【机械行业标准(JB)】 硅压阻式压力传感器

ICS17.100
中华人民共和国机械行业标准
JB/T10524—2005
硅压阻式压力传感器
Specification for micromachined piezoresistive silicon pressure sensors2005-05-18发布
2005-11-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布前言…
1范围..
2规范性引用文件
3产品分类，
3.1分类和命名
3.2设计和结构.
3.3工作范围，
4要求
详细规范，
温度特性，
桥路电阻，
零点输出.…
满量程输出.
绝缘电阻，
绝缘强度(适用时)
非线性
重复性，
准确度.
静态过载
短期零点稳定性
长期稳定性
冲击，
5试验方法．
5.1试验条件
5.2外观..．
5.3工作温度范围
5.4桥路电阻.
零点输出
满量程输出
绝缘电阻
绝缘强度
非线性.……
迟滞.…
重复性
JB/T10524-2005
JB/T10524—2005
准确度
静态过载.
热零点漂移，
热满量程漂移.
短期零点稳定性
长期稳定性.
检验规则..
出厂检验.…
型式检验，
7标志、包装、运输及贮存
检验项目
本标准是首次制定。
本标准由中国机械工业联合会提出。前言
本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会归口。本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院。本标准主要起草人：徐淑霞、徐秋玲。JB/T10524—2005
1范围
硅压阻式压力传感器
JB/T10524--2005
本标准规定了硅压阻式压力传感器（以下简称传感器）的产品分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本标准适用于以微机械加工技术制造的硅压阻式压力传感器的生产、使用、验收和质量管理等。2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T2423.5--1995电工电子产品环境试验第二部分：试验方法试验Ea和导则：冲击（idtEC60068-2-27：1987)
GB/T2423.10-1995电工电子产品环境试验第二部分：试验方法试验Fc和导则：振动（正弦）(idtEC60068-2-6:1982)
GB/T2829一2002周期检查计数抽样程序及抽样表（适用于对过程稳定性的检验）GB 9969.1---1998
3工业产品使用说明书总则
GB/T13264一1991不合格品率的小批计数抽样检查程序及抽样表GB/T14436-1993工业产品保证文件总则仪器仪表包装通用技术条件
GB/T15464-1995
GB/T15478—1995
5压力传感器性能试验方法
JB/T6172-—2005
3产品分类
3.1分类和命名
3.1.1分类
压力传感器系列型谱
传感器的分类应符合JB/T6172—2005第3章的规定。3.1.2命名
传感器的命名应符合JB/T6172一2005第4章的规定。3.2设计和结构
3.2.1外形及安装尺寸
传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定。3.2.2电气连接
传感器的电气连接方式应符合详细规范的规定，3.3工作范围
3.3.1量程
传感器测试量程推荐为：
1×10\，1.6×10\，2.5×10″，4×10\，6×10\。其中n为整数，n=0、土1、±2、土3、…………量程的单位为：Pa（kPa、MPa）。1
JB/T10524——2005
3.3.2激励
当采用恒压源激励时，推荐使用的直流电压为：5V,6V,10V,12V,24V;
当采用恒流源激励时，推荐使用的直流电流为：1.0mA,1.5mA,2.0mA,10mA。
4要求
4.1详细规范
传感器应符合本标准和相关详细规范规定的所有要求。本标准的要求与详细规范不一致时，应以详细规范为准。
4.2温度特性
4.2.1工作温度范围
推荐使用传感器工作温度范围为：0℃~70℃，-25℃~85℃，-45℃~125℃。在工作温度范围内，传感器零点输出和满量程输出误差应符合详细规范的规定。4.2.2补偿温度范围
补偿温度范围应在工作温度范围内确定，应符合详细规范的规定。4.2.3购存温度范围
贮存温度范围应宽于或等于工作温度范围，并符合详细规范的规定。4.2.4热零点漂移
在补偿温度范围内，传感器的热零点漂移应符合详细规范的规定。4.2.5热满量程漂移
在补偿温度范围内，传感器的热满量程漂移应符合详细规范的规定4.3桥路电阻
传感器的桥路电阻应符合详细规范的规定。4.4零点输出
传感器的零点输出应符合详细规范的规定。4.5满量程输出
传感器的满量程输出应符合详细规范的规定。4.6绝缘电阻
传感器的绝缘电阻应不小于100M2。4.7绝缘强度(适用时）
传感器应无击穿和飞弧现象。
4.8非线性
非线性应符合1.0%FS、0.5%FS、0.2%FS、0.1%FS、0.05%FS、0.02%FS等级规定。参考直线类型由详细规范规定。4.9迟滞
迟滞应符合0.5%FS、0.2%FS、0.1%FS、0.05%FS、0.01%FS等级规定。4.10重复性
重复性应符合0.5%FS、0.2%FS、0.1%FS、0.05%FS、0.01%FS等级规定。2
4.11准确度
JB/T10524—2005
准确度应符合1.5%FS、1.0%FS、0.5%FS、0.25%FS、0.1%FS、0.05%FS、0.02%FS、0.01%FS等级规定。
4.12静态过载
试验后传感器的准确度应符合4.11的规定。4.13·短期零点稳定性
传感器的短期零点稳定性应符合详细规范的规定。4.14长期稳定性
传感器的长期稳定性应符合详细规范的规定。4.15振动
试验后传感器应无机械损伤，其准确度应符合4.11的规定。4.16冲击
试验后传感器应无机械损伤，其准确度应符合4.11的规定。4.17外观
传感器外表应光洁、完好，不得有划痕及其他损伤：焊缝应均匀、光滑；标记应完整、清晰。4.18寿命
压力循环次数应符合详细规范的规定。试验后传感器应无机械损伤，其准确度应符合4.11的规定。5试验方法
5.1试验条件
5.1.1参比大气条件
环境温度：18℃~22℃：
环境湿度：60%RH～70%RH；
大气压力：86kPa~106kPa。
5.1.2一般试验大气条件
环境温度：20℃±5℃；
环境湿度：不高于85%RH；
大气压力：86kPa～106kPa。
5.1.3·仲裁试验大气条件
环境温度：20℃±1℃；
环境湿度：65%RH土2%RH：
大气压力：86kPa～106kPa。
5.1.4校准系统
校准系统的条件应符合GB/T15478一1995中3.3的规定5.2外观
传感器的外观采用目视检查，结果应符合4.17的规定。5.3工作温度范围
在详细规范规定的工作温度范围的上限、下限和室温附近参考温度点分别恒温2h以上，同时施加激励，测试传感器的零点输出和满量程输出，循环三次，其上线、下限输出值与参考温度点的最大误差应不大于详细规范的规定
5.4桥路电阻
传感器的桥路电阻采用不低于0.5级数字万用表或与其相当的仪表检测，结果应符合4.3的规定。5.5零点输出
JB/T10524---2005
给传感器施加标准激励，用符合GB/T15478--1995中3.3.3要求的仪表测量被测范围下限的输出值，结果应符合本标准4.4的规定。
5.6满量程输出
给传感器施加标准激励，用符合GB/T154781995中3.3.3要求的仪表测量被测传感器压力范围下限和上限的输出值，结果应符合本标准4.5的规定。5.7绝缘电阻
按GB/T154781995中5.3.2d）的规定试验，在100V直流电压下，结果应符合本标准4.6的规定。5.8绝缘强度
按GB/T15478一1995中5.3.2e）的规定试验，给传感器引出线与壳体之间施加50Hz、500V电压，保持1min，结果应符合4.7的规定。5.9非线性
按GB/T15478一1995中5.4的规定进行，结果应符合本标准4.8的规定。5.10迟滞
按GB/T15478一1995中5.4的规定进行，结果应符合本标准4.9的规定。5.11重复性
按GB/T15478一1995中5.4的规定进行，结果应符合本标准4.10的规定。5.12准确度
按GB/T15478-1995中5.4的规定进行，结果应符合本标准4.11的规定，5.13静态过载
过载压力：200%量程上限（压力量程小于10MPa）；150%量程上限（压力量程10MPa60MPa）；120%量程上限（压力量程大于60MPa）；130%量程上限（差压低压端）；保持时间：1min；
重复次数：三次。
恢复30min后，结果应符合4.12的规定。5.14热零点漂移
按GB/T15478一1995中5.7.2.1的规定试验，在补偿温度范围内，结果应符合本标准4.2.4的规定。5.15热满量程漂移
按GB/T15478-—1995中5.7.2.1的规定试验，在补偿温度范围内，结果应符合本标准4.2.5的规定。5.16短期零点稳定性
对传感器连续施加规定激励，并放人温度恒定在规定温度范围的试验箱内，温度波动应小于土1℃。测试前恒温、通电时间应不少于1h，每隔1h测试一次，连续测试时间为24h。按公式（1）计算短期零点稳定性，结果应符合4.13的规定。So=Lmax/Uin
ALmax = Lmax - Lo
式中：
So-短期零点稳定性，单位为mV/V；ALmax—最大零点漂移量，单位为mV；Uin—传感器激励端电压，单位为V；4
Lmax一漂移量最大的零点输出值，单位为mV；Lo试验起始零点输出值，单位为mV。5.17长期稳定性
JB/T10524—2005
对传感器施加规定激励，每天通电不少于4h：每隔15天应有次6h的连续测试，并每间隔1h进行-次零点输出和满量程输出测试，测试时传感器的工作温度应保持在20℃土1℃，测试前应恒温、通电1h，考核时间为六个月。按公式（2）计算长期零点稳定性，按公式（3）计算长期满量程稳定性，结果应符合3.18的规定。
a）长期零点稳定性
式中：
长期零点稳定性，%；
ALmax.×100%
静态校准的满量程输出值，单位为mV。YES
b）长期满量程稳定性
式中：
△Fmax×100%
Fmax=FmaxFo
长期满量程输出稳定性，%；
最大满量程输出漂移量，单位为mV：漂移量最大的满量程输出值，单位为mV；试验起始满量程输出值，单位为mV；静态校准的满量程输出值，单位为mV。(2）
5.18振动下载标准就来标准下载网
按GB/T2423.10规定的试验方法进行，试验条件按相关详细规范的规定。结果应符合本标准4.15的规定。
5.19冲击
按GB/T2423.5规定的试验方法进行，试验条件按相关详细规范的规定。结果应符合本标准4.16的规定。
5.20寿命
给传感器施加频率不小于0.1Hz的脉动压力：压力循环下限：10%FS土10%FS；压力循环上限：70%FS土10%FS：疲劳时不加激励。试验条件按相关详细规范的规定。其结果应符合本标准4.18的规定。6检验规则
6.1出厂检验
每只传感器必须经出厂检验，并由质检部门确认合格后方可出厂，并附说明书和产品合格证。产品说明书应按GB9969.1规定编写：合格证应按GB/T14436规定编写。出厂检验项目见表1，项目检验顺序按表1规定进行。6.2型式检验
6.2.1检验规定
JB/T10524—2005
下列情况之一时，应进行型式检验：新产品定型时；
b）正常生产周期达两年；
c）产品的结构、工艺、材料进行改进可能影响性能时；d）连续停产超过半年又恢复生产时。表1
检验项目
桥路电阻
零点输出
满量程输出
绝缘电阻
绝缘强度
非线性
重复性
准确度
静态过载
热零点漂移
热满量程漂移
短期零点稳定性
长期稳定性
注：“”为检验项目；
的起始时间和抽样数量。
检验项目
技术要求
章条号
检验项目
试验方法
章条号
出厂检验
型式检验
检验项目
不合格类型
为不检验项目。长期稳定性检验作为单独考核项目，由企业质检管理部门确定检验型式检验项目见表1，项目检验顺序按表1的规定进行。6.2.3抽样、判定规定
型式检验的抽样及判定按GB/T2829的规定进行，以不合格品数为判断依据。样本量n=10，采用判别水平I的一次性抽样方案，对于B类不合格品，采用不合格质量水平RQL=20，判定数组A=1、Re=2；对于C类不合格品，采用不合格质量水平RQL=40，判定数组A。=3、Re=4。对于有1个B类不合格品、一个C类不合格品的检验，判定为合格。判定数组样本共10只，由质量管理部门按随机的方式抽取，生产部门提供的样品基数应大于30只。样品数量少于30只时，型式检验的抽样及判断按GB/T13264的规定协商进行。6.2.4对不合格判定的处理
检验结果被判定为不合格时，质检管理部门应组织相关人员分析不合格原因，对相应的同批产品提出处理意见，并敦促生产部门采取改进措施。改进后生产的首批产品应重新进行型式试验。检验项目为6
上一次型式检验有不合格品的项目，抽样和判别按本标准6.2.3的规定进行。7标志、包装、运输及贮存
7.1标志
7.1.1型号标志
传感器应有以下标志：
电源输人线和输出线及极性的标志；差压传感器的高压端和低压端接嘴应有永久性标志；型号标记应包含下列内容：
型号：
出厂编号；
量程；
生产日期；
生产单位名称或商标。
当传感器的尺寸小到无法全部标注以上内容时，至少应包含a)、b)两项内容。7.1.2运输标志
在传感器的包装（盒）箱外表上应有运输标志并标明：a)
产品名称及型号规格；
收货单位：
发货单位：
注意标志；
装箱日期；
装箱员代号。
7.2包装
7.2.1传感器包装
传感器包装应符合GB/T15464的规定。7.2.2随机文件
a）装箱单；
b）产品合格证：
安装使用说明书：
d）其他相关文件资料。
7.3运输
包装成箱的传感器允许采用各种运输工具运输。7.4贮存
JB/T10524—2005
传感器应存放在10℃～60℃、相对湿度不大于85%RH的通风环境内，环境空气中不得含有腐蚀性气体。