【机械行业标准(JB)】 真空技术 复合分子泵

ICs 23.160
备案号：21691—2007
中华人民共和国机械行业标准
JB/T10771-2007
真空技术
复合分子泵
Vacuum technology-Hybrid molecular pumps2007-08-28发布
2008-02-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布CEPIC
！范围．
2规范性引用文件
3术语利庭义
4型式和基本参数.
4.1型号表示方法，
4.2基本参数
5技术要求．
测试方法。
最低作压力测试
压缩比测试
体积流率测试
起动时问测试
振动测试
噪产测试.
转速测试.
电源测试.
平均故障工作时间试验，
6.10连续泾转试验
7检验规则
8标志、包装、运输和贮存．
附录A（资将性附录）复合分了泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈A.1复合分子累进气口连接法兰及缔封圈A.2复合分子泵出气口连接法兰及密封圈图A.1钳法兰连接
图A.2新套法兰的连接
卡钳法兰或活套法兰肩圈型式
支架式
法兰套环型式
弹性卡翻型式
卡钳螺钉纠件型式
DN50连接器
DN50支架
图A.10○形密封圈
图A.JDN50卡箱
表1泵的基本参数，
法兰的连接尺寸
卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸
JB/T 10771-2007
JB/T 10771—2007
支架尺寸和配用0形圈
法兰套环尺寸
弹性卡圈尺寸
卡钳螺钉组件尺寸
........
..............
本标准的谢录A为资将性随录。
本标准由中国机械工业联会会提出。前言
本标润全国真空技术标准化技术委员会（SACTC18）归口。JB/T10771~-2007
本标准负责起草单位：深圳火学、北京中科科仪技术发展有限责任公司、北京北仪创新克空技术有限责任公司、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：储继国、张勤德、周毅、季春影。本标准为首次发布。
1范围
真空技术复盒分子泵
JB/T 10771-2007
本标雅规定了复合分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。
本标雅适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵（以下简称泵）。2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标推，然而，鼓谢摄据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标推。GB/T191—2000包装储运图示标志（cqVISO780：1997）GB/T848——2002小垫圈A级（ISO7092：2000，MOD)GB/T2829—2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）GB/T3452.1—2005液压气动用O形橡胶密封第1部分：尺寸系列及公差（1SO360-1：2002MOD)
GB/T 4982-—2003
3真空技术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型（ISO2861-1：I974，DT））六角头螺钉（cgvIS4014：1999）GB/T 5782—2000
GB/T 60712003
3超高真空法兰
GBT6587.1--1986电子测量仪器
环境试验总纲
GB/T 6587.2-{986
温度试验
电子测量设器
GB/T6587.3—1986电子测量仪器湿度试验
GB门6587.4—1986电子测量仪器振动试验
GB/T6587.5-[986电子测量仪器
冲击试验
GB/T657.6—1986电子测量仪器
运赖试验
JB/T8J06---1999容积真空泵噪声测量方法ISO5302：2003真空技术涡轮分子泵性能测量3术语和定义
ISO5302中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。3.1
复合分子泵Hybridmolecularpump一种分子泵，其特征在予泵的进气口侧有一级，或者一级以上的涡轮分子泵抽气单元，泵的排气口侧有一级，或者一级以上的牵引分子泵抽气单元，两科轴气单元串联气，组成一种有别于传统涡轮分子泵和牵引分子泵的新题分子泵。3.2
体积流率volumeflowrate
在理想条件下，单位时问从试翼流过泵入口的气体体积。CEPIC
JB/T10771-—2007
注1：出于实际测试的原网，泵对给定气体的体积流率通带约定为等可该气体的流量与给定点的平衡压力之商，体流率采用的单位为立方米雄秒（ms）或升每秒（Us)。注2：有时用术语“抽遭率”和符“s”来代体积流率，3.3
最低工作压力minimum operationalpressurco
烘烤48h后，在测试罩中获得的压力。3.4
压缩比 compression ratin
复合分了泵前级压力与其入口压力之比。Ker=p2/p
注：为了得到给定气体的零流量压缩比，则该气体在出口管中分压力室少为P的90%。3.5
startingtime
启动时间
从接逆电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时问。3.6
极限压力ultimate pressure
测试罩中逐渐趋近的压力值，
社1：它是泵能获得的最低压力。注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本标准中也不给出极限压力的测试程序。识是如果制造！列出了极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件。3.7
临界前级压力critical backingpressurePe
当泵仍能保持其压缩比p2/p12，且清洁气流流通时的最高前级压力P2：对于没有清洁气流接口的泵，当泵仍能保持其旺缩比2，泵的最高前级压力2。注：Pi是人口处（高）真垒压力。3.8
最高工作压力
maximum werkingprcssure
复合分了泵和驱动装置不发生损坏的条件下所能承受的泵入山最商压力。3.9
maxinum throughput
最大流量
泵能连续拙气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为帕升每秒（Pa·Iis）【毫巴升每秒(mbar - L/s) ].
注：这个极限参数取决于泵的设计，大多数情况下，这个参数以泵现定位置的最高温度来给出。Qm值取快于被抽气体、所使用的前级率、以及冷却条件等。4型式和基本参数
4.1型号表示方法
口 C- 0
特征符号
JB/T 10771---2007
体积流率（描气速率）：单位为Ls进气通径，单位为mn
复合分子泵，用字母F表示
““特征符号”指泵的润滑方式、冷却方式、特殊结构、特殊用途的字母代号，中生产商自定，但字母代号所代表的忘义必须在群本资料说明将中注明，例如：风冷分子菜，缺省步水冷分·于漆示例
进气口通径为160um，体积流率为450L/s的复合分了系，标记为：FF-160450基本参数
泵的基本参嫩如表1所亲。
象的基本参数
体积流率
最低工作旺力
压缩比
启动时间
噪声Lw
dB (A)
进气旧通径
出点口酒径
啦源“翰人电压
电源消耗功率wwW.bzxz.Net
电源启动功率
推持前级录的体积流率
电源有以下三种类型：
FF-100r
a）电了模拟式自动变频电源；
b）微扭程控式自动变频电：
c）心动机变额武电源。
FF-1607
≥400
FF-200/
FF-250/
10-5~10-8
25x104
FJ-320/
FR-400%
110±10%（601Iz）或220±10%（50H）或380±10%（50Hz）240
≤1200
前级泵的体积流率详细计算按IS05202：2003中“6.3前级泵规格”的规定进行。A8
FF-500f
注1：余型号超出表！的或泵有特殊性能要求的，生产商参考表！结合使用要求在样本资料和使用说明书中列出录的基本参效。
注2：对于临界前级压力、大流近、最高工作压力三项性能指标，由生产厂商自定、但如果给出必须接IS053022003进行测试。
JB/T 10771--2007
5技术要求
5.1泵的主要技术性能应符合表1和按规定握序批准的设计图样要求。5.2象在下列条件下应能正常二工作：a）环境温度为5℃～40℃：
b）空气相对湿度<85%；
c）冷却水进水温度<25℃；
d）海拔<3000m
5.3泵应避免抛除错粉坐、腐蚀性或爆炸性气体。泵在正常运转时不允许直接引人大气，不允许有强烈径向振动。橱腐蚀泵可以拍除腐蚀性气体，应按说明书操作运行。5.4为了除气目的，对泵壳、测试罩和其空测过规管进行姚烤，其烘烤温度不得超过以下规定：a）泵体及泵壳上法兰：120℃；h）测试率或改空容器：300℃：c）真空测斑规管：400℃。
5.5泵的进气口连接法兰及密封断可参见附录A。5.6泵的出气口连接法兰及密封可参见附录A。5.7为了防止异物落人泵内，泵的进气口应设置耐腐蚀金扇过滤网，并加以固定。5.8泵应在明显位置设暨主机运转方向的指示标牌。5.9泵应采用专用汕、脂润滑。
5.10冷却水流量应符合设计要求，且具有保护装置。5.11泵的电动机和烘烤装罩对泵壳应真有可靠的绝缘措施，其绝缘电阻不小于2M2，5.12电源输出电流不应大予设计图样规定值，具有保护措施。5.13电源输出的三相电压应对称，其不对称性不得超过士5%。5.14主机与电源配套试车后，应进行连续100l运转试验。5.15主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间（MTBF）应达到以下要求：主机：≥8000h：
电源：280001。
6测试方法
6.1最低工作压力测试
最低工作压力的测试应符合ISO5302：2003中6.9的规定。6.2压缩比测试
6.2.1缩比的测试装，应符合ISO 5302：2003 中 6.10 的规定，6.2.2压缩比测试所用气体一锻为氮气（Nz）和氢气（Hz），无论使用何科气体，必须标明气体种类并且真纯度应在99.9%以上。
6.2.3压缩比的测试方法应符合ISO5302：2003中6.10的规定。6.3体积流率测试
体积流率的测试应符合JSO5302：2003中6.5的规定。6.4起动时间测试
起动时间的测试装采用最低工作压力的测试装控，测试装逆应符合ISO5302：2003中6.9的规定。测试方法采用测试段低工作压力时，朋秒表測试分子泵从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。
6.5振动测试
振动的测试应符合1S05302：2003中6.11的规定。4
6.6噪声测试
6.6.1泵的安装应符合[SO5302：2003中6.11.2的规定的要求。JB/T10771--2007
6.6.2泵正常运转1h后，前级停止运转，立即按JB/F8106一1999中第7章的规定方法测证泵的噪声。
6.7转速测试
6.7.1泵的装应符合IS5302：2003的6.11.2的规庭的要求。6.7.2泵正常运转1h后测试的转速。测量转速时，用测振仪在泵的上下法兰沿径向圆周上各测三点振幅峰值，并以最大峰值的频率表示泵的转速值：或用国家认定许可的角速度测试仪进行测试，测试方法按角速度测试仪测试规定进行。6.8电源测试
6.8.1电源与主机配套试车时，用常规仪测试输出三相线电压是否符合5.13的要求。6.8.2电源与主机配套试车时，用带规仪器测试电源各参数是否符合设计图样要求。6.8.3电源的环境试验按CBT6587.1-6587.6—1986规定的第IⅡ组类型进行试验。6.9平均无故障工作时间试验
主机和电源的平均无做障工作时间用近3年内试验报告或用户使用报告（连续或累计运行时间）考核。
6.10连续运转试验
主机与电源配套试车后，应进行连续100h运转试验。7检验规则
7.1泵（包括主机和电源）必须经过制造厂检验部门检验合格，并且有质量合格证方能出厂。7.2泵的检验分出厂检验和型式检验。7.2.1出厂检验必须逐台进行，出厂检验项目包括：）外观质量：
b）密封面质量；
c）安全爆护装置的可靠性：
d）瑕低工作压力：
e）振动：
电源参数：
）产品成套性。
7.2.2凡新试制的产品或在产品结构、制造工艺、使用材料等方面有重大改变时，应进行型式检验。型式检验项目包括：
）出厂检验的所有项巨：
b） 压缩比:
伴积流率
d起动时间：
e）噪声：
f）连续运转试验。
7.2.3型式检验：型式检验的样品抽样方法按GB/T2829规定执行，不合质量水平按单位产品规定具体抽样方法如下：
产品二次抽样方案为：DL=，RQL=40，nj=n2=2，Ac1=Ac2=0，Re1=R2=18标志、包装、运输和贮存
JB/T10771—2007
8.1每台宗应在明显位管装有产品标牌，标牌的型式及尺寸由生产商自定。产品名牌至少应注明以下内容：
a）产品型号及规格：
b）制避厂厂名：
c）产品编号及制造日期。
8.2泵包装应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的润滑油，并将滚的逃气口和出气口盖板封严。8.3主机和电源包装时先用塑料薄膜罩封：再用发泡塑料封装后装人包装箱内，或用塑料薄膜罩封后直接装人包装箱内用软质材料填充，并加以固定封牢。电源开塑料薄膜封装时应效人下燥剂（如硅胶）。8.4包装箱外应有些运图示标志，其标志应符合GB斤191的规定。8.5包装箱应适合铁路，公略、内河航运和航空运输，在运输和存放过程中不允许有捌烈振动和倒置如对包装箱有特殊要求，按有关规定办理。8.6主机和电源应存放在通风良好的室内。泵的贮存期一般不超过入个月，如超过六个月，应定期元箱检查。
8.7每台泵出厂时应附有下列文件：a）产品说明
b）产品合格证：
c）装箱单。
附录A
（资料性附录）
复合分子泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈A.1复合分子泵进气口连接法兰及密封圈复合分子泵的进气口法兰选而金属密封真空法兰或橡胶密封真空法兰。A,1.1 系用金属密封其空法兰执行 GB/T 6071 的规楚。A.1.2泵用接胶密封真空法些按下面的规定，A.1.2.1法兰的连接型式见图A.1和图A.2，尺寸见表A.1。支架
好X卡钳组件
连接盖
图A.1卡钳法兰连接
连接法兰0影时
分子源法兰
独兰变环
活套法兰的连接
JB/T 10771-2007
分子减法兰
x垫片
Hr×螺控
JB/T10771—2007
公称通径
：实际公称通径为150mm。
公称通径
法兰的连接尺寸
卡销法兰用卡钳组件
卡钳螺纹
M10X60
M12X78
-1钳法兰或活套法兰肩圈型式见图A.3，尺寸见表A.2。3
实际公称通径为150mm。
单位：mm
活套法兰用螺栓（GB/T5782—2000)、垫片（GB/T848—2002）
卡钳法兰或活套法兰肩圈型式
卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸
支架型式见图A,4，尺寸和配用的0形照见表A,3。H
单位：mm
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