【GB国家标准】 真空泵安全要求

ICS23.160
中华人民共和国国家标准
GB22360-2008
真空泵
安全要求
Vacuum pumps-Safety requirements2008-08-28发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2009-10-01实施
中华人民共
国家标准
真空泵安全要求
GB223602008
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GB22360-2008
本标准的第5章5.1.1中a),6)c,0.g,5.1.2、5,1.5.5.2.15.2.2,5.3.1,53.2申8,b）5.45.6.1,5.6.2、5.7、5.8、5.9、第6章、第7章，第8章中8.3为强制性，其余为推荐性，本标准修改采用EN1012-2：1996压缩机和真空票，安全要求第2部分：真空系英文版）。本标准与EN1012-2：1996的章节，条款一致·技术内容一致。本标准根据EN1012-2：1996重新起草，与EN1012-21996的差异为：一一为广与现有的真空技术标准配套使用，将EN1012-2：1996压络机和真空泵安全要求第2部分：真空票的名称改为我国的真空票安全要求：一一对于EN1012-2：1996引用的国际标准和欧洲标准中有被修改采用的我国标准，本标准引用我国的这些国家标准代替对应的国际标准或欧洲标准：对于EN1012-2：1996引用的国际标雅和欣洲标准中有被非等效采用的我国标准，本标准引用我国的这些国家标准中对应的景款代替对应的国际标准或欧洲标准：其余未被等同或修改采用为我国标准的国际标准和欧洲标准，在本标准中均被直接引用（见本标准附录B）一一由于EN1012-21996中引用文件EN292-1.EN292-2井设有在标准中引用.按GB/T1.1的规定将其删除
一一由于EN1012-2:1996中引用文件EN12076压缩机和真空泵的媒声发射的测量（工程法）2已作废，本标准刷除了该引用标准·用GB/工21271真空技术真空票赚声测量H代替！增加引用标难GB2894安全标惠：将EN1012-21996中的bar.mbar改成本标准中的Pa.kPa，为了便于使用，本标准还做了下列够性修改：“本欧洲标准”一词改为”本标准”制除了EN1012-2.1996的前盲！
刷除了EN1012-2：1996的引言：增加了附录BEN1012-2：1996与中国标准，国际标准时应的标准端号和名称”，车标难的附录A为规范性附录，附录B为资料性附录。本标准由中国机械工业联合会提出，车标准电全国真空技术标准化技术委员会归口本标准起草单位：上海凯尼真空设备有限公司新江真空设备集团有限公司成都南光机器有限公司，国家真空设备质量监督检验中心沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人要壹昌孟凡林，张宝夫，李剑牌李春影，王学智，王玲玲。本标准首达发布。
1范围
真空泵安全要求
GB 22360—2008
本标准适用于各种真空泵，真空机组和真空抽气系统：标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中，与其相关的重要的危害性，详细规定了适用于真空至设计，安装，运行，维修及拆卸过程中的安全要求，
本标准不适用于开放的系统下连读进行抽气及人口处的压力高于75kPa（750mbar）的泵，刚如真空吸尘器、换气扇。
一些用于特殊场合的真空聚应符合与其应用相关的特殊标唯规定2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括动误的内容）或修订版均不适用于本标准，然面，装触根器本标准适成协议的各方研究是否可使用这些文件的最薪版本，凡是不注日期的引用文件，其最新版本五用于本标准。GB/T825吊乐螺钉（GB/T825--1988.neISO3266,1984)GB2894 安全标志(GB2894-1996.neqISO3864:1984)GB/T3163真室技术术语（GB/T31632007.1S03529：1981.MOD)GB4793，1一2007测量，控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求(GB4793.1-2007.IEC61010-1:2001.IDT)GB5226.1一2002机械安全：机械电气设备第1部分：冠用技术条件（1EC60204-1：2000。IDT
GB/T5465.2电气设备用图形符号（GB/T5465.2—1996，idtIEC417.1994）GB/T8196机械安全防护装置固定和移动防护装置设计与制造一般要求（GB/T81962003,1S014120.2002.MOD)
GB/T12241安全阔—般要求（GB/T12241—2005.IS04126-1：1991.MOD）机械安全防止上肢触及危险区的安全距离（GB/T12265.1-1997GB/T12265.1
eqyEN294.1992)
GB/T14574声学机器和设备噪声发射值的标示和验证CGB/T14574-2000+9VISO487119963
GB/T16273.1备用图形符号通用将号GB/T16273.1-1995.neq1SO70001989)GB16754机械安全急停设计原则CGB16754-1997.eqVISO/IEC13850：1995）GB/T18153机械安全可接触表面温度确定热表面温度限值的工效学数据（GB/T18153-2000eqvEN563:1994)
GB18209.1机械安全指示，标惠和操作第1部分，关于视觉，听觉和触觉信号的要求(GB18209.1-2000.idt1EC61310-1.19953GB/T21271真空技术真空系噪声测量（GB/T21271—2007,ISO21512004.MOD)ISO/TR11688-1声学低噪声机器和设备设计实例的推荐用规程第1部分：计划ENV1070机械安全术语
EN1127-1爆炸性环境爆炸防止和防护第1部分：基本概念和方法EN60079-0爆炸性气体环境用电器设备第0部分：一般要求1
GB22360-—2008
需离罩（IP规范）提出的保护等级规范EN60529
EN61000-6-2电磁兼容性CEMC）第5-2部分：通用标准工业环境抗扰度（EMC)第6-4部分：通用标准工业环境发射频率EN61000-6-4电磁兼容性
3术语和定义
ENV1070和GB/T3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准。3.1
vacuum
在指定空间内，低于环境大气压力的气体状志。注：真空一般是剩量残余气体的压力，单位为Pascals(Pa）或milibarmbar)，1mbar100Pa3.2
vacuumpump
真空泵
产生，改善和（或）维持真空的装置注在本标准中，术语”真空景“和“案“具有相同的告义文3.3
家口pumpinlet
被抽气体进人真空泵的人口，
豪出口pumpoutlet
真空的出气口或排气口。
最高起动压力maximum startingpressar聚可以起动的最高人口压力，
最高出口压力maximumoutletpressure制靠商规定的真空出口的最高压力3.7
真空泵的描气量throughputof vacuumpump流经系人口的气体流量，通常表示为每单位时间内产生的气体压力与其体积的乘积。3.8
鼓抽媒介pumpedmedia
被真空泵抽除的物质，如气体，水蒸气，享状减体和夹带的固体微粒，3.9
真空系液pumpnuidbzxz.net
真空享运转使用的液体
初级真空泵primarypump
量高出口压力等于或高于环境压力的泵。3.11
次级泵secondary pump
最高起动压力或最高出口压力低于大气压力或在较低压力的情况下运行的真空系，它通常与初圾泵相联，产生压强要低手单台初累产生的压强。2
抽气系线pumping system
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用来产生真空的配有附件的真空案或真空案机组，附件包括管路，阅门，过滤器，停印器，控制装置和荫够清足性能要求的其他装置，3.13
睿积真空泵positivedisplacementpump容想真空拿是利用菜腔容程的周期变化来完虎吸气和插气的装置，气体在排除前技压缩3.14
Ewapourpump
泰气流泵
采用高建定向幕气流携带和相互碰操的气体分子把气体送至票出口进行排气的真空泵，即，扩散聚和扩做喷射泵。
低温捕票cryogenieentrapmentpump夜当介质或是在适度非常任的装面上任于1长礼集，成使用大的有效面积的多孔牌介在低温条件下来吸附被抽介质的真空，例如，低温和吸附累，本文中使用的术语“低望”其温度要低于120K.
吸气剂泵getterpump
主要适过与吸气制产生化学反虚来吸气的真空泵，吸气剂通带为金属或合金其形状可为块状（容租聚气杂采用升华作用开华泉，以及用极财来蒸收骏气狗最时离子享）3.17
分子菜molecularpump
高速旋转的转子将动量传给气体分子，使其传输到系的出口的真空桌。例如，辛引分子乐和满轮分子菜
量高光许工作压力maximumallowableworkingpressure由制造商规定的量高工作压力。3.19
量任充许工作压力minimumallowableworkingpressure由制造商规定的最低工作压力。3.20
烘烤baking
加热真空系统的工艺，降低系烧内表面气体舞析连率从面获得更低的压力。3.21
甲烷排除rthanedrainpump
一种容限式真空至，用来抽除垃圾站，矿石中和视甲烧为有害气体的环境下的甲烧气体4真空录意害一跑表
4.1机械危言
泰安全技术要求。
4.1.1主要危客
a）固运动部件接触面产生的切制。例如：驱动带、冷却风扇、联轴器、传动轴和转子。b）由锋利的边靠产生的切割，罚如，金属板材，有起载耀的管件和涡轮叶片，5.1.1
5.1.1.5.1.4
GB22360-2008
真空系统的拉找。
由于真空泵或真空集系统的部件破损导致零件射出，d
因压力过高造成真空系统的爆裂，引起零件射出，形成压力过高的原因有：真空系能转方向不正确：
排气受阻或受到限制：
错误操作使得气体进人真空系统！机械部件断裂！
真空状态下断电引起真空亲反向运转。增加或拆移配件时移定性的降低，g）运输过程中机械稳定性受摄。国缺少起品设备在起吊过程损害了机械稳定性h
真室票油泄圖造成打清，肤倒和坠落。4.1.2针对慕气流泵的危青
5.1.1.7.3.1
黑气流在无冷却，人口、出口阀关闭，井在大气压下运行导致压力升高，引起零件时出4.1.3针对低温捕集泵的急客
由于低溢捕集票发生爆裂面引起零件射出，其发生原因有：指集的抽介质释放进人者封系就！一在密固系统中用来制冷的冷高压致冷剂受精面产生过高压力！一制冷剂客器遇火而产生的过高压力！一所用的结构材料低温失效，
4.1.4针对吸气剂泵的危害
用手触及强避时产生危害，
4.1.5针对分子的危喜
a鸽轮分子录内能转转于的弹射！锅轮分子亲转子高速运转时破裂·醉片射出！e涡轮分子系转子在动平衡失调或爽然献速，引起泵的不稳定性。4.2电气危售
4.2.1主要危害
直接或间接的接触电：
静电现象：
对电器装置的外部影南。
4.2.2针对英气请泵的危客
由隔高加热元件的绝缘物吸收了潮气造成滑电，4.2.3针对吸气剂泵的危害
由于以下原固造成与外高压发生接触！设有切制电源就将车志电·高压散电阻先效一过高的烘烤温度或机械扭坏坏了绝擎体。4.3热危喜
a）与高温表面接触造成的烧伤：b与保表面过的气体取最刮用接造的冻伤按鞋实热系油或润清剂造成的适伤。4.4噪声造成的危客
高噪声造虚听力损。
5.3.1,5.3.2
4.5辅射造成的危害
接触吸气系产生的电高辅射
4.6真空泵在使用和排气过程中，由材料和物质产生的急害4.6.1主要意害
运行过程中，有毒气体或蒸气的排散而造成的危害！a
油封累油募的排故，这种排放物吸人造成的危害：GB22360-2008
维修过程中，接触润滑刺，累液或被抽介质，有毒的裂解物/反应物引起的危害：d
处理或排除易燃气体或蒸气时造成的爆炸，起火！处理或排除氧化剂时造成的爆炸，起火！万
处理易错气体时造成的爆炸，起光：高温下润滑油的婴解造成的起火！g
由于被抽气体发生分解，引起压力激上升引起的危害。4.6.2针对蒸气流系的意言
接触或吸人过高温有毒的案获，产生化学分解物造成的危害：4.6.3针对低温插集泵的危害
当升温或维护时，接触到或吸人系释放出有毒的物质所产生的危害。4.7在设计中忽略了人类工程学与机械工程原理面而造成的危离忽略使用保护装置：
b）控制仅器和设备的放置错误导致的人为错误：集在真空系就的铝识连接造成的危害，4.8电源故障，部件损坏或其他功能失调造成的危言a）供电出现故障：
b）中夹控制系统出现故障或程序混乱（突然自起动）装配精讯
由未亲觉的或不正请的安全指施和方式引起的危吉慕在出现故障时航关闭文自动重起动引起的危害！b
连续工艺程序的错误引起的危害！程序设计错误造成的危害：
）计算机部件故障造成的危害。5安全要求和措施
5.1机械安全要求
5.1.1基本要求
6.3.7.3.1
据GB/T8196，操露的运动部件需配置保护装置进行顾防保护，若保护装置能阻止a
EN60529规定的试验机械手与运动部件接触，则可认为该保护装置的保护效果足等充分（见GB/T12265.1).
b）所有可接触的边，角都应划为避免受伤的区城。如果只有在完擎地安装真空系统后才实现防护，邮么应当在暴的安装过程中提供临时的随护借跑（例如，如果在系的人口能触及系的机械件，那么应当封盖系的人口》。d设备使用过程中，真空部件要有足等的强度承受挤压。在无法消除此类聪惠的地方，需要设置防压装置本经制弹贴物
设计时应当考虑到被抽气体携带的碎屑积累对泵产生危害。排气过健器虚用足够大的容量以e
保证真空至在量大抽气量的条件安全运行。提供指施确保过越器在饱和或阻塞情况下不会导5
CB 223602008
致票人口压力超过其最高允许工作压力。在夏的排气口处或真空系就内积累的碎片无法避免时，应配排气压力监控装置或压力调节阀，真空系设计应当稳定，8.3指述了稳定性的测试方法，应考虑设备的用户可能增加的其他附件，在无法实现测试时，一定要提供可靠的安全保护措施。g）应当提供或规定真空系和真空系统的安全管理指施。使用的工具可能包括手，吊环竭栓，轮盘，接线板，支架，其中吊环螺栓应符合GB/T825的规定：5.1.2燕气流系的安全要求（附加）系烧的设计虚确保，如果泵关闭进出口在大气压下运行，不会发生危险。5.1.3低温捕集的安全要求附加）=）为防止被抽气体解析引起的密封真空系统或泵体爆炸，需要在真空系体内配置或压装置，减压装置除清足GB/T12241的要求，还应适于在低温条件下工作为型免低温下热循环或脆化产生的应力导致材料失效，用于构造票的材料应具有适合其预期的
功能的机械性能
加压气体的容器和罐体应当按照实际公认的标准来设计和加工生产，如果出现误操作（动作）的情况，引起部件承受压力高于亲最高允许工作压力，那么就需要安d
装一个适当的减压装置
如果低温泵断开与制净压缩机的连接，会产生压力危险，需要提供一个装置降低压力系统至安全压力级别，并提供安全使用说明：暖气剂泵安全要求（附加）
要适当保护那性固趣曲易脱落连接的部件，对锋利的边缘要有醒目的警告。5.1.5分子泵的安全要求（附加））转子的安装应坚固，以防止转子靠转被甩出蒙外。b）系体的外壳应保证足够强度，以防止破裂的转子碎片甩出。提供一定的措施确保真空系统中的聚的安全性，使其能承受转子的完发事件。5.2电器的安全要求
5.2.1基本要案
电器安装
真空案的电器安装应符合GB4793.1一2007和GB5226.1-2002的要求，保护装置和转换装置要按照“失效保护”中安全要求来设计和连接。要在真空票外部安装电路过载保护装置，在真空泵的使用说明书中指出操作者应安装电流过载保护装置
设有配置断电装置的真空录，其撑作手册应要求使用者自已提供这种装置，配鲜费求垫！
足链安全和保护
一不与热表面接触：
一绝缘可靠。
真空票安装在具有潜在爆炸性的气氧中，其电器装置虚符合EN60079-0的安全要求，b）静电现象
对人有危害或可能发展成为引火源，需将所有导电性的零部件接地来避免静电电荷的积需。电器装置受到的外在影响
设计的安全装置和设备即使在受到干扰的情况下，性能虚不受影响。例如：短路
外部冲击
一电压的变化
-电磁场（见EN61000-6-4,EN61000-6-2)：接地错误：
5.2.2落气诞豪的安全要求（附加）GB 223602008
设计加热器的保护部分时，要确保加装器元件和泵体之间有良好的热接触，防止湿度过高元件降低绝续性，
5.2.3吸气剂泵的安全要求（附加））为防止接触高电压，每台泵易导电的零件都要有可靠的接地保护，如果用高压电缓的地屏鼓来实现接地，那么必规定最大故障电流，连接必频这样进行：提线前，装置接地：带电导体断开。
连接电源和系的线路要经过设计计章，井规定票的量高断路电压，b
c）超过1000V操作电压的线路要有国际性的奢告标志d要规定真空以及晕露在外的相关高压与线路和导战的量高温度。5.3热的安全要求
5.3.1基本要求
加工介质（润滑油和冷印剂等）过高或过低的温度对操作人员产生危害时，应对介质温度实施监控当介质连度超过极限值时要特其饮重到安全状态当部件外表面程度高于70亡或低于一10工，在真空聚正常运行时，操作人员有可能接触到该外表面，在这种情况下皮对其进行保护，地擎处理或是有明是的标志以示警告（见GB/T18153），其他高量管道要按照附录A的要求标有明显的管告信息。正何音路应随更化的程度自由要动，间时热管路不虚与不料我品贴物接程，真空案安装在具有清在爆炸危险的地方，需要限制其表面退度，同时要消除其他引大源，见EN60079-0和EN1127-1
5.3.2热气请原的安全求0用加
）安装适当的安全排放装置以防操作人员接触到灼热的烹藏，随系附带的说明书虚当规定享液在排出系前的量少冷却时间，
当系减不足，冷循环出故障或是电气故障时，会导致暴体达到危险的温度，为此要设计适当的6
热负载自动韩闸装置在送到不安全的租刷新开真空亲上的电源，心当过高的温度导致扩做泵袖发生危险的囊解时，需要配备一个适当的温度自动随闸装置，5.4喝声
装照TSO/TR11688-1标准规定，设计时零考思减少味声，有保护精施设计的真空应能在最高指定环境题度下连续请运行。
5.5辅射
吸气剂票外表面散发的辐射线和杂散射线（波长为50mm的相同射战剂量）不能超过5μS/h。56真空集使用和放的材养和物质在真空泵或真空系烧使用过程中，莅拍介质和系减会产生危害时，要采用特别的方式来消除这种危害的风险。
5.6.1基本要求
设计中要注意防止气体系或有毒气体世请到大气中：应根播品4测试真空系统的密封性。
b）安装适当的阱或分高器，以防止有害的液体或固体微较进人真空案。c)处理易燃物会引起火灾+应通过以下措施来消除：一设计并选择适当的材料，将引大源的风险降至最小！7
GB223602008
一选择台适的材料和适当的接地来防止静电电荷的积累：一防止外来微粒的进人·其接触到真空泵内的旋转轴会发生引做。如果用水作密封物质，应当安装流量表，当水流降至危险值时会自动切断发动机，要避免易燃性气体的飘速，虚按照8.4中的要求检测真空系统的害封性，如果条件允许，可采用情性气体释可地性物质的装度，d》处理氧化剂时，避免引起火灾及爆炸的主要措施有：在装配前清洗真空和系统的所有部件，清除所有有机物质！一慎重选择真空系统的使用材料：慎重选择用来润滑，害封和抽气的系减：一如果条件光许，可用可监控情性气体来格释被抽气体，e)避免处理自燃气体引起火灾或爆炸的主要指施有：使用可监控的情性气体来帮释被抽气体：通过设计预防空气进人系统中，根据8.4检测系镜的客封性：一通过设计预防自燃气体泄满人空气中按照8.4进行检测系统的密封性们如果存在气体分解或成量牛的危险，设计的应能承受随之产生的最高压力，这应根据82按静态超压来检验真空泵。
5.6.2基气流泵的要求（阳加）
a》如果使用有害的真空泵薇（例如水银），应当采取防范措迹·使用适当的阱防止真空案液进人真空泵的排气系统或真空系统的其他部件内。应规定在维护期间采取的防范措筋，采取预防措随防止温度过高，避免在高温真空系液或南封材料产生有害的化学分量，见5.3.2c).
》采取措随防止真空票人口和出口压力过高使真空兼发生氧化。要根据工作温度和压力来选择合适的真空泰液。d
5.6.3低温捕靠泵的要求（附加）避免截抽易感气体积累，产生引燃的可能性，除非系统真空度低于10-mbr，否则不要接通灼的灯丝和敏电装
的真空享附带的说明书应当提供奢告，安求安装排散皮气的安全督路，心真空泵在设计和使用过程中要考有害气体积累的可能性，例如，氢气。5.7机械设计中的人类工程学原则按照GB16754和GB/T5465.2的要求，系统启动和停止装置要带作简易标志清晰，见附录A：手动控制和其他毅繁的使用的装置应当被设置成容易触及和控制，井且不紧项。有关控制仪表应放置在操作者易于看见的地方，并操作与工具相关的控制部件。只要有可能，控制部件和操作工具都应该设计成有助于操作者理解它们的功能，井避免操作者犯精误：
在真空系的结构设计中，对景液处理皮有充填，排放，清洗，回收等功能。5.8供电故障，部件损害和基他功能失调5.8.1基本要求
）在主电源和暂助电源电力下降的情况下，应该将真空系或真空系统转人安全的状态！6）设计真空泵或系统时，要求当电源出现故障或电源恢复时，这种电源故障不会引起危害。以上适用于整个系统，包括加润滑剂，供水，阅门的位置或是控制电路中的任一部分，它们都有可能产生危害
5.8.2机械部件故障
真空系或抽气机组的材料要保证足够的预期使用，尤其关于耐久性，藏劳现象，老化（包括胞化），离8
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