【国家标准(GB)】 无损检测术语 泄漏检测

中华人民共和国国家标准
无损检测术语
泄漏检测
Terminology for nondestructive testing--Leak testing
主题内容与适用范围
GB/T 12604.7-1995
本标准规定了在泄漏检测的一般概念，泄漏检测设备、器件和材料，泄漏检测方法中使用的术语。本标准适用于泄漏检测。供制定标准和指导性技术文件及编写和翻译教材、图书、刊物等出版物时使用。
2泄漏检测的般概念
2.1泄漏检测 leak testing
检测泄漏或对泄漏定位或定量的方法，或三者兼备的方法。2.2大气压力 atmospheric pressure在特定地点和时间的大气的压力。同义词：大气压强
2.3大气压（标准）atmosphere（standard)0℃时，在标准重力加速度下，760mm高汞柱所产生的压力，相当于101325Pa。2.4
绝对压力 absolute pressure
与真空空间相对应的绝对零值以上的压力，即地区大气压力加上表压力。同义词：绝对压强
2.5 表压力 gage pressure
绝对压力与大气压力之差。
同义词：表压
2.6 压力差 pressure difference漏孔入口侧的压力与漏孔出口侧的压力之差。同义词：压强差
分压力 partial pressure
由一种气体本身产生或是有其他气体存在时产生的压力。当不存在第二种气体时，分压力与总压力相同(见表 1)。
同义词：分压
国家技术监督局1995-12-20批准1996-08-01实施
在海平面（大气压力为101kPa）：氧气
其他气体
在海拔3700m（大气压力为64kPa）：氧气
其他气体
GB/T 12604.7--1995
表1大气成分与分压力
体积，%
2.8 等效氮压力 equivalent nitrogen pressure分压力,kPa
(0. 21X101=)21
(0. 78X101=)79
(0. 01X101=)1
总计大气压力，101
(0. 21X64 =- )13
(0. 78X 64=)50
(0. 01×64-)1
总计大气压力，
如果装置内的气体用相同分子密度的氮气代替时，由压力计或其他仪表所指示出的计算压力。同义词：等效氮压
2.9 牛［顿」 newton(N)
国际单位制中力的单位(kg·m/s2)。2.10帕［斯卡帕］」Pascal（Pa）1Pa约等于1×10-5atm，或更确切地说，1Pa=0.98692×10-5atm。2.11
微米(μm）micrometre;micron
长度单位，等于1m的百万分之一微米汞柱micron of mercury
压力单位，等于1μm高汞柱产生的压力。2.13毫米汞柱millimetre of mercury压力单位，等于标准重力加速度下1mm高汞柱产生的压力，有时称为托（Torr）。2.14
前级压力forepressure
在靠近泵出口处测出的泵出口侧的总压力。在讨论喷汽的作用时，术语前级压力可用来表示喷汽冲击气体的总压力。
同义词：背压back pressure；抽气压力exhaust pressure；排气压力discharge pressure；出口压力outlet pressure。
2.15蒸汽压力
vaporpressure
当固体或液体与其蒸汽平衡时，该蒸汽所产生的压力。2.16气体gas
物质的一种形态，在此形态下，分子实际上不受分子间力的约束，因而分子能自由地占据密闭体内的整个空间。在真空技术中，气体这个词在不严格的情况下，也已应用于真空系统中的不凝结气体和蒸汽。
2.17理想气体ideal gas
种遵循波义耳定律（Boyle'slaw）并具有自由膨胀无热效应【或者也遵循查理定律（Charle'slaw的气体。
同义词：完美气体perfectgas
2.18非冷凝气体noncondensable gas…-种温度高于其临界温度的气体，这种气体单靠增压不能液化。2.19分子流molecular flow
GB/T 12604.7—1995
在气体分子平均自由程大于通道横截面最大尺寸的条件下，通过通道的气流。2.20粘滞流viscous flow
在气体分子平均自由程远小于通道横截面最小尺寸的条件下，通过通道的气流。这种流可能是层流，也可能是瑞流。
泊萧流Poiseuille flow
层状粘滞流通过圆形截面长管时的特殊情况。2. 22 过渡流 transition flow介于层状粘滞流与分子流之间的气流。同义词：克努森流Knudsen flow2.23 流速 flow rate
气体通过系统给定截面的速率，用单位时间内通过的气体体积与该截面上它的（分）压力的a.
乘积来确定；
b．在通气管两端或孔的两侧，气体分压力差与该通气管或孔的导气率的乘积，以单位时间内压力-体积表示，如Pa·m\/s。
同义词：流量flow；throughput帕［斯卡立方米每秒pascal cubic metres persecond (Pa·m*/s)。2.24
国际单位制中推荐的气体流量单位。1Pa·m\/s约等于10atm·cm\/s，或更确切地说，1Pa -m2/s=9.869 2atm -cm2/s。2.25流西克lusec
流速的单位，等于0.133mPa·m2/s。2.26克流西克clusec
一种已不用的流速单位，等于10-2流西克。漏孔leak
密闭体壁上的孔洞，在壁两侧压力差或浓度差的作用下，液体或气体能从壁的一侧穿到另-一侧，而与流体的流量无关。
2.28 漏 aperture leak
几何形状为漏道的长度远小于其最小直径的一种漏孔，因此，可认为这种漏孔等效为无限薄壁上的一个通孔。
2.29分子漏孔molecular leak
几何形状为气流通过时遵循分子流定律（Knudsen'slaw）的一种漏孔。流量与两端压力差成正比，与该气体分子量的平方根成反比。2.30粘滞漏孔viscous leak
几何形状为气流通过时呈“粘滞”性，即气流遵循泊萧定律（Poiseuille'slaw）的一种漏孔。流速与两端压力平方差成正比，与气体粘滞性成反比。2.31 虚漏 virtual leak
在真空系统中因捕获气体的缓慢释放而造成有漏孔的假象；或由于系统在抽空前，曾暴露在大气压下，在升压率检测时，系统中所有材料的表面上和细孔内都在缓慢地释放所吸附或吸留的气体，从而造成真空系统中有漏孔的假象。2.32 漏率 leakage rate
在给定温度和漏孔两侧规定压力差的条件下，液体或气体通过漏孔的流速。对气体来说，标准条件是25C和100kPa。漏率可用不同的单位表示，如Pa·m/s或Pa·L/s（见表2）。399
被换算单位
漏率：
atm *cm°/s
micron - litres/s
micron - ft\/h
pascal . litres/s
STD·cm'/s
Torr. litres/s
压力：
atmosphere(std)
micrometre of Hg
micron
millimetre of Hg
pounds-force/in2
粘度：
centipoise
体积：
GB/T 12604.7-1995
表2泄漏检测用的单位换算系数
换算后单位
Pa? m'/s
Pa· m'/s
Pa· m*/s
Pa? rn'/s
Pa· m\/s
Pa· m'/s
Pa· s
2. 33 标准漏率 standard leakage rate换算系数
1.01×10-1
1.33×10-4
1. 05×10-6
1.00×10-3
1. 01×10-1
1.33×10-1
1.01×105
1.00×105
1.33×10-1
1.33×10-1
1.33×102
6.89×103
1.33×102
1.00×10-3
1.00×10-1
1.00×10-s
2.83×10-2
1.00×10-3
在入口压力为0.1MPa土5%、出口压力小于1kPa，温度为25℃士5℃及露点低于一25℃的条件下大气的流动速率。
最小可探测漏率minimum detectableleakage rate2.34
在检测期间，当有漏孔存在时，某一给定检漏仪能够明确检出的最小漏率值。2.35
泄入率 in-leakage rate
在特定抽空的容器中所有漏孔产生的漏率之和，以单位时间内的压力-体积单位表示。同义词：渗入率
permeability coefficient
渗透系数
在给定温度和每单位压差下，气体通过单位面积和单位固体屏障厚度的稳态流动速率。同义词：透气系数
导气率conductance
气体流经导管或通气孔的流速（在稳态守恒条件下）与导管两端或通气孔两侧气体的分压差之比，以单位时间内体积单位表示，如m/s。2.38
流阻resistance (to flow)
导气率的倒数。
灵敏度sensitivity
对于检漏仪来说，系指检漏仪对示踪气体泄漏的响应（即单位漏率显示的表盘刻度值）。2.40
泄漏检测灵敏度 sensitivity of leak test在规定条件下，仪器、方法或系统能够检出的最小漏率。2. 41检漏仪的动态灵敏度dynamic sensitivity of leak detector400
GB/T 12604.7--1995
在规定条件下，对被检密闭体连续进行有效地抽空时，检漏仪能够检出的最小漏率。2.42本底信号background signal　因存在残留的示踪气体或其他会引起检测元件响应的物质，而使检漏仪产生稳定的或波动的输出信号。
2.43漂移drift
由于电子学上的原因，而不是示踪气体量的变化引起的检漏仪本底输出电平出现相对缓慢的变化。
2.44氨漂移helium drift
用探头进行泄漏检测时，距探头端部一定距离处的漏孔或可渗透垫圈引起的漂移。这种漂移被探头检出，可能使操作者误认为探头附近区域有泄漏；或由于探测管中氮浓度的缓慢变化（因泄漏或释气)而引起检漏仪输出仪表指针的逐渐激移，以单位时间内的移动刻度数表示。2.45扩散diffusion
气体穿过一种物质的流动，实际上气体是通过该物质的晶格的迁移，而不是通过几何孔（孔径可与分子直径相比)的泄漏。
2.46 散射 scattering
由于分子或离子间的碰撞而引起的向各个方向的弥散或扩散。适用于质谱管中残留气体或通过该管的离子束的效应。
2.47 吸收 absorption
气体渗入或结合到固体（或液体）内部。3 吸留 occlusion
固化时，固体内捕获的不溶解的气体。2.49
吸着sorption
通过吸收、吸附、化学吸着或这些过程的任一组合采集气体。密封tight
根据规定的技术条件进行检测而无泄漏。2.51 严格气密的密封 hermetically tight seal当将对压力侧气体敏感的商用检漏仪置于相对一侧进行动态检测，或使用任何形式的液体检测，均未显示泄漏的密封。
2.52真空vacuum
在真空技术中，指气体压力低于大气压力的给定空间。真空度按压力范围可区分为低真空、中真空、高真空、基高真空和超高真空（见表3)。表3真空度
真空度
低真空
中真空
高真空
甚高真空
超高真空
2.53除气，outgassing
使材料在真空中逸出气体。
2.54 烘烤 bake-out
在抽气过程中，用加热方法使真空系统脱气。近似的压力范画
100kPa~ 3kPa
3kPa~～0. 1Pa
0. 1Pa~~0. 1mPa
0. 1mPa-0. 1μPa
≤0.luPa
2.55粗抽roughing
真空系统的初始抽空。
2.56抽气时间pump-down time
抽空的时间。
2.57 节流 throttling
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通过局部关闭阀门或安装一段低导气率管道来降低抽气系统的净抽气速度。2.58 清除 clean-up
泄漏检测系统的信号输出减少到示踪气体停止进入泄漏系统时所指示信号的37%所需的时间。同义词：清除时间clean-up time2.59响应时间response time
检漏仪或泄漏检测系统产生的输出信号达到连续对被检系统施加示踪气体所获得最大信号的63%时所需的时间。
同义词：响应response
2.60响应系数response factor
卤素检漏仪对0.3MPa/s或更小流量的12号致冷剂［二氯二氟甲烷(（CClzF,))的响应除以对等量的其它卤素检测气体的响应。因此，被检出漏孔的实际漏率将是检漏仪指示值乘以响应系数。示踪气体与非卤素气体混合物的响应是示踪气体的响应系数除以示踪气体在检测气体中所占的分数。
2. 61 升压率 rate of rise
用阀门将真空系统与泵突然隔离后，在给定时间内真空系统的压力上升的时间速率。在测量升压率时，系统的体积和温度应保持不变。2.62 浓度比 concentration ratio一种(气体)混合物中某种成分的原子(分子)数与该混合物中的原子(分子)总数之比。对于理想气体来说，浓度比与该成分的体积分数或分压力相同。2.63前级空间backing space
前级泵(预真空泵)与连带的扩散泵(或要求预真空泵的其他类型的泵)之间的空间。2.64前级罐ballast
当预真空泵暂停时，能维持低的前级压力的足够大的前级空间。同义词：气镇罐
2.65原子质量单位atomic mass unit（amu）粒子（原子、分子、离子等）质量的量度单位，定义为碳原子12质量的1/12。以原子质量单位表示的粒子质量的数值与过去采用的原子量相同。2.66质量数mass number
最接近原子质量的整数，可用原子质量单位或（化学的)原子量表示。2.67平均自由程mean free path个分子与其他分子连续碰撞中所经过的平均距离。2.68电离电位 ionization potential从一一个原子或分子中移去一个电子以形成一个正离子所需要的最小能量，以（电子)伏特表示。2.69 质谱 mass spectrum
在质谱仪内处理某一给定物质时，产生各种质量的离子，质谱是表示离子相对数量的记录、曲线图或表格等。
2.70 遮蔽 masking
将被检件的一部分覆盖，以防止示踪气从覆盖部分可能存在的漏孔中进入。402
同义词;遮挡
2.71 离解 dissociation免费标准bzxz.net
GB/T 12604.7—1995
种物质分解成两种或更多种成分。同义词：裂解；分解 cracking
2.72淹没系统flooded system
检测时，已为示踪气体所充满，以致不能进一步实施泄漏检测的系统。3泄漏检测设备、器件和材料
3. 1 检漏仪 leak detector
检测、定位、测量或兼而有之的检漏装置。3.2质谱检漏仪mass spectrometer leak detector种调节到仅对示踪气体有响应的质谱仪。3.3氨检漏仪helium leak detector用氮气作为示踪气体的检漏仪。3.4超声波检漏仪ultrasonic leakdetector能探测出由分子瑞流产生的超声波能量并能将此能量转换成有用信号的仪器。分子流是在气体通过小孔时从层流转变为流而发生的。3.5火花线圈检漏仪spark coil leakdetector泰斯拉（Tesla)型高频放电线圈，通过线圈铁心与针孔之间的触发火花揭示玻璃真空系统中的针孔。
3.6钯屏检漏仪 palladium barrier leak detector用氢气作为示踪气体并以氢气通过热钯屏扩散进入抽空真空计为原理的一种检漏仪。3.7 差动检漏仪 differential leak detector在带有捕集器的桥式电路中采用两根相似的测流速管，有选择地捕集该系统与任一测流速管之间的示踪气体。
3.8质谱管
spectrometer tube
质谱检漏仪的敏感元件。
3.9卤素检漏仪halogen leak detector一种对卤素示踪气体有响应的检漏仪，亦称为卤素敏感检漏仪或卤化物检漏仪。a．卤化物喷灯，由一个能将火焰喷射在铜板或屏上的本生灯和一根带有取样探头的可将示踪气体输送到本生灯进气口的软管组成。同义词：铜-火焰检测仪copper-flamedetectorb。碱离子二极管卤素检漏仪，它依靠卤素分子进入敏感元件时加热铂阳极正离子发射的变化进行检测。
3.10碱离子二极管alkali ion diode-种卤素气体传感器。
3.11放射性同位紊泄漏检测系统radioisotope leak test system使用放射性示踪气体和一个测量示踪气体发射用的探测器的一种泄漏检测系统。3.12放电管泄漏指示器discharge tubeleak indicator一根与被检系统相连的玻璃管，玻璃管带有电极，与高频高压电源连接，如泰斯拉线圈或感应线圈，当有合适的示踪气体（甲烷、二氧化碳、乙醇)流过漏孔时，便能观察到放电颜色的变化。3.13音响泄漏指示器audible leak indicator检漏仪的附件，能将输出信号转变为音响指示，音响的频率是漏率的函数。403
同义词：声响器squealer
3.14探头probe
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-种用于引导或收集示踪气流的一端有孔的管子。同义词：压力探头pressureprobe3.15比例探头proportioning probe能使样品与纯空气的比例在100%样品和100%纯空气之间改变，而从探头流出的总流量无明显改变的一种探头。
3.16取样探头sampling probe
用来采集被检件上某一区域逸出的示踪气体和在规定的减压条件下将示踪气体馈送给检漏仪的一种器件。
同义词：采样探头，吸气探头sniffingprobe3.17喷射探头sprayprobe
将一小束示踪气体喷向进行真空检测的工件用的器件。3.18质谱仪mass spectrometer （M.S.）一种能够分离不同质荷比的电离分子并能分别测定离子流的仪器。质谱仪可用作真空计，其输出与特定气体的分压成正比，也可作为对特定示踪气体敏感的检漏仪，或者作为确定气体混合物成分百分率的分析仪器。
3.19迪姆普斯特质谱仪Dempster（M.S.）离子首先由电场加速通过一条狭缝，然后由磁场使其偏转180°，通过第二条狭缝。3.20 B-J型质谱仪Bainbridge-Jordan(M.S.)离子由径向静电场和使离子偏转60°的磁场分离。这样安排能使在给定速度差时，电场中离子的发散正好为磁场中离子的发散所补偿。3.21波利克尼质谱仪Bleakney（M.S.）离子由交叉的电场和磁场分离。同义词：交叉场质谱仪crossfields（M.S.）3.22尼尔质谱仪Nier（M.S.）
迪姆普斯特质谱仪的一种改进型，用磁场偏转离子。3.23渡越时间质谱仪timeof flight（M,S.）气体由脉冲调制的电子束电离，每群离子被加速射向离子收集器，但不同质荷比的离子以不同的时间通过其行程。
3.24射频质谱仪radio-frequency（M.S.）离子经加速进入射频分析仪，在分析仪中，质荷比选定的离子加速通过交替连接到射频振荡器的一系列隔板上的孔进入静电场，而静电场只允许在分析仪内被加速的离子抵达收集器。3.25回旋质谱仪omegatron（M.S.）用回旋加速器的原理使离子加速。3.26电离真空计 ionization vacuum gage一种由气体分子电离装置、用于收集所形成的正离子的电极和指示所收集到的离子流量的装置组成的真空计。
3.27 热阴极电离真空计hot-cathode ionization gage由热灯丝(或阴极）发射并经电场加速的电子撞击产生离子的电离真空计。同义词：热灯丝电离真空计 hot-filament ionization gage，离子计 ion gage3. 28 B-A 型电离真空计 Bayard-Alpert ionization gage使用一根带电极结构的管子，该结构可使来自离子收集器上由X射线感生的电子发射减至最小。404
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3.29 冷阴极电离真空计cold-cathode ionization gage由冷阴极放电产生离子，通常，在有磁场存在时，会延长阴极和阳极之间的电子路径。放电管是透明的，管中冷阴极放电（在无磁场存在时)的颜色和形式可指示出气体的压力和性质。3.30菲利普电离真空计Phillips ionization gage种冷阴极电离真空计，其磁场与环形电极（通常是阳极)的轴线平行，环形电极位于两块垂直于该轴线的板极之间。彭宁真空计(Penninggage)的各种改进型是以其发明者命名的，而其中的某些型号则被称为磁控管真空计（magnetron vacuum gages）。3. 31放射性电离真空计 radioactive ionization gage由放射源发出的辐射(通常是α粒子)产生离子。3.32热导真空计thermal conductivity vacuum gage一种具有两个不同温度表面的真空计，在两表面之间，热可通过气体分子来传递，因此其中任一表面的温度变化(或为保持恒温所需加热功率的变化)均与气体压力相关。3.33皮拉尼真空计Piranigage
压力从零点上升时，引起具有电阻温度系数大的材料制成的加热灯丝的温度下降，从而使惠斯登桥式电路失去平衡(或调节电路，以保持灯丝温度恒定）。3.34热电偶真空计thermocouple gage压力上升时，加热灯丝的温度下降，通过与加热灯丝中心有热接触接点的热电偶电路中电动势降低指示出来。
3.35热敏电阻真空计thermistor gage一种以热敏电阻作为加热元件的皮拉尼真空计。3.36双金属片真空计bimetallic strip gage双金属片随温度变化而偏转，从而指示出压力的变化。3.37差动皮拉尼计differential pirani gage采用两根相似的皮拉尼管作为惠斯登电桥臂的泄漏检测装置。3.38预真空泵forepump
对在大气压力下不能排气的泵产生必需的预真空用的泵。同义词：前级泵，初级泵backing pump3.39粗抽泵roughing pump
用于真空系统初始抽空的真空泵。同义词：低真空泵
3.40维持泵holding pump
当粗抽泵将系统压力降低到能使蒸汽泵与系统之间的阀门打开而不中断蒸汽从喷嘴流出的某一点时，用来保持蒸汽泵处于工作状态的预真空泵。同义词：保持泵
3.41离子泵ionpump
一种抽气用的电气装置，它由气体电离装置和个具有适当电位的电极系统组成，有时还带有磁场，使形成的离子向吸收或没离子的表面运动。3.42离子源ion source
检漏仪探测管的一部分，示踪气体被探测之前预先在其中电离。3.43 绝对压力计 absolute manometer一种可根据仪器可测的物理常数计算出校正值的压力计，其校正值适用于所有的理想气体。3.44标准漏孔standard leak
能使示踪气体按已知速率进入检漏仪或泄漏检测系统，用以校准检漏仪的器件。405
3.45人工漏孔leak artifact
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一种用来将气体以控制速率[通常为10=?摩尔每秒(mol/s)或更小】引入系统的器件。3.46 钟罩bell jar
一端（通常是底部）敲开的容器，用作真空室或检测容器。3.47粗抽管道roughing line
从机械泵接到真空室的管道，通过该管使真空室预抽到低真空范围。3.48抽空管道pump-out tubulation从抽空装置中引伸出来的管道，气体通过它被抽出，在装置抽空后，通常就将该管永久密封。同义词：抽气管道 exhaust tubulation3.49前级管道fore-line
预真空泵与其后接泵之间的管道。3.50前级管道阀门fore-linevalve位于前级管道中的真空阀门，用以使扩散泵与其前级泵隔离。3.51入口 inlet
检漏仪或泄漏检测系统上的开口、法兰、接头或联接器，由于被检件上的漏孔，示踪气体可通过它们进入泄漏检测系统。
同义词：入口孔 inlet port，入口法兰 inlet flange3.52示踪气体tracer gas
通过漏孔后能被专用的检漏仪检出，从而揭示漏孔存在的一种气体。同义词：指示气体，探测气体 searchgas3.53氪85krypton 85
当采用放射性同位素检漏方法时，用来检测泄漏的一种示踪气体。3.54探头气体probegas
从探头孔喷出的示踪气体，它可射到某一限定的检测区域。3.55 卤素 halogen
氟、氯、溴和碘元素族中的任何一种元素。在卤素的严格定义中，化合物不属于卤素，但在本标准中，为了便于描述，卤素这个词也用于卤素化合物。在卤素检漏中，卤素化合物的重要意义在于它们有足够的蒸汽压力可用作示踪气体。
4泄漏检测方法
4.1浸渍起泡检测bubbleimmersiontest对含气密闭体进行泄漏检测的一种方式，由漏孔处生成的气泡来指示密闭体上的漏孔。4.2静水压检测hydrostatic test一种压力检测，检测时，将被检件充满水或其他液体，如有需要，则在规定的时间内对液体加压并目视检查被检件外部有无泄漏。
同义词:水压检测 hydraulic pressure test4.3钟罩检测bell jar testing
将被检件全部或部分地充以示踪气体并置于真空室或钟罩内检测其泄漏的一种方法。同义词：外泄检测 inside-out testing4.4护罩检测hood test
一种整体检测，将进行真空检测的工件用“护罩”罩住，罩内充以示踪气体，使工件的所有部分同时受检。这是动态检漏的一种方式，检测时，整个密闭体或其外表面的大部分都暴露在示踪气体中，而密闭体内部则与检漏仪相连接，以测定有无泄漏存在。406
4.5隔离检测isolation test
GB/T 12604.7--1995
当系统与泵隔离时，通过观察抽空系统内压力上升的速率来确定系统中是否存在漏孔或估算漏孔大小的一种方法。
4.6压力检测 pressure testing将被检件充满气体或液体，然后加压，检查被检件外表以检出漏孔。4.7 压力-抽空检测 pressure-evacuation test将一个或几个器件在气体压力下放置一段时间，使有可能泄漏的器件中积累足够的气体，当将该器件放入与检漏仪相连的抽空系统中时，对该气体敏感的检漏仪将会产生泄漏指示信号。同义词：背压检测 back pressure test;轰击检测密封弹检测-bomb test4.8氮轰击检测heliumbombing
一种以氨气作为检测气体的压力-抽空检测。同义词：氮密封弹检测
4.9压力着色检测pressure dye test将被检件充以着色液或荧光液，然后对液体加压使其通过可能存在的泄漏通道，当从外表观察时，就能看到存在的漏孔；或将被检件浸没在着色液或荧光液中，然后对液体加压使其进入可能存在的泄漏通道，当从外表去除多余的液体后，便可着到存在的漏孔。4.10累积检测accumulation test一种用来检测微小漏孔的泄漏检测方法。检测时，将被检件置于密闭的真空室内，如被检件有漏孔，则在一段规定的时间周期内被检件中所含的气体就会聚集在真空室内。在检测周期终了时，将真空室与对该气体敏感的检漏仪接通。
4.11真空检测vacuum testing
将被检件抽空并在其外表面上施加示踪气体；或将被检密闭体抽空，在其外表面上施加示踪气体，然后检测进入密闭体内的示踪气体。4.12动态泄漏检测dynamic leak test为达到灵敏度要求而不断地去除一些经漏孔进入的示踪气体的一种泄漏检测方式。4.13动态泄漏测量dynamic leakage measurement当系统正在有效地抽空时，用测量示踪气体的平衡分压来测定泄漏。4.14探头检测probe test
检测时，用探头施加示踪气体，使示踪气体覆盖局部区域，以便确定各个漏孔的位置。同义词：示踪探头泄漏定位tracer probe leak location4.15前级空间技术backing spacetechnique将检漏仪接到前级空间，以利用由于扩散泵（或比前级泵速度高的其他类型的泵)的作用而在真空系统与前级泵之间产生的气体压缩进行泄漏检测的一种方法。107
B-A型电离真空计
钯屏检漏仪
保持泵
背压．
背压检测
本底信号
比例探头
标准漏孔
标准漏率
表压力·
B-J型质谱仪
波列克尼质谱仪
泊萧流
采样探头
差动检漏仪
差动皮拉尼计
超声波检漏仪
抽空管道
抽气管道
抽气时间
抽气压力
初级泵
出口压力
除气·
粗抽泵
粗抽管道
大气压（标准）
大气压力·
大气压强··
导气率
GB/T 12604.7--1995
附录A
汉语索引
（补充件）
等效氮压
等效氟压力·
低真空泵
迪姆普斯特质谱仪
电离电位
电离真空计
动态泄漏测量
动态泄漏检测
渡越时间质谱仪
放电管泄漏指示器
放射性电离真空计
放射性同位素泄漏检测系统·
非冷凝气体
菲利普电离真空计
分压·
分压力·
分子流
分子漏孔
隔离检测、
过渡流
氮轰击检测
氮检漏仪·
密封弹检测
氨漂移
毫米汞柱
轰击检测
护罩检测·
回旋质谱仪
火花线圈检漏仪
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