有效平面度极限值按GB/T15871—1995中4.2。5.2.3平面度的测试方法见GB7238。5.3抗蚀剂涂层缺陷
5.3.1在质量区内应无颗粒、变色、慧星状、划痕和斑点等，使用超净台黄色漫射光用肉眼检查。5.3.2在强的(^>520 nm)平行光下,检查出的一些缺陷是允许的,表1和表2中分别给出了圆形质量区和方形质量区内缺陷的大小和每种类型所允许的缺陷的数景，缺陷数量包括铬膜、抗蚀剂等项综合缺陷数。缺陷的数最以基板的尺寸、铬膜的等级和缺陷的人小来表示。5-3.3缺陷的尺寸用测量显微镜检查。圆形质量区内的缺降
基板尺寸
基板尺寸
铬膜等级
A（主掩模）
C(试验)
A（主掩模）
c(试验)
A（主掩模）
c(试验）
铬膜等级
A（主掩模）
C(试验）
A（主掩模）此内容来自标准下载网
C(试验）
A（主掩模）
C(试验）
1 μm~5. 0 μm
缺陷尺寸和允许的数量
5.1 μm~10 μm
表2方形质量区内的缺陷
缺陷尺寸和允许的数量
1 ~-5. 0 um
5.1 μm~10 μm
>10 pm
>10 μt
检验规则
检验分为交收检验和例行检验。6.1交收检验
GB/T 165271996
6.1.1检验批，检验批应出同一工.艺条件生产、不同规格.同时交付的产品组成。6.1.2产品入库前应逐批进行交收检验，产品出厂时，用户有权对交收检验的结果进行复查。6.1.3交收检验按 GB 2828中规定的一次止正常检查方案进行,交收检验项目、检查水平(1L)和合格质量水平及（AQL)值应符合表3的规定，样品应从一批中的不同盒内抽取，表3交收检验
检验项目
抗蚀剂涂层厚度,均勾性和一致性抗蚀剂涂层缺陷
6-2例行检验
要求和测试方法条号
6.2.1有下列情况之-者,应进行例行检验；a）产品定型，
b）产品结构、材料.工艺有较大的改变时；c）正常尘产情况下，每年进行-次d）产品停产一年以上，恢复生产时；e）交收检验结果与「次例行检验有较大差异时；f）国家质量监督机构提出进行例行检验要求时。1
6.2.2检验的样品应在交收检验合格的抵中随机抽取，例行检验应按GB2829中一次抽样方案进行，例行检验项日判别水平(DL)及不合格质量水平-(RQI)成符合表4的规定。表重例行检验
检验项目
抗蚀剂涤层厚度,均匀性和致性
平面度
抗蚀剂涂层缺陷
要求和测试方法条号
6.2.3例行检验项日中，有一项不合格，则该批产品例行检验不合格。7标志、包装、运输、贮存
7.1包装和标志
7.1.1涂嫩了抗蚀剂的基板，应在洁净度100级的环境中进行包装，设计的内包装盒应能防止移动及玻璃与玻璃相接触，并能避免基板在装运过程中受到沾污。涂有抗蚀剂面的方向应在每个盒子上标明，每个盒子均应贴上合格证，合格证上应注明：a）产品名称，
b）产品级别、铬膜厚度、类型及规格尺寸；c)抗蚀剂类型,厚度；
d)数量；
e）抗蚀剂批号和涂敷日期；
f)检验日期及检验员签辛,
7.1.2每-内包装盒应标明：
GB/T 165271996
光致抗蚀剂—*警告：只能在洁净间内安全黄光下打开和处理。”电子束抗蚀剂“警告：只能诈洁净间条件下打开和处理，不能有X射线”。7.1.3内包装盒分10片,15片、20片和80片四种包装。7.1.4外包装箱采用钙塑瓦纸板制作，外包装箱上应标明a）产品名称,型号：
b）产品等级；
c)生产日期：
d）制造厂名称、地址、商标。
7.1.5包装箱外整应有符合GB191规定的“保持千燥”“向上”*小心易碎”等字样和标志，7.2运输
产品在运输过程中应防湿、防震、防损伤，不得与腾蚀性物质混装运输。7.3账存
7.3.1 产品应存放在温度为5℃～~25℃,相对混度不大于 60%、干净,无有害气体的库房内。7.3.2产品从生产之H起，贮存期为六个月。GB/T165271996
附录A
（提示的录）
抗蚀剂涂层的典型技术参数
抗蚀剂涂层的典型技术参数见表A1。表 A1抗蚀剂徐层的典型技术参数类别
正型光致
抗蚀剂
负型光致
抗蚀剂
正型电子
抗蚀剂
负型电子
抗蚀剂
抗蚀剂型号
MP1350
AZ1350
MP1450
A74100
HPR204
HPR80M
SelectituxN
0. 6+ 0. 012
0. 6±0. 012
0.6上0.010
15. 6±0. 012
0.6±0.012
0. 6± 0. 02
0.6+0. 012
0.4±0.015
0. 6± 0. 02
0. 6± 0. 02
0. 6±0. 015
0. 5 ±0. 02
0. 5 ± 0. 02
预烘时间
预烘温度
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。