【其他行业标准】 溅射用钽靶材

ICS77.150.99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1024—2015
溅射用钼靶材
Tantalumsputteringtargets
2015-04-30发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2015-10-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。YS/T1024—2015
本标准起草单位：宁夏东方钼业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司。本标准主要起草人：钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路。I
1范围
溅射用钼靶材
YS/T1024—2015
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钼靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钼锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钼靶材（以下简称钼靶材）)。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差金属材料维氏硬度试验
第1部分：试验方法
GB/T4340.1
GB/T6394
GB/T8651
金属平均晶粒度测定方法
金属板材超声板波探伤方法
GB/T15076.8
钼化学分析方法
法碳量和硫量的测定
GB/T15076.13
GB/T15076.14
GB/T15076.15
钼锯化学分析方法
钼中氮量的测定
钼锯化学分析方法
氧量的测定
钼锯化学分析方法
氢量的测定
GB/T20967—2007
YS/T837
YS/T899
3要求
3.1产品分类
无损检测
目视检测
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法高纯钼化学分析方法
痕量杂质元素的测定
辉光放电质谱法
钼靶材按纯度分为：3N5（99.95%）、4N(99.99%）、4N5（99.995%）三个级别。3.2化学成分
靶材的化学成分应符合表1的规定。1
YS/T1024—2015
钼靶材化学成分表
Ta含量，不小于
非气体杂质含量，
(×10-4)%，不大于
(10-)%，不大于
气体杂质含量，
杂质总含量（不包括C、N、H、O)，（X10-\)%，不大于
注：Ta含量为100%减去要求杂质总含量的余量（不包括C、N、H、O)。2
尺寸及允许偏差
钽靶材（焊接前）
直径及厚度允许偏差应符合表2的规定。表2
≤250
>250~400
≥400~500
平面度
允许偏差
平面度要求应符合表3的规定。
几何尺寸及允许偏差
>15~25
≤250
>250~400
>400~500
表面粗糙度
表面粗糙度Ra≤1.6μm。
钽靶材尺寸及允许偏差
钽靶平面度要求
平面度
YS/T1024—2015
单位为毫米
允许偏差
单位为毫米
靶材尺寸及结构一般根据需方提供图纸确定，经供需双方协商确定并在订货单（或合同）中注明。如果需方图纸未提供允许偏差，则钼靶材尺寸允许偏差应符合GB/T1804的要求。3.4
内部质量及性能
内部质量
钮靶材（焊接前)内部不应有分层、疏松、夹杂、气孔等缺陷。3.4.2
晶粒尺寸
晶粒尺寸应符合表4的规定。
钽靶晶粒尺寸要求
晶粒尺寸要求/μm
≤150
≤100
≤100
YS/T1024—2015
3.4.3硬度
硬度应满足60HV110HV。
焊接质量
钼靶材的焊接方法分为针焊和扩散焊。焊接质量应符合表5的规定。表5焊接质量要求
焊接方式
扩散焊
外观质量
焊接结合率，不小于
单个未焊合间隙面积占总面积比例，不大于2.5%
钼靶材表面应清洁光亮，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。
试验方法
化学成分分析方法
4.1.1非气体元素及元素S的分析按照YS/T899规定的方法进行检验。气体元素碳（C)按照GB/T15076.8规定的方法进行检验，气体元素氮（N)按照GB/T15076.134.1.2
规定的方法进行检验，气体元素氧（O)按照GB/T15076.14规定的方法进行检验，气体元素氢（H)按照GB/T15076.15规定的方法进行检验。有特殊要求时，由供需双方协商确定。4.2
尺寸及允许偏差检测方法
产品表面粗糙度采用相应精度的粗糙仪检测。产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的量具进行检测。4.3内部质量检验
内部质量由供方生产工艺保证，需方有特殊要求时按GB/T8651的规定执行。晶粒尺寸按照GB/T6394的规定执行。硬度按照GB/T4340.1的规定执行。焊接质量检验
焊接质量按照YS/T837的规定执行。外观质量检验
外观质量采用目视检验，按照GB/T20967一2007第5章的规定执行。5检验规则
检查和验收
5.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单（或合同）的规定，并出具质量证4
明书。
YS/T1024—2015
需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验，如检验结果与本标准或订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托供需双方认可的单位进行，并在需方由供需双方共同取样。5.2
产品应成批提交验收。每批应由同一级别、熔炼炉号、热处理炉号、状态、规格的产品组成。检验项目及取样规定
产品出厂前应进行全面检测。检验项目及取样应符合表6的规定。表6
检验项目
化学成分
几何尺寸
平面度
表面粗糙度
内部质量
晶粒尺寸
焊接质量
外观质量
取样位置
铸锭端部
晶粒尺寸和硬度测定取样
钮靶检测项目、取样及数量
取样数量
1个/炉
要求的章条号
试验方法的章条号
焊接前在靶材边缘位置进行取样，取样规格为15mm×15mm×钼靶材厚度，取样示意图如图1所示。
检验结果判定
钽靶材取样示意图
化学成分检验结果不合格，应从该批产品中取双倍数量的试样对该不合格项进行重复检验。若5
YS/T1024—2015
重复检验仍有检验结果不合格，判该批不合格。5.4.2
几何尺寸检验不合格时，判该件产品不合格。平面度检验不合格时，判该件产品不合格。5.4.3
表面粗糙度检验不合格时，判该件产品不合格。5.4.4
5内部质量检验不合格时，判该件产品不合格。5.4.5
晶粒尺寸检验结果不合格，应从该件产品中取双倍数量的试样对该不合格项进行重复检验。若5.4.6
重复检验仍有检验结果不合格，判该件不合格。5.4.7硬度检验结果不合格，应从该件产品中取双倍数量的试样对该不合格项进行重复检验。若重复检验仍有检验结果不合格，判件批不合格。焊接质量检验不合格时，判该件产品不合格。5.4.8
外观质量检验不合格时，判该件产品不合格。5.4.9
6标志、包装、运输、贮存和质量证明书6
6.1标志
在检验合格的钼靶材上，将供方标志、级别及生产批号刻在供需产品指定位置。6.1.1
在每个外包装上贴上纸质标贴，内容包括：a)
供方厂名厂址；
供方标志；
产品名称；
级别；
需方名称；
订单编号；
物料编号；
生产批号；
生产日期；
出厂日期；
其他要求内容。
6.2包装
6.2.1钼靶材的清洗、干燥及内包装应在千级或以上洁净间内进行。靶材经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口要平整，无真空泄露。6.2.2外包装采用纸质、木质或专用盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装盒内。
6.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。6.3运输与购存
运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。6.4质量证明书
每批产品应附有产品质量证明书，其上注明：供方名称、地址、电话、传真；a）
b）产品名称；
级别；
需方名称；
订单编号；
物料编号；
生产批号；
检测结果和供方质检部门印记；出厂日期。
订货单(或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单(或合同)内容应包括下列内容：a)
产品名称；
级别；
化学成分、物理性能、表面质量等特殊要求；规格；
重量；
其他需要协商或增加标准以外要求的内容。YS/T1024—2015
YS/T1024-2015
中华人民共和国有色金属
行业标准
溅射用钼靶材
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开本880×1230
2015年10月第一版
印张0.75
字数16千字
2015年10月第一次印刷
书号：155066·2-28992
如有印装差错
定价16.00
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