【机械行业标准(JB)】 真空技术 涡轮分子泵

[CS 23.160
备案号：21689—2007
中华人民共和国机械行业标准
JB/T91252007
代替JBT9125—1995
真空技术
涡轮分子泵
Vacuum technology - Turbomolccular pumps2007-08-28 发布
2008-02-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布CEPIc
2规范性引用文件
3术语和定义
4型式和基本参数，
4.1型号表示方法
4.2基本参数
5技术要求
6测试方法.
6.1最低工作压力测试
压缩比测试，
体积流率测试.
起动时间测试.
振动测试
噪声测试.
转速测试，
电源测试
平均无故障工作时间试验，
6.10连续运转试验
检验规则．
8标志、包装、运输和贮存
附录A（资料性附录）涡轮分子泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈A.1涡轮分子泵进气口连接法兰及密封圈A.2涡轮分了泵出气口连接法兰及密封圈图A.1卡钳法兰连接
活套法兰的连接，
卡钳法兰或活套法兰肩圈型戏
支架型式
法兰套环型式，
弹性卡圈型式.
卡钳螺钉组件型式，Www.bzxZ.net
DN50连接器，
图A,t1
DN50支架，
“O”形密封圈
DN50卡箍
表 1泵的基本参数
表A.I法兰的连接尺寸..
表A.2卡钳法兰或循套法兰肩圈尺寸JB/T9125—2007
JB/T 9125—2007
支架尺寸和配用0形胸
法兰套环尺寸
彈性圈尺寸
卡钳螺钉组件尺寸
..1141-
本标准代替JB/T9125—1999立涡轮分了泵》。本标雅与JB/T9125—1999相比，主要变化如下：JB/T9125—2007
一采用了ISO5302：20D3（E）《真空技术涡轮分了泵一性能测量》的术语和定义，如：“抽气速率”一词改为“体积流率”，新增“最低工作压力”、“临界前级压力”、“最高\作压力”和“最大流量”的术语。同时对“极限力”的定义增加了“注1：它是泵能获得的最低压力。”“注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本标准中也不给出极限压力的测试程序。但是如果制造厂列出了极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件，”等等。“4,1型号表示方法”中增加了“特征符”和“注，”“5基本参数”的“表1泵的基本参数”合并了原“6.5推荐前级泵应符合表2要求”，并对表中数值进行了修订。
：“6.2”中增加“d)\，“6.3”中增加“耐腐蚀泵可以抽除摘蚀性气体，但应按说明操作运行”。一“试验”、“检查”改为“测试”。“7测试方法”中采用了S05302：2003（E）的测试方法。详细说明了“型式检验”的抽样方法和判定标准。-增加了料性附录“涡轮分子泵逃气口、出气口的连接法兰及密封圈”（见附录A）本标雅附录A为资料性附录。
本标准由中国机械工业联合会提山。本标准由全国支空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口本标准负资起章单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、北京北仪创新真空技术有限责任公司、沈阳真空技术例究所。
本标准主要起草人：张勤德、邹蒙、李奇志、孟样菊、周毅、李春影。本标雅所代替标涯的历次版本发布情况：ZB J78 015.1—1989、ZB J78 015.2—1989;—JB/T 9125—1999.
1范围
真空技术涡轮分子泵
JB/T9125—-2007
本标准规定了涡轮分子泵的型式利基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、遂和贮存等。
本标摊适用于具有前级泵、变频电源的涡轮分子泵（以下简称泵）。2规范性引用文件
下列文件啦的条款通过本标雅的引用而成为本标准的条款。凡是注口期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标雅达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注口期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T191—2000包装储运图示标志（eVISO780：1997）GB/T848—2002小毕A级（ISO7092：2000，MOD）GB/T2829一2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）GB/T3452.1—2005液压气动用O型橡胶密封圈第1部分尺寸系列及公差（ISO3601-L:2002，MOD)
真空技术快御连接器尺寸第1部分：夹紧型（ISO2861-1：1974，DT）GB3/I 4982—2003
GB/T5782—2000
六角头螺钉（eqv1504014：1999）超高真空法兰
GB/T 6071-—-2003
G13/T 6587.1-1986
电子测量仪器环境试验总纲
GB/T 6587.2—1986
电子测量仪器温度试验
GB/T 6587.3- -1986
GB/T 6587.4--1986
GI3/T 6587.5--1986
GB/T 6587.6-1986
电子测量仪器视度试验
电子量仪器振动试验
电子测摄仪器
冲击试验
电子测量仪器运输试验
B/T8106—1999容积真空泵噪声测量方法真空技术涡轮分丁泵性能测量
ISO5302:2003
3术语和定义
ISO5302中确立的以及下列术语和定义适用于本标推。3.1
体积流率valumeflowrate
在理想条件下，单位时间从测试罩流过泵人口的气体体积。注1：山于实际测试的原因，泵对给定气体的体积流率通常约定为等于该气体的流追与给定点的平衡压力之商，体积流率采用的单位为立方米每秒（ms）或升每秒（L/s）注2：有时用术语“抽气速率”和符号“5”米代替体积流率。3.2
最低工作压力
minirnumopcrational pressurePo
JB/T 9125—2007
烘烤48l后，在测试罩中获得的压力3.3
压缩比comprcssionratio
涡轮分子泵前级压力p与其入口压力P,之比。Ke= pap
注：为了得到给定气体的游流盘压缩比Kc，则该气体在出口管中分压力至少为P的90%。3.4
启动时间startingtimc
从接迦电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。3.5
极限压力 ultimate pressure
测试罩中逐渐趋近的压力值。
注1：它是泵能获得的最低压力。注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力萱。本标准中也不给出极限压力的测试程序。但是如果制造厂列出了被限压力，那就应当说明完股测试的1作条件。3.6
critical backing pressure
临界前级压力
当泵仍能保持其压缩比卫1=2，且清洁气流流通时的最高前级几力P2：对卡没有清洁气流接口的泵，当泵仍能保持其压缩比palp1≥2，泵的最高前级压力P2°注，P是人口处（高）真空压力。3.7
最高工作压力maximumworkingpressurePimax
涡轮分子和驱动囊滑不技损坏的条作下所能承受的泵人口最离宝。3.8
最大流量 maximum throughput
能连续抽气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为帕升每秒（Pa·Lis）［毫巴升每秒(nbarLs)J。
：这个极限参效收决于泵的设计，大多数游况下，这个参数以泵规定位置的最高温度来给出。值取决了被抽气体、所使用的前级泵、以及冷却条件等。4型式和基本参数
型号表示方法
口口／口
特征符号：
体积流率（抽气速率）：单位为Lis进气口通径，单位为mm
涡轮分子泵，用字母F表示
目“特征符号，指泵的润滑方式、冷却方式、待殊结构、特殊用途的字母代号，由生产商自定，但字母代号所代表的意义必须在样本资料和说明书中注胡：例如2
一风冷分子泵，缺省为水玲分子泵。示例：
进气口通径为160mm，体积流率为450L/s的涡轮分子涂，标记为：F-160/450。4.2基本参数
泵的基本参数如表「所示
JB/T9125--2007
注1：泵型号超出表1的或源有特殊性能要求的，生产商参考表1结合使用要求在样本资料和他用说明书中列出泵的基本参数。
江2：对汀临界前级压力、鼓大流量、最高工作压力三项性能指标，由生产广商白定，但妇果给出必须按JS05302进行测试。
泵的基本参数
体积流率
最低工作压力
压缩比
启动时间
噪声L
dB (A)
逆气口通径
出气口通径
电源“输人电压
电源消托功率
电源启动功率
推荐前级泵的体积流率
前级压力
F-100?
≤120
电源有以下三种类型
F-160/
F-200/
F-250F
≥1500
10-5~10-
F-320/
≥3000
110(1±10%）（60Hz）或220(1±10%）（50Hz）或380([±10%）（50Hz）240
）电子模拟式白动变频电源：
b）微机程控式自动变频电源：
c）电机变频式电源。
≤1200
15～~30
前级象的体积流率详细计算按ISO5302：2003中“6.3前级泵规格”的规定进行。800
F-500r
≤2000
JB/T 91252007
5技术要求
5.1泵的主要技术性能应符合表「和按规定程序批推的设计图样要求。5.2泵在下列条件下应能正常二作：a）环境温度为5℃~40℃；
b）空气相对湿度<85%;
c）冷御水进水温度<25°℃：
d）海拔<3000m
5.3泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体。察在正常运转时不允许直接引入大气，不允诈有强烈径向振动。耐腐蚀泵可以抽除腐蚀性气体，但应按说明书操作运行。5.4为了除气目的，对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤，其烘烤温度不得超过以下规定：a）泵体及泵壳上活兰：120C：
b）测试罩或真空器：300'℃；
c）真空测基规管：400℃。
5.5泵的进气口连接法兰及密封可参见附录A。5.6泵的出气口连接法兰及密封圈可参见附录A。5.7为了防止异物落入泵内，泵的进气口应设置耐嬷蚀金属过滤网，并加以固定。5.8泵应在明显位置设置主机运转方向的指示标牌。5.9应采用专用油、脂润滑。
5.10冷却水流量应符合设计要求，且具有保护装置。泵的电动机和烘烤装暨对泵壳应具有可靠的绝缘措施，其绝缘电阻不小于2M2。5.111
5.12电源输出电流不应大于设计图样规定值：具有保护措施。5.13电源输山的三相电压应对称，其不对称性不得超过土5%。5.14主机与电源配套试车后，应进行连续100h运转试验。5.15主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间（MTBF）应达到以下要求：主机：≥8000h；
电源：8000h。
6测试方法
6.1最低工作压力测试
最低工作压力的测试应符合ISO5302：2003中6.9的规定。6.2 压缩比测试
6.2.1压统比的测试装置，应符合IS05302：2003中6.10的规定，6.2.2压缩比测试所用气体一般为氨气（N2）利气（H2），无论使用何种气体，必须标明气体种类并且其纯度应在99.9%以上。
6.2.3压缩比的测试方法应符合[SO5302：2003中6.10的规定。6.3体积流率测试
体积流率的测试应符合IS05302：2003中6.5的规定。6.4起动时间测试
起动时间的测试装置采用最低工作压力的测试装置，测试装置应符合IS05302：2003中6.9的规定。测试方法采用测试最低工作压力时，用秒表测试分子泵从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。
6.5振动测试
振动的测试应符合ISO5302：2003中6.11的规定。4
6.6噪声测试
6.6.1泵的安装应符合ISO5302：2003中6.11.2的规定的要求。JB/T 9125—2007
6.6.2泵正常运转1h后，前级泵停止运转，立即按JBT8106一1999中第7章的规定方法测量泵的噪声。
6.7转速测试
6.7.1系的安装应符合ISO5302：2003中6.11.2的规定的要求。6.7.2泵正常运转1h后测试泵的转迷。测量转速时，用测振仪在泵的上下法兰径向圆周上各测三点振峰值，并以最大峰值的额率表示泵的转速值；或用国家认定许可的角速度测试仪进行测试，测试方法按角速度测试仪测试规定进行。6.8电源测试
6.8.1电源与主机配套试车时，用常规仪测试输出三相线电压是否符合5.13的要求。6.8.2电源与主机配套试车时，用常规仪器测试电源各参数是否符合设计图样要求。6.8.3电源的环境试验按GB门6587.1~6587.G-—[986十规定的第II组类型进行试验6.9平均无故障工作时间试验
主机和电源的平均无故障工作时间用近三年内试验报告或用户使用报告（连续或累计运行时间）考核。
6.10连续运转试验
主机与电源配套试车后，应进行连续100b运转试验。7检验规则
7.1系（包括主机和电源）必须经过制造厂检验部门检验合格，并且有质量合格证方能出厂。7.2泵的检验分出检验和型式检验。7.2.1出厂检验必须逐分进行，出厂检验项目包括：）外观质基：
b）密封面质量；
c）安全保护装置讷可靠性；
d）最低工作压力：
c）振动：
f）电源参数：
g）品成套性。
7.2.2凡新试制的产品或在产品结构、制造工艺、伙用材料等方面有重人改变时，应进行型式检验。型式检验项目包括：
a）出厂检验的所有项目：
b）压缩比；
c）体积流率；
d）起动时间；
e）噪南；
f）连续运转试验。
7.2.3型式检验：型式检验的样品抽样方法按GB/T2829规定执行，不合格质量水平按单位产品规定，具体抽样方法如下：
产品二次抽样方案为：DL=，RQL-40，n1=n2=2，Ae1=Ae2=0，Rel=Re2=1。5
JB/T9125—2007
8标志、包装、运输和贮存
8.1每台泵应在明显位置装有产品标牌，标牌的型式及尺寸由生产商自定。产品名牌至少应注明以下内容：
a）产品型号及规格：
b）制造厂厂名：
c）产品编号及制造日期。
8.2泵包装应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的润滑油，并将泵的进气口和出气口用盖板封严。8.3主机和电源包装时先用塑料薄膜罩封，再用发泡塑料封装后装入包装箱内：或用塑滤膜罩封后直接装入包装箱内用软质材料填充，开加以固定。电源用塑料薄膜封装时应放人于燥剂（如硅胶）。8.4包装箱外应有贮运图示标志，其标志应符合GB/T19［的规定，8.5包装箱应适合铁路，公路，内河航运和航空运输。在运输和存放过程中不允许有剧烈振动和倒置如对包装箱有特殊要求，按有关规定办理。8.6主机和电源应存放在通风良好的靠内。录的贮存期一般不超过六个月，如超过六个月，应定期开箱检查。
8.7每台出厂时应附有下列文件：a）产品说明书：
b）产品合格证；
）装箱单。
附录A
（资料性附录）
涡轮分子泵进气口，出气口的连接法兰及密封圈A.1涡轮分子泵进气口连接法兰及密封圈揭轮分子泵的进气门法兰选用金厨密封真空法兰或橡胶密封真空法兰。A.1.1泵用金据密封真空法兰执热行GB/T6071的规定。A,1.2泵用橡胶密封真空法兰按下面的规。A.1.2.1法兰的连接型式见图A.1和图A.2，尺寸见表A.1u支
连接法兰
卡钳法兰连接
海换决兰0形
法益要环
分子泵法兰
图A.2活套法兰的连接
.IB/T 9125—2007
分子泵张兰
股x垫片d
JB/T 9125—2007
公称通径
，实际公称通径为150mm。
公称適径
表A.1法兰的连接尺寸
卡钳法兰用卡钳组件
卡钳螺纹
M10X60
M12X78
卡钳法兰或活套法兰肩圈式见图A.3，尺寸见表A.2。D
单位：mm
活弃法兰用媒栓（(B门5782—2000）垫片（GB/T848—2002)
图4.3卡钳法兰或活套法兰肩型式表A.2
■实际公称通径为150mm。
卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸
支架型式见图A.4，尺寸和配用的0形圈见表A.3。Hi
单位：mm
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。